Способ изготовления шкал и сеток

 

О П И С А Н И Е () 42О586

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советское

Соцмчмстическик

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 14.07.72 (21) 1811817/29-33 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.03.74. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 10.11.74 (5I) М. Кл. С 03с 17/06

Государственный камнтет

Совета Мнннстров СССР

II0 делам нзобретеннй н открытий (53) УДК 666.1 056 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. Д. Обыграйкин и E И. Гуров; (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ШКАЛ И СЕТОК

Предмет изобретения

Изобретен не относится к оптико-электрон|ной промышленности.

Известен способ получения точных изображений на хроме, титане и никеле, заключающийся в копировании изображения с номощью фоторезистов, нанесении,,в вакууме слоя хрома (пита на, никеля) и в удален ни фоторезистивного слоя.

Цель изобретения — уменьшить деформацию элементов сеток и шкал и повысить надежность воспроизведения элементов.

Это достигается тем, что на стеклянную подложку наносят химическим способом слой серебра, а после воспроизведения изображения, сформированного на серебре, на всю поверхность ведут испарение металла в,вакууме с .по следующим удалением фоторезиста и серебра. Толщина слоя наносимого:серебра составляет 0,0004 мм.

Благодаря введению дополнительного промежуточно го серебряного слоя серебряное изображение легко ра створяется в слабых экислителях, не разрушающих стекло, а также хром, титан:и никель; GpiH из вестном двухпроцеосном травлении серебряного слоя по фоторезисту тангенциальное травление практически отсутствует, и поэтому размеры элементов сеток остаются без изменений; обеспечивается полная очистка прозрачных элсментов от тончайших .пленок фоторезистов; благодаря полной очистке прозрачных элементо в металл, нанесенный в вакууме, хорошо сцепляется со стеклом и не отслаивается при удалении фоторезиста и серебра; вакуумное испарение по серебряному слою позволяет наносить более толстые слои металлов и окислов, нежели при испарении по фоторезистам.

Способ изготовления шкал и сеток, включающий нанесение изображения на стеклян15 ную подложку, воспроизведение изображенич травлением по фоторезистивному слою, вакуумное испарение металлов, например хрома, с последующим удалением фоторезистивного слоя отличающийся тем, что, с целью

ЕО уменьшения деформации элементов сеток и шкал, а также повышения .надежности воспроизведения элементов, на,стеклянную подложку наносят химическим способом слой серебра, а после воспроизведения изображения, 25 сформированного на серебре, на всю,по верхность ведут испарение металла в вакууме с последующим удалением фогорезиста и серебра.