Способ приготовления объекта для определения разрешающей способности электронного микроскопа

 

О П И С А Н И Е о1 458Î59"

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистических

Респчбаии

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) 3 аявлено 09.03.73 (21) 1893014/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 25.01.75. Бюллетень № 3

Дата опубликования описания 12.03.75 (51) М. Кл. Н ОЦ 37/26

G 01n 1/28

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо ценам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.833 (088.8) (72) Авторы изобретения

Н. А. Власенко, Е. М. Верещагин, В. П. Гурина, В. Г. Коломиец и М. И. Лютенко!

1 ! (71) Заявитель фт !3 я -": : . . г г* (54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ОБЪЕКТА

ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ

ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано для приготовления объектов для проверки разрешающей способности электронного микроскопа.

Известны способы приготовления объектов для определения разрешающей способности, при осуществлении которых на опорную металлическую сетку наносят сплошную углеродную пленку, на которую в свою очередь наносят слой металла.

Однако эти способы не позволяют использовать пленки толщиной до 50 А, необходимые для определения высоких разрешений, и не дают возможности получать объекты, по которым можно проверять астигматизм и разрешающую способность прибора без смены объекта. Это приводит к необходимости смены объекта в процессе определения разрешающей способности.

Цель изобретения — улучшить отвод тепла и электрического заряда от объекта (толщиной порядка 50 Л), устранить необходимость смены объекта в процессе определения разрешающей способности.

Это достигается тем, что на опорную металлическую сетку наносят дополнительную металлическую микросетку, на нее наносят дырчатую коллодиевую пленку, на которую напыляют углерод и металл (сплавы золото2 палладий, платина-палладий или чистые платина, иридий). Коллодиевую дырчатую пленку затем растворяют, а получившаяся на ней углеродная дырчатая пленка с напыленными частицами металла оседает на сетку.

На чертеже изображен объект для определения разрешающей способности до момента растворения дырчатой коллодиевой пленки. На чертеже показаны опорная металлическая сет10 ка 1, предназначенная для укрепления на ней исследуемого объекта, дополнительная металлическая микросетка 2, предназначенная для разделения окна опорной сетки 1 на более мелкие ячейки; коллодиевая дырчатая плен15 ка 3, которая служит основой для получения дырчатой углеродной пленки, 4 — дырчатая углеродная пленка, предназначенная для проверки астигматизма прибора при определении разрешающей способности и служащая

20 подложкой для напыленных благородных металлов; частицы металла 5, предназначенные для определения разрешающей способности прибора.

25 Предлагаемый способ приготовления объекта для определения разрешающей способности выполняют следующим образом. На опорную металлическую сетку 1 наносят дополнительную металлическую микросетку 2, на нее

30 монтируют дырчатую коллодиевую пленку 3, 458059

Составитель Б. Калин

Техред Т. Миронова

Корректоры; А. Николаева и Л, Корогод

Редактор О. Степина

Заказ 551/13 Изд. № 330 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 затем напыляют углеродную пленку 4 нужной толщины и частицы металла 5.

В полученном таким образом объекте растворяют, например в амилацетате, коллодиевую дырчатую пленку 3, а дырчатая углеродная пленка 4 с напыленными частицами металла 5 оседает на дополнительную металлическую микросетку 2.

Таким образом, нанесение на опорную металлическую сетку 1 дополнительной металлической микросетки 2 позволяет улучшить отвод тепла и электрического заряда от исследуемого объекта (4 и 5) и обеспечивает возможность работы с тонкой углеродной пленкой, а нанесение в качестве основы дырчатой коллодиевой пленки 3 обеспечивает получение дырчатой углеродной пленки 4 нужной толщины, которая служит для проверки астигматизма прибора и является подложкой для напыления частиц металла, по которым определяется разрешающая способность электронного микроскопа. Использование дырчатой углеродной пленки 4 позволяет выполнять операции по проверке астигматизма и определению разрешающей способности электронного микроскопа на одном объекте.

Предмет изобретения

Способ приготовления объекта для определения разрешающей способности электронного микроскопа, состоящий в приготовлении угле10 родной подложки на опорной металлической сетке и нанесении на эту подложку частиц металла, отличающийся тем, что, с целью улучшения отвода тепла и электрического заряда от объекта при его толщине до 50 Л и

15 устранения операции смены объекта в процессе юстировки микроскопа, на опорную металлическую сетку наносят дополнительную металлическую микросетку, на которую наносят дырчатую коллодиевую пленку и на нее

20 напыляют сначала углеродную пленку, а затем частицы металла, после чего коллодиевую пленку растворяют.