Устройство для совмещения подложек микросхем

 

О ее И САН И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик ($ )) 45 1220

l. (61) Зависимое от авт. свидетельства(51) M. Кл. Н 05k 7/00 (22) Заявлено 12.10.72 (21) 1836647/26-9 с присоединением заявки № (32)Приоритет (43) Опубликовано 25.11.74 Бюллетень № 43 (45) Дата опубликования описания 23.О6.7

Государственный номнтет

Совета Министров СССР по делам нзооретеннй м открытий (53) УДК 621,396. 6..ОО2. 5 (О88.8) (72) Авторы изобретения

А, В. Фунтиков и Ю. В. Романов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ПОДЛОЖЕК

МИКРОСХЕМ

Изобретение отнссится к радиотехнике и может быть использовано прп производстве интегральных схем, печатных плат, ма:сок и электронных фильтров.

Известны устройства для совмещения и экспонирования, преимущественно при изготовлении интегральных микросхем, содержащие основание, пульт управления, осветитель и узел совмещения, состоящий из механизмов фиксации и перемещения с цилинд- 1О ром, плунжером и полусферой.

Однако известные устройства не обеспечивают достаточной точности совмещения подложек, Целью изобретения является повышение д точности совмещения подложек.

Для этого цилиндр жестко закреплен на основании установки, а полусфера снабжена вакуумным обратным клапаном и закрепле на в верхней сферической части плунжера. gO

Изобретение пояснено чертежами.

На фиг. 1 приведена схема устройства; на фиг, 2 — конструкция узла совмещения.

Устройство для совмещения подложек микросхем содержит стол 1, являющийся I 26

2 основанием всего устройства, столик совмещения 2, узел экспонирования 3, пульт управления 4, вакуумный насос 5 с системой трубопроводов 6. Столик < овмешения предназначен для точного совмещения изображения фотошаблона 7 с изображением на подложке 8. В цилиндре 9 помещается плунжер 10, в верхней части которого помещена полусфера 11 с вакуумным обратным клапаном 12 для постоянного прижатия подложки 8 к полусфере при прекраще.нии вакуумной откачки. Плунжер, посаженный ца регулирующую гайку 13, при подьеме зажимается мембранным вакуумным фиксатором 14. Держатель шаблона 15 закреплен раздельно с осветителем 16.

Микроскоп 17 имеет самостоятельное горизонтальное перемещение. Для перемещения подложки из бункера на место экспонирования служит пневматический захват

18. Пневмоклапаны 19 и 20 и ротамет ры 21, 22 осуществляют рабочий цикл установки. Винты 23 служат для выставления шаблона относительно подложки. Две

;плоские пружины 24 под действием штырей

3.

25, 26 ориентируют подложку по штифтал 27 (см. фиг. 2)., Устройство работает следующим образом, Подложку 8 с нанесенным светочувствительным споем укладывают на полусферу 11 пневматическим захватом 18. При включении пневмоклапанов 19, 20 достигаются прижим шаблона и образование вакуума в пространстве около полусферы 11. Переключением пневмоклапана. 20 на ат мосфвру через ротаметр 21 осуществляется подъем плунжера 10 с полусферой

11 и подложкой 8 до упора к фотошаблону 7. При этом под действием пружины

24 и штырей 25, 26 происходит ориентация подложки 8 по штифтам 27. Пере,ключением пневмоклапана 20 на вакуум производится фиксация плунжера 10 мем- . бранным вакуумным фиксатором 14, откачка через обратный вакуумный клапан, 12 и прижим подложки 8 к полусфере 11, . Переключением пневмоклапана 19 на сжа тый воздух из выхлопа вакуумного насоса через ротаметр 22 осуществляется подьем шаблона 7 от подложки 8 на определен ный зазор. Винтами 23, наблюдая в микроскон 17, производят совмещение, При.жим фотошаблона 7 к подложке 8 осуще ствляют переключением пневмоклапана

; 19 на вакуум, затем включают освети:тель 16 и производят экспонирование.

: Так как ориентации подложки 8 постоян,на, на последующих подложках фиксация, зажим и экспонирование подложек происходят автоматически за счет определенного количества воздуха, проходящего через

10 ротаметры 21, 22.

Предмет изобретения

Устройство для совмещения подложек микросхем, преимущественно при изготовлении интегральных микросхем, содержащее основание, пульт управления, осветитель и узел совмещения, состоиций из

® механизмов фиксапин и перемещения с циf линдром, плунжером и полусферой, о тл и ч а ю ш е е с я тем, что, с целью повышения точности совмещения, цилиндр жестко закреплен на основании установки, а полусфера снабжена вакуумным обратньп клапаном и закреплена в верхней сфериче ской части плунжера.

27 .В Рцг. 2 а к

3 . сю -ы

Тираж Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская иаб., 4

Заказ

Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24

Состав.т-. АД УПЯкОВ

Рела" тор А.Зивьковский Техрел И.КВрдцда "о!а Корректор 31 Ьрвзснннв