Многолучевое электронное отклоняющее устройство

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

«)506083 и .< (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.04.74 (21) 2013991/26-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.03.76. Бюллетень ¹ 9 (45) Дата опубликования описания 22.07.76 (51) М.Кл, Н 01 1 29 76

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений н открытии (53) УДК 621.385.832 (088.8) (72) Авторы изобретения

Г. Т. Сбежнев, С. Г. Силкии и Г. A. Штейнман (71) Заявитель (54) МНОГОЛУЧЕВОЕ ЭЛЕКТРОННОЕ

ОТКЛОНЯЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО

Изобретенле отно птся к электронно-оптическим системам, предназначенным для электронно-лучевой обработки материалов, чувствительных к электронному лучу. Оно может оыть использовано в эле.<тро;юлитографин.

Известно электростат.Iческое многолучевое отклоняющее устройство, содержащее систему проводников, создающих отклоняющие поля во взаим I0 перпенди.<улярных направлениях, причем система проводников выполнена в виде двух расположенных один над другим рядов параллельных стержней.

Недостатком устройства является то, что центры отклонения луча по двум направлениям разнесены по высоте, поэтому угол отклонения по одной нз осей больше, чем по другой. В результате увеличиваются аосррации и ухудшается разрешающая способность устройства. Кроме того, известное устройство имеет невысокую чувствительчость.

Цель изобретения — уменьшение аберраций отклонения, а та.<же увели-:ение чувствительности устройства. Указанная цель достигается тем, что каждая из систем проводников элеклронного м,ноголучевого отклоняющего устройства выполнена в виде двух соленоидов прямоугольного сечения, расположенных на общем каркасе из неферромагнптного материала один внутри другого.

Предложенное устройство обладает более высокой чувствительностью, чем электростатическое, благодаря этому для его питания могут быть использованы обычные генераторы отклоняющих сигналов.

Лберрации отклонения в устройстве снижены, поокольку центры опклонения .в обоих

1О направлениях совпадают за счет расположения соленоидов один внутри другого.

На чертеже показано предложенное многолучевое электронное отклоняющее устрой15 ство в двух проекциях.

Каркас 1, выполненный из неферромагнитного материала, имеет вид рамки прямоугольного сечения, две противоположнь.е стенки которои несколько уже двух других.

В стенках рамки сдела ны направляющие «анавки, по которым проложен провод 2, образующий два соленоида 8 и 4 с требуемым шагом намотки. Витки одного соленоида перпендикулярны виткам второго. Ток s соленоиды подается OT генераторов отклоняющих сипналов.

При подачс отклоня|ощих токов з соленоиды 8 и 4 в объеме каркаса 1 оздается отклоняющее магнитное поле, причем отклоФормула изобретения

4ч — (1

Составитель Н, Ефремова

Текред В. Рыбакова

Редактор Т. Орловская

Еор :ектоп H. Симкина

Заказ 707)892 о) Тираж 977 Под -.испо

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

НЯЮЩИЕ ПОЛЯ ВО B3BHAitkIO ПЕРПЕНДИ:<УЛЯРИЫХ направлениях действуют на одном и том же участке пространства, за исключением щелей зитками tiIkiyx HaTyiiieix. TaHHu ооразом, центры отклонения по двум HBHðàçëåниям совпадают. Электронные лучи, попадающие B отклоняющую систему, проходят ее между витками соленоидов. Для питания соленоидов при отклонении лучей с эиерг;.ей

10 кв достаточен ток ие выше 1 а, который обеспечивается обычными; снлителям . пост"„янного тока.

Многолучевое электронное отклоняющее устройство, содержащее систему проводников, создающих отклоняющие поля во взаимно перпендикулярных направлениях, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью уменьшения аберрации отклонения, а также увеличения чувствительности устройства, проводники систеIo мы расположены на общем каркасе из немагнитного материала в виде двух соленондоз, oñè которых взаимно перпендикулярны.