Способ анализа частиц на поверхности твердого тела

 

ОЛ ИОАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВУОРСХОМУ СВИДВТИЛЬСв6У (11), 448512

Союз Советских

Социалистинеских

Республик

Ф",ЦФ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 03.04.73 (21) 1900579/ с присоединением заявки — / (51) М Кл.

Н 01 37/26

Гасударственный конитет

Совета Министров СССР ио делан изобретений и открытий (32) Приоритет—

Опубликовано30 10 74Бюллетень е 40 (45)! Дата опубликования описания

09. 11.74 (53) УДК

621. 385. 833 (088. 8) (72) Авторы изобретения

А.Л.Суворов, B.ß.Êóçíåöîâ и А.Ф.Бобков (71) Заявитель

СПОСОБ АНАЛИЗА ЧАСТИ

НА ПОВЕРХИОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА

Изобретение относится к методам автоионной микроскопии твердых тел и может быть использовано при изучении адсорбционно-десорбционных, процессов. Известен способ аналйза частиц на поверхности твердого тела с помощью автоионного микроскопа с масс-спектрометрической приставкой-зондом, который позволяет определять вид частиц путем ее испарения ю полем и последующего анализа во времяпролетной трубке.По времени между двумя импульса)ул на детекторе судят об отношении массы испаренного атома / молекулы, комплекса / к его заряду. Однако этот способ не позволяет определить тип нескольких частиц, расположенных в разных местах и имеющих различную энергию связи с поверхностью твердого тела, так как испаряющий импульс приводит 20 к одновременному удалению с поверхности не только "зондируемыхттчастиц.

Цель изобретения-определение типа нескольких частиц, расположенных на поверхности твердого тела. Цель достигается тем.что потенциал обоаэпа

2 изменяют ступенчато от значения, соответствующего условиям наилучшего отображения, до значения, соответствующего полевому испарению, увеличивая его прирост на одну и ту же величину и понижая всякий раз до исходного значения, при котором всякий раз фиксируют автоионное изображение. сущность изобретения пояс= няет схема, представленная на чер.; теже. На схеме I,2,3,4, 5,..., и-т=

-импульсы потенцйала, отличающиеся друг от друга на велйчину, кратную а ст-приросту потенциала; Ус — потенциал наилучшего отображения

Uucn. = Pn-ì -максимальны испа" ряющий потенциал;, », . — кадры регистрации йзображения в исходном состоянии. Способ осуществляется в следующем порядке начиная с калибровки системы. В систему автоионного микроскопа напускают изображающий газ с известной добавкой газа-эталона. Получают устойчивое автоионное изображение очи-1 щенной; полевым испарением повер:, алости обоазца и проводят его Мто3 регистрацию / например, получают кадр к /. Кратковремейно снижают потенциал острия с целью осаждения на его поверхности молекул газовой добавки. Кратковременно повышают потенциал острия íà U и уменьшают до исходного значения о, соответствующего условиям наилучшего отображения поверхности образца.

При этом часть адсорбированных частиц десорбируется полем, поскольку значение десорбирующего поля опнозначно связано с энергией связи данной частицы с поверхностью образца. Псвторно регистрируют автоионное изображение < . повышают потенциал острия на 2 U m т.д.

- до тех пор, пока " не достигнет значения, соответствующего условиям полевого испарения атомов образ а. Из полученной серии 4 = — )микрофотографий автоионных изображений методом цветового выделения изготовляют / - I / трехцветных слайдов, причем парами для каждого слайда служат соседние

rro экспозиции кадры: . -- г г - з 3t Tåде В дальнейшем с помощью ЭВМ поводят обработку этого материала для расчета порога десорбпии . полем молекул эталонного газа. Йрдобная операция повторяет<я для набора эталонных газов, а полученные результаты закладываются В

Q5Q. память ЭВМ. Анализ исследуемых частиц на поверхности образца состоит из подобной последовательности операций с той лишь разницей, что на ЭВЫ производится сравнительная обработка результатов анализа, а вывод конечной информации осуществляется как в виде циФровых значений для типов концентрации и кристалло1О графического распределения частиц на анализируемой поверхности, так и в виде графиков, распечаток моделей автоионных изображений и т.д.

Таким образом, изобретение позволя" ет определить природу многих пятен на автоионном изображении, находящихся на одной поверхностй исследуемого твердого тела.

ИРЩМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Способ анализа частиц íà поверхносж твердого тела путем автоионной микроскопии с пульсацией изображающего потенциала, о т л и ч а ю щ,и и а .:с я тем, чм, с целью определения типа нескольких частиц на поверхности -.åëà, потенциал образца изменяют ступейчато от значения, соответствующего условиям наилучшего отображения, до значения, соответствующего полевому испарейию, увеличивж

er0 прирост на постоянную величину и понижая всякий раз до исходного значения, при котором и фиксируют з„ автоионное изображение.

Р!. аак ор0.0 Л04

343

С,с,а„втек „5. (СРЫИ

« гекред g (llpl Корректоры: Г КатЕйЬС И>

И л и;1ы

Тираж ЯЬО Подписное (lllllllll11 l осуди :ственногг комитета Совета Министров СССР ио делам и юбрвтевий и открытий

Москва, i!3035, Раушская наб., 4

I Ip! дария па «Патент», Москва, Р 69, Б«режковская ваб., 24