Способ подстройки рабочей частоты пьезомеханического резонатора
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
И АВТОРСМОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (1 1) 6502Б
Сон1з Советских
Социалиста 1еских
Реснуелик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Зааявлено 1 .08.73 (1) 1954896 18-09 с присоединением заявки Ма (01) М. K, I.-
H ОЗН 9i02 ло делам изобретений (43) Опубликовано 28.02.79. Бюллетень ¹ 8 (53) УДК 621.372.54 (088.8) и отнрыт1.й (45) Дата опубликования описания 28.02.79 (72) Авторы изобретения
В. О. Соколов, В. К. Смирнов и В. I1. Шумаков (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОДСТРОЙКИ РАБОЧЕЙ ЧАСТОТЫ
П ЬЕЗОМ ЕХА Н И Ч ЕСКОГО Р ЕЗО ИА1 О РА
Государственный комитет
23 Приоритет
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для подстройки рабочей частоты пьезомсханического резонатора изгибных колебаний, преимущественно туш:с ора.
Известен способ подсзроики рабочей частоты пьезомеханичсского резонатора изгибных колебаний, представляющего сооой пьезоэлементы, закреплен;- ые на балочной конструкции, размсщс ные на подложке, 10 который состоит в подгонке прямоугольного контура ба; очной конструкции jlj.
Недостатком такого ciiocoá2 является невозможность понижения рабочей частогы пьезомеханического резонатора. 15
Известен также способ подстроечного понижения рабочей частоты пьезомсханического резонатора изгибных колебании, представляющего собой пьезоэлементы, закрепленные на балочной конструкции, размс- «о щенные на подложке, который состоит в нанесении на балку однородного по толщине тонкопленочного покрытия j2).
Недостатком этого способа является узкий предел подстройки рабочей частоты.
Целью изобретения является расшпр ние
lIpc+P. 22 подстройки рабочей 12сТ I 1 п=сзомеханического резонатора.
Указанная цель достигается тем, что рабочу1о частоту пьезомеханическогo рсзонатора изгибных колебаний, представляющего собой пьезоэлементы, закрепленные на балочно11 конструкции, размещенные на подложке, подстраивают, изменяя поперечное сечение 02. очной конструкции в плоскости IIOQ.IOII I Рабочая частота тунистора, выполненного на подложке пз элинварового сплава толщиной 0,8 мм с размером балки 4> 15 м»с понижалась с 17,4 кГц до 15,4кГц при сим»етричном утоньшении средней i2сои балки в плоскости подложки по радиу«сам 28>b»ii и новь|щалась с 17>4 Iil ll, до 18,15 к1 II i|pII расширении средне1; части IIO тем же радиусам. Данный способ значительно расширяет прсделы подстройки рабочсй частоты пьезомеханического резонатора. Ю 0 Р М У Л 2 i; 3 О 0 P Е 1 С 1111 Sl L iio oU подсlройки рабо Icii 92cTolbl пьезомсханического резонатора изгибных колебаний, предст2вляlощего собой пьезоэлементы, закрепленные на балочной конструкции, размещенные на подложке, о т л и ч а;о ц и и с я гсм, что, с цсл1 и расширения ,1редсла одсг10;.211, раоочую частоту подстраивают, изменяя поп речное сечение конструкции в плоскociii подложки по длине балки. 650215 Составитель А. Савченко Тсхред Л. Ка .:ыаягикова Корректоры: О. Тюрина и Т. Добровольская Редактор H. Суханова Заказ 81/12 Изд. 1/з 204 Тираж 1059 Подписное 1ПO «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Newell W.Е., Wickstrom R. А. The tunistor. А mechanical resonator for microcircuits. — «The IEEE transactions on electron devices», V. ED-16, N 9, 1969, р, 785. 2. Newell W. E., Wickstrom R. А. The tu. nistor. А mechanical resonator for microcircuits. — «The IEEE transactions on electron devices», V. ED — 16, № 9, 1969, р. 786.
