Устройство для контроля зеркал с нерабочей центральной частью

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявленою.09.75 (21)2т7З44О/еО с присоединением заявки №(23) Приоритет

Союз Советских

Социалистических

Веспублик (ll; 561 j61 (5)) М. Кл.

Ст 02 В 27/00

Гоаудврствоииый комитет

Соввтв Еииииатров СССР по делам изаорвтеиий и открытий (43) Опублнковано05д8 77 Б1оллетеиь № 23. (53) УДК885.824.8 (О 88.8) (4б) 1Еата опубликования оппсанпл04,08»7? (72) Авторы изобретения

К. М. Груздева, М. В..Побачев и H. Е, Павлов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДПСЕ КОЕЕТРОЛЯ ЗЕРКАЛ

С ВОГНУТОЙ НЕРАБОЧЕЙ ЦЕЕ-ЕТРЛЛЕ ЕЕОЙ

ЧАСТЬ ЕО

Изобретение относится к оптико-меха ническим устройствам для контроля качества изготовления поверхности светосильных сферических и асферических зеркал.

В известных устройствах для контроля зеркал, содержащих источник и приемник света, корректор аберраций, установленный между контролируемым зеркалом II центром его кривизны, для оптического сопряжения источника света с точкой, в кото;1 рой наблтодается его изображение, требуется смещение источника света с оптической оси.

Такое смешение при больших апертурных углах, т. е. при большой светосиле контролируемого зеркала вносит значительный аст11г д мйтизм, который ухудшает точпость контроля, цель изобретения - повышение точчости поверхностей зеркал за счет устранения астигматнзма. 0

В описываемом устройстве на одной из поверхностей корректора аберраций нанесеHD зеркальное светоделнтельное покрытие, а источник и приемник света размещены на оптической оси контролируемого зеркала. 25

На чертеже представлена Оптп1ес11ай схема устройства, Источником Iсвета является светя111анся точка 1, расположе1п ая на оптической осп пр11емнпка (мцкЕ Ообьектпва) 2, На этой же Осп находится изображение светя

t щейся то=3к11 3. Точка 3., приемник 2 и пзэбрахсенпе светящейсч точк11 3 ОбразуБэт спс- 1 «м; поде:CTIIII, рясположеппуто на Оптц» ческОЙ ocII;1!II3Bы корректора аберра11пп 4. на п«редн1О1О поверхность коi Орой цапесе11О светоделптелы1ое 13Окрытне. На етой же оси располнело конт »л!пруеыое зеркало 3, ко торое нахоjlliTcii вбл31зп пс.тсч13П11а св:.:та Л., и liIèêpooáå:ект11ьа:= в ."-.,ч () О хо11; света) линзОЙ кОРРектОР13 Q " 111313ßÉ:Il* 4 3 1ожет 613Th применен допо113пттель1П.1ц комлонепт 8 корректора аберра11п1Е 4, за которым располо>иен но1к Фуко 7, Таким Обре. ом, все Оптическпе детали 2,4 и 5, а также точки 1,3 и 7 находя1ся строго на Оптической Оси, УСТЕЗОйствО работает следутошим Образом, Свет оТ нстэчпика свет 3 1, пройдя прнЬФ (IIIIipoooI=«IT!ID) 2, co leeT егo 11зобра жепл в точке 3» Далее свет попадает на поверрицсчь 8 п инзы кор ректора аберрации 4. Эта поверхность ьявпяется в изображенном на чертеже варианте плоской, но oshl может быть также выпуклой или вогнутой В зависимости оТ оптичес. кого расчета линзы корректора аберраций 4.

После отражения от поверхности 8 свет направляется к зеркалу 5 по нормалям к его поверхности, отразившись.! от негЩ по тому же пути идет K линзе корректора абер- 10 раций 4. После прохождения ее он падает на . дополнительный компенсатор 8. Этот компенсатор применяют в тех случаях, если коррегирующей силы линзы 4 окажется недостаточно для сведения нормалей

15 в одну точку. После прохождении линзы 6 свет собирается в точке 7, в которой может быть установлен нож,фуко иди другие приемники лучистой энергий, служащие для исследования поверхности зеркала 5.

Все оптические элементы схемы лежат точ но на оптической оси, вследствие чего не появляются добавочные Ьберрации g напри=-. мер астигматизм при больших апертурных углах. Кроме того, как видно из сводки остаточных аберраций, изображение светящейся точки.црп исследовании остаточных абер раций свободно от сферической аберрации.

Оно решает задачу точного контроля в процессе изготовления крупных светосильных вогнутых зеркал с нерабочей центральной частью (контроль центральной части с помощью данного устройства невозможен,, так как эта часть экранируется источником свеЪа), Ф

Изображение светящейся точки находится ца большом расстоянии от оптических или механических устройств и в аей или вбпизи нее могут быть расположены любые измерительные приспособления.

Расположение изображения светящейся точки таково, что оно находится на оптической оси устройства и удалено от какихлибо механических узлов, что является, очень удобным в работе и исключает ошибки схемы. Удобное расположение приемника лучистой энергии увеличивает надежность работы компейсационной схемы, дает возможность производить контропь при больших апертурах с применением различной аппаратуры. Предпоженная схема может иметь некоторые модификации, касающиеся формы линзы 4. Нащимер, линза 4 может быть выполнена не только ппосковыпукпой, но и двояко выпуклой; в качестве отражающей оверхнбсти может быть принята как поверхность 8, так и поверхность 0.

Ф орм упа изобретения

Устройство для контроля зеркал с вогиуто6 нерабочей центральной частью, содержащее источник и приемник света, корректор аберраций, установленный, между контро» дируемым, зеркалом и его центром кривйзны, о т п и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля светосипьных зеркал за счет устранения. астнгматизма, в нем на одну из поверхностей корректора аберраций нанесено зер. капьное светоделительное покрытие, а источник и приемник света размещены на, оптической оси контропируемого заркапа.

561161

Составитель Ю. В. Дахноиская

Редактор О. филиплова Техред С, Веда Корректор В, Галас

Закаэ 1568/161 Тир@и 628 Подписное

UHHHOH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушскаи иаб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4