Устройство для регистрации дефектов и контроля фотошаблонов

 

(61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 21.07.72 (21) 1815372/2621 с присоединением заявки № (23) Приоритет —. (51) M. Кл.

С Olh 9/04

Гасударственный камитет

Соввтв Министрав СС1Р во делам изобретений и вткрытий (53) УДК

621.396.661. 81.5 (088. 8) (43) Опубликовано25.08.75 Бюллетень № 31 (45) Дата опубликования описания 19.11.75

Э. Е. Жуковский, А. С. Карасик, И. Л. Кисельг и М. А. Яковлева (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГИСТРАБИИ ДЕФЕКТОВ И КОНТРОЛЯ

ФОТОШАБЛОНОВ

Изобретение относится к контрольно-. измерительной технике.

Известно устройство для регистрации дефектов и контроля фотошаблонов, содержащее координатный стол с механизмами для ориентации контролируемого фотошаблона, датчики линейных перемещений, оптико-электронный регистрирующий канал с осветителем и проекционной системой, волоконно-оптический преобразователь, Ip приемник излучения и блок для записи и обработки информации.

Однако известное устройство характе ризуется недостаточной производительностью.

Целью изобретения является повышение 15 производительности устройства.

Для этого оно снабжено дополнительным оптико-электронным регистрирующим, каналом для эталонного фотошаблона и механизмом для ориентации фотошаблона, 20 блоком синхронизации съема информации с приемников излучения, соединенным со счетчиком импульсов, сравнивающим элементом, связывающим приемники излуче ния с электронными ключами, соединяю- J 25 шие связанные с да.тчиками линейнЫх перемещений счетчики импульсов через блоки запоминающих узлов с блоками для записи и обработки информации.

На чертеже приведена структурная, электрическая схема устройства.

Устройство для регистрации дефектов и контроля фотошаблонов содержит контр лиру-емый фотошаблон /ФШ/ 1, эталонный фотошаблон 2, координатный стол 3, ме, . .ханизм для перемещения 4, программное устройство 5, датчики линейных переметрений /ДЛП/ 6, источник света 7, зерка- ла 8, осветители 9, проекционные сист мы 10, волоконно-оптические преобразоваI тели /ВОП/ 11, приемники излучения 12 генератор развертки 13, усилители 14,,, сравнивающий элемент 15, счетчики им пульсов 16, электронные ключи 17, переключатель входных сигналов 18, блоки

19, 20 запоминающих узлов, переключа . тель выходных ситналов 21, блоки для записи 22, цифровую вычислительную ма1 шину /БВМ/ 23, механизмы 24 поворота

ФШ, направляющие 25, выключаюшиеся визионных трубок синхронность снятия сигналов с ВОП 11 обеспечивается использо55 ванием общего генератора развертки 13, Сигналы с приемников излучения 12 через усилитель 14 поступают в сравниваюлю- ший элемент 15. Управляющий сигнал на выходе сравнивающего эле;лента 15 появля60 ется только при несовпадении уровней сиг--1

t зеркала 26, зеркальную призму 27, сег ку 28, окуляр 29.

Контролируемый ФШ 1 и эталонный

ФШ 2 устанавливают на общем коорди- ;

1 натном столе 3, который может переме,1цаться в двух взаимно перпендикулярныХ направлениях при помощи механизмов для перемещений 4, управляемых от программного устройства 5. Координатный стол

3 с направляющими снабжается ДЛП 6, позволяющими регистрировать перемещения ФШ с точностью, превышающей требования предъявляемые к точности измерения геометрических параметров ФШ.

Оба ФШ 1 и 2 освещаются от общего источника света 7 через зеркала 8 и устанавливаются в соответствующих оптикоэлектронных регистрирующих каналах, включающих осветители 9 и проекционные сис, темы 10, ВОП 11 и приемники излучения

12.

Изображения соответствующих участков контролируемого ФШ 1 и эталонногo Ф жШ

2 формируются проекционными системами

10 с одинаковым увеличением на входных торцах одинаковых BOll 11.

Входы ВОП 11 выполнены в виде линеек входных торцов световодов. Противположные же концы световодов уложены соответственно форме развертки приемни-. ков излучения 12. В качестве приемников излучения 12 могут использоваться, например, суперортиконы,,циссекторы или фотоумножители. В последнем случае каждый фотоумножитель воспринимает лучистый поток от одного световода. В случае использования суперортиконов или других передающих телевизионных трубок обзор выходных торцов световодов осуществляется синхронно от генератора развертки 1 .

13.

Сигналы с приемников излучения 12 усиливаются усилителями 14.

Для сравнения сигналов, поступающих с усилителей 14, используется сравнивающий элемент 15 типа И-HE-ИЛИ, который управляет электронными ключами 17.

Сигналы с ДЛП 6 суммируются в счеч чиках 16. Координаты выявленных дефектов

/любых отклонений от эталона/ поочередно через переключатели 18 входных сигналов поступают в блоки запоминающих узлов 19 или 20 и далее через переключатель 21 выходных сигналов - в IIBM

23 или блок для записи 22, например на магнитную ленту.

Для установки первоначального поло- жения ФШ 1, 2 служат механизмы поворота 24 и направляющие 25, а для на б дения ФШ 1,2 — визуальный канал, состоя щий из выключаюшихся зеркал 26,Y. зеркальной призмы 27, сетки 8 и оку-ляра 29. На сетке нанесено перекрестие, линии которого параллельны направлениям перемещения координатного стола 3 и .линейкам входных торцов световодов ВОП

11.

- Устройство работает следующим образом, Перед началом контроля ФШ 1 и 2 ориентируют при помощи мехар низмов поворота 24 и направляющих 25 таким образом, чтобы образующие их элемен..тов были параллельны линиям перекрестия сетки 28, а центр перекрестия совпадал с изображениями одноименных точек обоих

@ ФШ. При этом наблюдение изображений ФШ на сетке осуществляют через окуляр 29 после введения в ход лучей зеркал 26, передающих световой пучок в окуляр при помощи зеркальной призмы 27. 20 Контроль проводится построчным сканиро ванием фотошаблонов, при этом координатный стол 3 при помощи механизмов перемещений 4, управляемых программным устройством 5, перемешается по двум координатам.

При построчном сканировании, осуществляемом в направлении оси Х, перпендикулярной входной линейке ВОП 11, данные о текущей координате Х с оцного датчика линей3 ных перемещений 6 накапливаются непрерывно в реверсивном счетчике импульсов

16, а данные о текущей координате У определяются в каждый момент времени в другом счетчике 16 суммированием данных о положении /номере/ строки с одного датчика 6 с числом импульсов ), поступающих с генератора развертки 1 3 и соответствующих координатам в линейке ВОП 11 (порядковому номеру) тех световодов, 40 информация с которых сравнивается в данный момент в сравнивающем элементе

15, причем

Одновременно с этим изображения однс з5 именных участков ФШ 1, 2 перемешаются по входным торцам ВОП 11. Сигналы с выходных торцов одноименных волокон обоих ВОП 11 синхронно снимаются при помощи приемников излучения 12, преоб50 разуюших световые потоки в электрические сигналы„В случае применения в качестве приемников излучения 12 передающих теле481766 на лов, поступающих . с обоих приемников, 12. По приходе управляющего сигнала на электронные ключи 17 последние

Г б" открываются и координаты дефектов по осям X и У с реверсивных счетчиков импуль-. сов 16 поступают через переключатель, 18 входных сигналов в один из блоков запоминающих узлов, например в 19. Одновре-.

1 менно с блока запоминающих узлов 20 ра-. нее зафиксированные координаты дефектов поступают через переключатель 21 выходных сигналов в блок для записи 22 или на o6-. работку в UBM 23 по предварительно введенной в нее программе с целью разбра-, ковки ФШ 1, 2 на основе классификации. ! дефектов на допустимые и недопустимые.

После заполнения блока запоминающих уз, лов 19 и опорожнения блока 20 они при л помощи переключателей 18 и 21 меняются ролями.

Режим регистрации дефектов, когда их координаты записываются на промежуточ ном носителе (например магнитной ленте) 25 используется в том случае, когда ЦВМ 33 во время контроля занята решением другой задачи. В этом варианте процессы получения информации о дефектах и

6 разбраковки фотошаблонов разделены по времени.

Предмет изобретения

Устройство для регистрации дефектов и контроля фотошаблонов, содержащее ко- ординатный стол с механизмами для ориентации контролируемого фотошаблона, датчики линейных перемещений, оптикоэлектронный регистрирующий канал с осветителем и проекционной системой, волоконно-опти-. ческий преобразователь, приемники излучении и блок для записи, и обработки информа4+ ции, о т л и ч а ю ш е е с я тем, что, с целью повышения производительности устройства, оно снабжено дополнительным оптико-электронным регистрирующим каналом для эталонного фотошаблона и механизмом для ориентации этого фотошаблона > блоком синхронизации съема информации с приемников излучения, соединенным со счетчиком импульсов, сравнивающим аль ментом, связывающим приемники излучения с электронными ключами, соединяющие

| связанные с датчиками линейных перемещений счетчики импульсов через блокизапоминающих узлов с блоками для записи и обработки информации. I

481766

Состав ител ь Э. Гилинская

Редактор А.ЗиньковскийТехред НЛанеева Корректор Л.Брахнина

Заказ ДЯ Я Изд. № 868

Тираж 782 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24