Устройство для контроля толщиныпленок многослойных покрытий в про-цессе напыления

 

иалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.04.73 (21) 1910082/25-28 с присоединением заявки № (51) М. Кл. G 01В 11/02

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531 717 55 (088.8) Опубликовано 30.03.76. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 21.05.76 (72) Авторы изобретения

О. В. Александров, Л. Ь. Кацнельсон и Ш. А. Фурман (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЪ| ПЛЕНОК

МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЪ|ТИЙ В ПРОЦЕССЕ НАПЪ|ЛЕНИЯ

Государственный комитет 3) (23 приоритет

Изобретение относится к измерительной технике.

Известно устройство для контроля толщины пленок многослойных покрытий в процессе напыления, содержащее источник света, спектральный прибор, фотоприемник, модулятор для поочередного выделения соответствующих длин волн, оптическую схему и регистратор.

Предложенное устройство от известного отличается тем, что спектральный прибор выполнен с двумя диспергнрующими элементами, расположенными под углом к оси прибора, обеспечивающим заполнение диспергированным светом половины выходной щели спектрального прибора, а модулятор установлен с возможностью поочередного перекрытия верхней и нижней половин выходной щели.

Такое выполнение устройства позволяет повысить его точность.

На фиг. 1 изображено предложенное устройство; на фиг. 2 — схема спектрального прибора.

Устройство содержит источник 1 света, оптическую схему 2, спектральный прибор 3, выполненный с входной и выходной щелями 4 и 5 и включающий в себя диспергирующие элементы 6 и 7 и оптические элементы 8 и 9, модулятор 10, вращаемый двигателем 11, фотоприемник 12, усилитель 13 и регистрирующий прибор 14. Диспергирующие элементы 6 и 7 спектрального прибора 3 расположены под углом к оси прибора, обеспечивающим заполнение светом половины выходной щели 5, а модулятор 10 установлен с возможностью поочередного перекрытия верхней и нижней половины выходной щели 5.

Описываемое устройство работает следую1О щим образом.

В вакуумную камеру 15 помещастся контролы1ый образец 16.

В процессе нанесения покрытия свет источника 1 с помощью оптической схемы 2 через

15 образец 16 направляется на входную щель 4 спектрального прибора 3.

Отраженный оптическим элементом 8 (зеркалом) параллельный пучок света направляет20 ся на два дпспергпрующих элемента 6 и 7.

Днспергнрованный элементамп 6 и 7 лучистый поток фокусируется элементами 8 и 9, ца выходную щель 5. Поток, диспергированный элементом 6, проходит чсрез верхнюю полови25 ну щели (луч 1), а элементом 7 -- через нижн1о1о IIoловпн1 (л1 ч II) . Л1 111 I н II — монохроматические: разной длиной I,1 I1 лg волны.

По ходу лучей за щелью 5 расположен модулятор 10, поочередно закрывающий верх30 нюю и ни>кню1о половины щели 5.

508666

С фотоприемника 12 на усилитель 13 поступает сигнал переменного тока, амплитуда которого пропорциональна разности коэффициентов пропускания образца 16 с контролируемой .пленкой для длины 3» и Х волн лучей I u II. Величина переменной составляющей усилителя 13 регистрируется прибором 14.

В описываемом устройстве можно плавно менять в процессе нанесения покрытия спектральный интервал чеждудлинами л и л. волн от десятых до сотен и тысяч нанометров, что позволяет при напылении каждого слоя, входящего в многослойное покрытие, выбирать положение обеих рабочих длин волн такими, при которых обеспечивается наибольшая точность.

Формула изобретения

Устройство для контроля толщины пленок многослойных покрытий в процессе напыления, 5 содержащее источник света, спектральный прибор, фотоприемник, модулятор для поочередного выделения соответствующих длин волн, оптическую схему и регистратор, от л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения точнос10 ти, спектральный прибор выполнен с двумя диспергирующими элементами, каждый из которых расположен,под углом к оси прибора, обеспечивающим заполнение диспергированным светом половины выходной щели спект15 рального прибора, а модулятор установлен с возможностью поочередного перекрытия верхней и нижней половины выходной щели.

568666

Составитель В. Климова

Те хр ед Т. Л я щен ко

Корректор Л. Орлова

Редактор Т. Горячева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1076/16 Изд. № 1215 Тираж 864 Подписное

Ц11ИИ11И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5