Фотоэлектрический измерительный микроскоп

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 493623

Соме Сееетеиии

Соииелистическии ресоубаик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.03.73 (21) 1902351/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.11.75. Бюллетень № 44 (45) Дата опубликования описания 09.06.78 (51) М. Кл. G 01Ь 9/04

Государственный комитет

Coeera Министров СССР ао делам изобретений и открытий (53) УДК 535.822.9 (088,8) (72) Автор изобретения д,. С. фельдман (71) Заявитель (54) ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ МИКРОСКОП

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения размеров -объектов фотоэлектрическим способом.

Известен фотоэлектрический измерительный микроскоп, содержащий осветитель фотоэлектрического канала, выполненный в виде источника света, коллектора и полупрозрачного зеркала, осветитель визуального канала, кондепсор, объектив микроскопа, полупрозрачное зеркало, поворотное зеркало, блок визуального канала, проекционную систему фотоэлектрического канала и блок обработки инфо р м а ции.

Недостатком известного микроскопа является сравнительно низкая производительность измерений, так как оператор после отыскания в поле зрения визуального канала элемента, подлежащего контролю, должен обнаружить его вторично на экране телевизионного манитора, навести на телевизионное изображение этого элемента измерительную маску, подобрать ее размер и лишь после этого провести измерение. Кроме того, когда в поле зрения микроскопа присутствуют одновременно и большие, и малые измеряемые элементы, производительность контроля уменьшается из-за того, что оператор много времени затрачивает на настройку микроскопа.

С целью повышения производительности измерений в предлагаемом фотоэлектрическом микроскопе осветитель фотоэлектрического канала снабжен устройством маскирования, выполненным в виде диафрагмы переменной конфигурации, установленной между коллектором и полупрозрачным зеркалом с возможностью перемещения перпендикулярно оптической оси коллектора, кинематически связанной с поворотным зеркалом так, что между перемещением диафрагмы и углом и

10 поворота зеркала выполнено соотношение

К хР— 0

2S1 где Х â€”; S — пред15 метный отрезок объектива микроскопа; V— увеличение, с которым диафрагма проектируется на объект; l — расстояние от зеркала до изображения диафрагмы.

На чертеже представлена схема предлагае20 мого фотоэлектрического измерительного микроскопа.

Фотоэлектрический измерительный микроскоп содержит осветитель визуального канала

1 со светофильтром 2, осветитель фотоэлек25 трического канала, выполненный в виде источника света 3, коллектора 4 и полевой диафрагмы 5, полупрозрачного зеркала 6, конденсор 7, объектив 8, полупрозрачное зеркало 9, окуляр 10, зеркало 11, набор объекти30 вов в револьверной головке 12 с приводом 13, 493623

V.Х($ — 1) 2$1

35

50

Составитель В. Горшков

Редактор В. Блохина Техред А. Камышникова Корректор В. Посельский

Подписное

Заказ 904/11 Изд. № 306 Тираж 782

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 светофильтр 14, фотоприемное устройство 15, блок 16 обработки информации, манипулятор 17.

Фотоэлектрический микроскоп работает следующим образом.

Рассматривают изображение объекта 18, создаваемое объективом 8 и полупрозрачным зеркалом 9 в предметной плоскости окуляра

10. Выбрав элемент, размер которого подлежит измерению, с помощью манипулятора 17 подбирают размер и положение диафрагмы 4 так, чтобы ее изображение, создаваемое конденсором 7 на объекте 18, совместилось с измеряемым элементом, а контур описывал контур измеряемого элемента. Изображение объекта 18 создается объективом 8, зеркалом 11 и объективом 12 на фотоприемном устройстве 15. Перед последним установлен светофильтр 14, пропускающий излучение от осветителя фотоэлектрического канала и задерживающий излучение от осветителя визуального канала. Таким образом, на фотоприемное устройство поступает излучение лишь от измеряемого элемента. Диафрагма 4 кинематически связана с зеркалом 11 так, что при смещении диафрагмы 4 оно поворачивается и приводит изображение последней в центр фотоприемного устройства 15. При этом между перемещением диафрагмы 4 и углом поворота зеркала 11 должно выполняться соотношение

V.X(S — С а=

S! где У вЂ” увеличение, с которым диафрагма переносится в плоскость изображения;

Х вЂ” перемещение диафрагмы;

S — предметный отрезок объектива;

l — расстояние от зеркала до изображения диафрагмы.

Предмет изобретения

Фотоэлектрический измерительный микроскоп, содержащий осветитель фотоэлектрического канала, выполненный в виде источника света, коллектора и полупрозрачного зеркала, осветитель визуального канала, конденсор, объектив микроскопа, полупрозрачное зеркало, поворотное зеркало, блок визуального канала, проекционную систему фотоэлектрического канала и блок обработки информации, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности измерений, осветитель фотоэлектрического канала снабжен устройством маскирования, выполненным в виде диафрагмы переменной конфигурации, установленной между коллектором и полупро5 зрачным зеркалом с возможностью перемещения перпендикулярно оптической оси коллектора, кинематически связанной с поворотным зеркалом так, что между перемещением диафрагмы и углом а поворота зеркала выполнено

10 соотношение где Х вЂ” перемещение диафрагмы;

15 S — предметный отрезок объектива микроскопа;

V — увеличение, с которым диафрагма проектируется на объект;

l — расстояние от зеркала до изображе20 ния диафрагмы.