Способ получения диэлектрических пленок окиси алюминия

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и) 432239

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 12.06.72 (21) 1795281/22-1 (51) М. Кл. С 23с 11/08 с присоединением заявки №

Гасударственный комитет

С08ВТ8 Министров СССР оо делам ивооретений и открьпнй (32) Приоритет

Опубликовано 15.06.74. Бюллетень № 22

Дата опубликования описаппя 06.1!.74 (53) УДК 621.793.16 661..862.22 (088.8) (72) Авторы изобретения

A. Ф. Жигач, Н. H. Корнеев, Г. Б. Сахаровская, Ю. Л. Лелюхина, В. И. Мякиненков и Б. Г. Анохин (71) Заявитель (54) СПОСОБ .ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛ ЕКТРИЧ ЕСКИХ

ПЛЕНОК ОКИСИ АЛЮМИНИЯ

4600С

002 об %

2об. %

Аргон

6 см/сек

Изобретение относится к получению окисных пленок пиролитическим разложением элементоорганических соединений, в частности к получению пленок из окиси алюминия.

Известен способ получения пленок окиси алюминия пиролитическим разложением кислородсодержащих элементоорганических соединений алюминия, например алкоголятов, фенолятов алюминия и др.

Предложенный способ отличается от известного тем, что в качестве соединений, подвергаемых пиролитическому разложению, используют алкилалюмоксаны и их производные. Применсние алкилалюмоксанов и их производных позволяет получать пленки окиси алюминия с более высокими электрофизическими свойствами. В качестве производных алкилалюмоксана могут применяться комплексные соединения алкилалюмоксана с эфирами и аминами.

Нанесение пленки окиси алюминия осуществляют на нагретую до 250 — 700 С поверхность изделия, помещенного в герметичный реактор, через который продувают газовую смесь, содержащую инертный газ и пары алкилалюмоксана или его производного. Для полноты пиролиза в газовую смесь вводят дозированное количество кислородсодержащего газа, например кислорода. Полученные пленки окиси алюминия обладают высокими электрофизическими свойствами и могут быть использованы при изготовлении полупроводниковых приборов.

П р и и е р 1. Для получения пленок окиси алюминия пиролизу подвергают тетраизобутилалюмоксан (C4Hg) 2 — А! — Π— A! — (C4Hg) g в установке с кварцевым реактором при инфракрасном нагреве подложек из кремния или германия и и р типов. Перед нанесением

10 пленки подложку обрабатывают общепринятыми методами с целью удаления следов загрязнений и дефектного поверхностного слоя.

После загрузки подложки реактор эвакуируется до остаточного давления 5 !0 — - мм рт. ст., 15 а затем продувается аргоном в течение

10 мин.

Осаждение пленки проводят при следующем режиме:

Температура нагрева подложки

Копцентрация тетраизобутилалюмоксана в газовой смеси

Концентрация кислорода в газовой с»ecè

Газ — носитель

Линейная скорость протока газовой смеси через реактор

432239

20

Предмет изобретения

Составитель К. Педан

Корректоры: А. Николаева и О. Данишева

Редактор Л. Струве

Текред 3, Тараненко

Заказ 2919 7 Изд. Кз 1769 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 475

Типография, пр. Сапунова, 2

Время выдержки подложки 60 мин в реакторе

В результате обработки на поверхности подложек получаются хорошо сцепленные с основой аморфные пленки окиси алюминия, о толщиной 2800А.

Пленки имеют следующие электрофизические характеристики:

Диэлектрическая проч- (4 — 7) 10 в/см ность

Удельное сопротивле- (2 — 4) . 10" ом. см ние

Диэлектрическая по- 9 стоянная

Количество дефектов, 20 — 30 см †выявленных электрографическим методом (напряжение 30 в, время 5 мин)

Пример 2. Для получения пленок окиси алюминия пиролизу подвергают эфират тетраизобутилалюмоксана (C4Hg) з — Аl — Π— Аl — (C4Hg) g (СзНв) зО при тех же исходных условиях, что и в примере 1.

Осаждение пленки проводят при следующем режиме:

Температура нагрева под- 370 С ложки

Концентрация эфирата тет- 0,029 об.% раизобутилалюмоксана в газовой смеси

Концентрация кислорода в 7 об. % газовой смеси

Газ — носитель Азот

Линейная скорость протока 4 см/сек газовой смеси через реактор

Время выдержки подложки 60 мин в реакторе

В результате обработки на поверхности подложек получаются хорошо сцепленные с основой аморфные пленки окиси алюминия, о тол щи ной 2500А.

Пленки имеют следующие электрофизические характеристики:

1о Диэлектрическая проч- (3 — 5) 10 в/см ность

Удельное сопротивле- (1 — 2) ° 10" ом см ние

Диэлектрическая по- 8 — 9 стоянная

Количество дефектов, 40 — 50 см †выявленных электрографическим методом

1. Способ получения диэлектрических пленок окиси алюминия пиролитическим разло25 жением кислородсодержащих элементоорганических соединений алюминия, о тл и ч а юшийся тем, что, с целью улучшения электрофизических свойств диэлектрических пленок, пиролитическому разложению подверга30 ют соединения, выбираемые из группы: алкилалюмоксаны и их производные.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве производного алкилалюмоксана используют его комплексное соединение с

35 амином.

3. Способ по п. 1, отл ич а ющий ся тем, что в качестве производного алкилалюмоксана используют его комплексное соединение с эфиром.