Способ автоматического управления тепловым режимом процесса индукционной бестигельной зонной плавки

 

те в с

Ь2 " т

487664

ОП И СЛЯ-И-Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Сотов С оотвхих

Ооииоттиотттчеехих

Реотт",блох

=;-Ы--+ > сс а (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.07.73 (21) 1955071/23-26 с присоединением заявки № (51) Л1. Кл. В О?j ?7j08

G 05Й 27/00

Совета Министров СССР оо делакт изобретений и открытий (53) УДК 66.012.-52 (088.8) Опубликовано 15.10.75. Бюллетень № 38

Дата опубликования описания 20.01.76 (72) Авторы изобретения

Л. О. Пульнер, К. Н. Неймарк, С. С. Наройчик, В. И. Аникии, и А. С. Кукуй (71) Заявитель (54) СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛ ЕНИЯ

ТЕПЛОВЫМ РЕЖИМОМ ПРОЦЕССА ИНДУКЦИОННОЙ

БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ

Формула изобретения

Удаоотввнныи иомитет 3 П"ио"итет (с ) Изобретение относится к металлургии полупроводниковых материалов и может быть использовано при индукционной бестигельной зонной плавке.

Известен способ автоматического управления тепловым режимом процесса бестигельной зонной плавки путем стабилизации диаметра выращиваемого кристалла. Но известный способ не обеспечивает стабилизацию электрофизических свойств по длине монпкристалла.

Предлагают способ, по которому управляют диапазоном пластичности монокристалла в зависимости от девиации частоты генератора воздействием на могцность подогревающего индуктора.

На чертеже представлена схема реализации способа.

Схема состоит из высокочастотного генератора 1. частотного дискриминатора 2, сумматора 3, регулятора 4, задатчика 5, программирующего блока 6, плавильного пндуктора 7, подогревающего индуктора 8.

Способ осуществляют следующим образом.

Отклонение частоты колебательного контура генератора 1 от номинальной выделяется частотным дискриминатором 2. Напряжение, пропорциональное величине этого отклонения частоты, через сумматор 3 поступает на регулятор 4. Задатчиком 5 и программирующим блоком 6 изменяется мощность на подогревающем индукторе 8 до тех пор. пока частота

?О генератора 1 не достигнет заданного значе «» k.

Способ автоматического управления тепло15 вым режимом процесса индукционной бестигельной зонной плавки, отличающийся тем, что, с цель|о стабилизации электрофизических и структурных свойств по длине выращиваемого монокристалла, управляют величи2() пой диапазона пластичности монокрпсталла в зависимости от девиации частоты генератора воздействием на мотцность подогреваюшего штдуктора.

487664

Составитель В. Шушков

Редактор В. Новожилова Текред М. Семенов Корректор Е. Рожкова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3330/7 Изд..№ 1883

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и

Москва, Я-35, Раушская

Тираж 782 Подписное

Совета Министров СССР открытий наб., д. 4)5