Патент ссср 413218
Меооювиюр @ e x::e.:-,; „, 2:;-1е Ф, ..., сяя
Кн в А&Я
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
433 2l8
СОюз .. Оомотскии
Социалмстммескми
1 еспуб -.,;к
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 27.Ч11.1970 (№ 1465453/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 30.1.1974. Бюллетень № 4
Дата опубликования описания ЗХ1.1974.
М. Кл. С 23с 13/12
Государственный комитеСовета Министров СССР по делам изобретений и открытий
УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения
М. И. Виноградов, В. Г. Докукин, В. А. Лавыгин и А. И. Тарасов
Заявитель
ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.
Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий тигель, сообщающийся с резервуаром с испаряющимся металлом.
Предлагаемый испаритель отличается от известного тем, что он снабжен конденсатором паров, смонтированным поверх резервуара с испаряющимся металлам, а тигель помещен непосредственно в резервуар.
Это позволяет уменьшить потребляемую мощность и увеличить время непрерывной работы испарителя.
На чертеже показан предлагаемый испаритель для вакуумных установок, общий вид.
Испаритель состоит из тигля 1, выполненного с двойными стенками и помещенного в резервуар 2 с испаряемым металлом. Внутренняя часть тигля соединена с резервуаром посредством канала 3 в дне тигля. Между двойными стенками тигля размещены спираль нагревателя 4 и экраны 5. Испаритель снабжен конденсатором б паров металла.
Канал 3 в дне тигля 1 имеет небольшое поперечное сечение для уменьшения теплоотвода от внутренней, нагретой до высокой температуры части тигля.
Резервуар 2 выполнен таким образом, чтс основной запас металла находится в верхней расширенной части. Это способствует тому, что при длительном испарении уровень металла в тигле 1 изменяется незначительно и режим испарения сохраняется постоянным, Это же достигается изготовлением тигля 1 плавающим в резервуаре 2 и опускающимся при пониженном уровне металла.
Для уменьшения потерь испаряем ого металла и увеличения времени непрерывной ра1о боты в испарителе применяется возврат неиспользованного металла в резервуар с помощью конденсатора б, имеющего температуру резервуара. Напыление»а подложку производится через верхнее отверстие в конденса15 торе, металл же, попадающий на внутреннюю поверхность конденсатора, стекает обратно в резервуар.
20 Предмет изобретения
Испарптель для вакуумных установок, содержащий тигель, сообщающийся с резервуаром с испарящимся металлом, о т л и ч а ю25 шийся тем, что, с целью уменьшения потребляемой мощности и увеличения времени непрерывной работы, он снабжен конденсатором паров, смонтированным поверх резервуара с испаряющимся металлом, а тигель по30 мещеп непосредственно в резервуар.
Редактор Е, Шепелева
Составитель Л. Смирнова
Текред Г, Васильева
Корректор Л, Новожилова
Заказ 1221/11 Изд. М 1245 Тираж 875 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4)5
Типография, пр. Сапунова, 2