Подвижное герметичное соединение элементов вакуумных установок

 

ОП HCAHHii:ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистииеских

Республик (11) 52162.6 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено04.11.72 (21) 1843524/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.07.76.Бюллетень ¹ 26 (45) Дата опубликования описания.26.10.76 (51) М. Кл.

Н 01 J7/22

Гесударстееннмй комитет

Совета Миниотроа СССР оа делам изобретений и открытий (53) УДК 621.З85 (088.8) Е. И. Ельчанинов, В. П. Платов, Ю. П. Степанов, А. А. Трунин и А. Д. Ушанев (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ПОДВИЖНОЕ ГЕРМЕТИЧНОЕ СОЕДИНЕНИЕ

ЭЛЕМЕНТОВ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в вакуумной напылительной аппаратуре, в электроннооптических системах электроннолучевых установок и в сварочных электроннолучевых б установках.

Известно подвижное герметичное соединение элементов вакуумных установок, содержащее корпус, подвижный фланец и уплотнительную прокладку i 1) .

Недостатком известного устройства является значительная величина усилия на перемещение фланца относительно корпуса, так как прокладка находится под воздействием усилия, обусловленного атмосферным давлением, превышающего необходимое для герметизации.

Известно подвижное герметичное соединение элементов вакуумных установок, содер- 0 жащее неподвижный корпус, установленный на нем через опорные элементы подвижный фланец и уплотнительную прокладку f2).

В таком устройстве усилие на перемещение фланца относительно корпуса частично 25 снижается за счет введения опорных элементов, уменьшающих величину сил трения.

Однако, как и в устройстве (11, недостатком является ro, что уплотнительная прокладка испытывает значительные усилия.

Для снижения усилия перемещения фланца относительно корпуса в предлагаемом соединении уплотнительная прокладка выполнена в виде упругого конусообразного кольца с рабочими участками по горцам, расположенного в углублении подвижного фланца, размещенного на конусообразной опоре, жестко соединенной с подвижным фланцем, и герметизирующего одним из рабочих участков поверхность углубления фланца, а другим участком, выполненным тороидальным— поверхность стыка корпуса.

На чертеже изображено описываемое соединение.

На неподвижном корпусе 1 установлен подвижный фланец 2 через опорные элементы З. Во фланце 2 выполнено углубление4,, в котором расположена прокладка 5, выполненная в виде упругого конусообразного коль521616

Составитель В. Мирошкина

Редактор С. Вайкова Техред О. Луговая Корректор H- Ковалева

Заказ 4858/524 Тираж 976 Подписное

11НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений ы открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ца с рабочими участками 6 и 7 по торцам, армированного пружиной 8.

Прокладка 5 размещена на конусообразной опоре 9, жестко соединенной с фпанцем 5

2 винтами 10. Рабочий участок 7 прокладки 5 герметьэирует поверхность углубления 4, а участок 6, выполненно и тор оидальным, — поверхность 1 1 стыка фланца 2 и корпуса 1.

Герметизация корпуса 1 и фланца 2 осуществляется упругим конусообразным кольцом, находящимся под действием атмосферного давления, однако усилие, действующее на рабочий участок 6 кольца 5, снижено за

15 счет введения конусообразной опоры 9, воспринимающей большую часть давления. Ввиду снижения усилия, действующего на рабочий участок 6 прокладки 5, снижается уси20 лие на перемещение фланца.

Например, для перемещения ланца с уплотнительной прокладкой диамет,зом 150 мм усилие снижается в пять раз.

Ф ормула изобретения

Подвижное герметичное соединение элементов вакуумных установок, содержащее неподвижный корпус, установленный на нем через опорные элементы подвижный фланец и уплотнительную прокладку, о т л и ч аю ш е е с я тем, что, с целью снижения усилии перемещения фланца относительно корпуса, уплотнительная прокладка выполнена в виде упругого конусообразного кольца с рабочими участками по торцам, расположенного в углублении подвижного фланца, размещенного на конусообразной опоре, жестко соединенной с фланцем, и герметизируюmего одним из рабочих участков поверхность углубления фланца, а другим участком, выполненным тороидальным, — поверхность стыка корпуса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Рот. А. Вакуумные уплотнения. М., Энергия, 1971, с. 310.

2. Патент Франции М 1331413, М.Кл. F 27 sý

Х 963.