Способ измерения толщины прозрачного пленочного покрытия на изделии

Авторы патента:

<)4282OI

Союз Советских

Сощиалистимеских

Республик

ОП ИCAH,И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) За ви си мое от акт. ови детельствавЂ” (22) Заявлено 03.05.72 (21) 1780982/25-28 с присоединением заявки №вЂ” (32) ПриоритетвЂ”

Опубликовано 15.05.74. Бюллетень № 18

Дата опубликования аписан|ия 18.03.75 (51) М. Кл. 6 01Ь 11/06

Государственный комитет .Совета 1йинистров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.715 27 (088.8) (72) Авторы изобретения А. В. Баркаускас, В. И, Чуприн и М. М. Гутаускас

Каунасский политехнический институт (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНОГО

ПЛЕНОЧНОГО ПОКРЫТИЯ НА ИЗДЕЛИИ

Изобретение относится к технике измерения, а именно к приборам, предназначенным для определения толщины лаковых и других прозрачных покрытий на древесине, полимерах ит. п.

Из|вестен способ измерения толщины прозрачного пленочного покрытия на изделии, заключающийся в том, что устанавливают на изделии д войной микроскоп, основанный на методе светового сечения, и наводят на резкость линии отражения света от поверхностей покрытия.

Известный способ имеет следующие недостатки. Измерение является трудоемким из-за объема работ по совмещению сетки окуляра последовательно с двумя линиями отражения с вета и двойного отсчета положения сетки (по шкале окуляра и по лимбу насадки). Причем эта работа я|вляется очень утомительной, поскольку требует большого напряжения зрения.

При наводке сетки на видимые линии и при отсчете пс казаний по шкале окуляра ча сто применяют вспомогательный прием дополнительного подовечивания измеряемой поверхности объекта, что еще больше увеличивает затраты времени на измерение. Низкая точность измерения из-за отсутствия контраста между сеткой и наблюдаемым фоном, вследствие чего невозможно установить линии сетки микрометрической насадки на границе между переходом линии вЂ ф.

С целью,повышения производительности и точности измерения по предлагаемому спосо5 бу закрывают д вумя задвижными шторками зону, .находящуюся за пределами линий отражения света, про пускают через образовавшуюся щель между шторками калиброванный поток овета, и по изменению тока в измерительном приборе судят об измеряемой толщине. На чертеже схематично изображено уст.ройст во, реализующее предлагаемый способ.

Устройство состоит из экрана 1, задвижных шторок 2, калиброванного по мощности источника овета 8, фотодатчика 4 с измерительным прибором б, поворотного зеркальца б.

Предлагаемый апособ осуществляют следующим образом.

На экране 1 устанавливают четкие линии отражения света от поверхностей .прозрачного покрытия 7 объекта 8. Затем (вручную или автоматизированным способом) закрывают шторками 2 часть экрана, т. е. ту зону, которая находится за пределами линий отражения с вета. Этот пр ием выполняют значительно точнее известных перемещений сетки в микрометрической насадке, ибо нвпрозрачная шторка 2 выглядит контрастно и на неравномерно оовещенном фоне экрана 1. После этого поворачивают зеркало б из положения 1 в поло428201

Составитель Лобзова

Техред А. Камышникова

Редактор В. Новоселова

Корректор В. Гутман

Заказ 777/84 Изд. № 1591 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» жение II и через образовавшуюся щель между шторками 2 пропуокают поток авета калиброванного источника 8 на чувствительный элемент фотодатчика 4. Ток, возн|икший от освещения фотодатчика 4, вызывает отклонение стрелки измерительного прибора 5, по положению которой относительно шкалы (шкал может быть несколько в за висимости от характеристик материала прозрачного покрытия) отсчитывают толщину пленочного покрытия 7 объекта 8 непосредственно в микронах.

Предмет изобретения

Способ измерения толщины прозрачного пленочного, покрытия на .изделии, заключаю-щийся в том, что устанавл и вают на .изделии двойной микроскоп, основанный на методе светового сечения, и наводят на резкость линии отражения света от поверхностей покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения произ|водительно сти и точности измерения, закрывают двумя за д вижными шторками зону, находящуюся за пределами линий отражения

10 света, пропускают через образовавшуюся щель между шторками калиброванный поток света, и по изменению тока в измерительном приборе микроскопа судят об измеряемой толщине,

Способ бесконтактного измерения толщиныстенки нрозрачного тела, имеющего однонаправленную полосностьповерхностей стенки // 422947

Способ контроля оптических толщин // 420871

Патент 415488 // 415488

Патент 413376 // 413376

Патент 411294 // 411294

Фотоэлектрический способ измерения толщины пластин из прозрачного л1атериала // 399723

Фотоимпульсное устройство для измерения ширины горячего раската // 384006

Фотоэлектрическое устройство для измерения ширины горячего проката // 378708

Оптическая деталь с тонкопленочным покрытием // 377612

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости