Устройство для оптического контроля интегральных схем

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

О П И С А Н И Е (вв4 в7

И- ЗОБ РЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свил-ву— (22) Заявлено 21.07.76 (21)2388206/18-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.02.78. Бюллетень № 7 (45) Дата опубликования описания оь.oл. т (51) М. Кл.

G. 01 Я 31/26

G 01 Я 21/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений н открытий (53) УДК621.385. .833 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. И. Лонокий, Н. Н. Горюнов и В. A. Каверзнев (71) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ОПТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ

ИНТЕГРАЛЬНЫХ CXEМ

Изобретение относится к области электронной техники — к аппаратуре неразрушающего контроля качества интегральных схем (ИС) и предназначено для отбраковки интегральных схем со скрытыми дефектами, а также планарных диодов и транзисторов.

Известно устройство для выявления дефектов поверхности кристалла полупроводниковых приборов, содержащее проекционный кинескоп, оптическую систему, фотоэлектрический датчик. усилители фотоответа и видеосигнала, смеситель и аттенюатор видеосигналов, коммутатор обратной связи, блок питания объекта (1) .

3а счет применения светоэлектрической обратной связи оно отличается улучшенным контрастом изображения. В этом устройстве сигнал фотоответа полупроводниковой структуры используется для яркостной модуляции луча проекционного кинескопа и получения тем самым фотоответного контрастного изображения с усиленным или ослабленным контрастом.

Однако известное устройство предназначено для анализа простых полупроводниковых структур. С ростом степени интеграции и функциональной насыщенности анализируемых ИС возрастает трудоемкость контроля и снижается

его достоверность.

Известно устройство для отбраковки интегральных схем, содержащее проекционный кинескоп, оптическую систему, фотоэлектрический датчик, усилители фотоответа и видеосигнала, индикаторное и исполнительное устройства (2).

Это устройство хотя и позволяет контролировать большие интегральные схемы, однако, имеет низкие точность и надежность контроля.

Целью изобретения является повышение точ ности и надежности процесса контроля незагерметизированных ИС.

Достигается это тем, что выходы усилителей фотоответа и видеосигнала соединены с блоком аналогового умножения, выход которого подключен к интегратору.

На чертеже представлена блок-схема устройства для оптического контроля интегральных схем.

Предлагаемое устройство содержит проекционный кинескоп 1, оптическую систему 2, фотоэлектрический датчик 3, усилитель видеосигнала 4, усилитель сигнала фотоответа 5, аналоговый умножитель 6, интегратор 7, пороговое устройство 8, исполнительное устройство 9, индикатор 10, программируемую раз25 вертку 11.

594467

Формула изобретения

7 — — Гд — = 9

Составитель Т. Дозоров

Редактор Е. Гончар

Заказ 879/54

Тек ред О.:1уговая

Тираж 11!!

Корректор Л. Гриценко

Подписное

ЦН И И П И 1 осударс венного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытии

1 1 3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 415

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устронство для оптического контроля интегральных схем работает следующим образом.

Растр, образуемый на экране проекционного кинескопа 1, через оптическую систему 2 проектируется на поверхность анализируемой

ИС. Отраженный световой сигнал преобразовывается фотоэлектрическим датчиком 3, усиливается усилителем видеосигнала 4 и подается на один из входов аналогового умножителя 6. Сигнал фотоответа через усилитель сигнала фотоответа 5 подается на другой вход аналогового умножителя 6. Произведение фотоответного и отраженного сигналов суммируется интегратором 7 и поступает на пороговое устройство 8. В случае наличия инверсионного канала или области поверхностного пробоя взаимокорреляционная функция фотоответного и отраженного сигналов на входе порогового устройства 8 становится выше некоторого уровня и срабатывает исполнительное устройство 9.

Видимое фотоответное или совмещенное изображение поверхности ИС можно наблюдать на экране индикатора 10.

Статистическое сравнение фотоответного и видимого изображений производится фрагментами. С этой целью применена программируемая развертка 11. Величина фрагмента определяется минимальным размером дефекта, проходяшего по критерию забракования.

Использование нового элемента — блока статистического сравнения фрагментов — выгодно отличает предлагаемое устройство для оптического контроля интегральных схем от

5 прототипа, так как применение блока статистического сравнения фотоответного и отраженного сигналов позволяет объектизировать процесс анализа, в результате чего повышаются точность и надежность процесса контроля ИС.

Устройство для оптического контроля интегральных схем, содержащее проекционный кинескоп, оптическую систему, фотоэлектрический датчик, усилители фотоответа и видеосигнала, индикаторное и исполнительное устройства, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности контроля, выходы усилителей фотоответа и видеосигнала сое2Q динены с блоком аналогового умножения, выход которого подключен к интегратору.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

l. Авторское свидетельство СССР № 390422, М кл G Ol N 21/16, 11.07.73.

2. Патент США № 3909602, кл. 235 — 151,3, 30.09. 75.