Станок для изготовления сферического шлифа

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскмк

Социапистическик

Респубпик

1776 —— (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.07.77 (21) 2506927/25-08 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (51)М. Кл.

В 24 В 5/00

Геаударстееииый камитет

Опубликовано 05.12.79, Бюллетень Ж 45 па делам иэоаретеиий и аткрытий (53) УДК 621.924.1 (088.8) Дата опубликования описания 05.12.79 (72) Авторы изобретения

А. И. Архипов и П. И. Кутовый (71) Заявитель (54) СТАНОК ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

СФЕРИЧЕСКОГО ШЛИФА

Изобретение относится к технике механической обработки материалов и может быть использовано в производстве полупроводниковых структур при проведении контроля их электрофи зических параметров.

Известен станок для изготовления сферического шлифа, включающий сферический шлифовальник, кинематически связанный через водило с приводом, установленный в гнезде с возможностью колебательного движения (1), Недостаток этого станка заключается в том, что шлифовальник имеет ограниченные колебательные движения,. это приводит к снижению качества обрабатываемой поверхности.

Цель изобретения — повышение качества об1S рабатываемой поверхности.

Это достигается тем, что предлагаемый станок снабжен нажимным устройством, установленным с возможностью силового взаимодей20 ствия со сферическим шлифовальником вдоль оси привода;

На фиг. 1 изображен описываемый станок, общий вид; на фиг. 2 — узел шлифовальника.

На металлическом корпусе 1 закреплена плита 2, на которой размещены наводящее устройство, опора 3 с установленным на ней сферическим шлифовальником 4 и нажимным устройством 5, микролифт 6, электропривод 7, предметный столик 8 с вакуумной присоской и вакуумный вентиль 9, ванна 10 для шлифовального состава, очиститель 11 и емкость 12 для сбора шлака. Внутри корпуса 1 размещены элементы электронной схемы, обеспечивающей питание, управление, сигнализацию и отключение привода.

Наводящее устройство состоит из микроскопа 13 и предметного столика 8, который выполнен с возможностью поворота на 180 в вертикальной плоскости. На станке можно устанавливать сферические шлифовальники различных размеров. Опора 3 выполнена с коническим гнездом для шлифовальника. Нажимное устройство 5 фиксирует шлифовальник 4 в гнезде опоры 3.

Свободный конец поводка 14 кинематически связан с приводом шлифовальника посредством телескопического шарнира. причем шарнир вы3 701 полнен. с возможностью перемещения по радиусу водила 15.

Станок работает следующим образом, Обрабатываемую полупроводниковую структуру устанавливают на предметном столике 8.

С помощью наводящего устройства выставляют заданную точку топологии полупроводниковой структуры в зону шлифования. Открывают вакуумный вентиль 9 и структура закрепляется на предметном столике посредством вакуумной присоски. Поворачивают предметный столик о на 180 и устанавливают на микролифт 6, с помощью которого структуру вводят в контакт со шлифовальником 4. Ванну 10 заполняют шлифовальным составом и включают электропривод 7. Шлифовальный состав подается шлифовальником из ванны в зону обработки. Шлак снимается со шлифовальника очистителем 11 и собирается в емкости 12.

Электронная схема отключает привод шлифовальника при достижении заданной глубины шлифования. 4

Использование предлагаемого станка позволяет повысить качество обрабатываемой поверхности.

770

Формула изобретения

Источники информации, 20 принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР Р 538535, кл. В 24 В 5/00, 1974, Станок для изготовления сферического шлифа, включающий сферический шлифовальник, 10 кинематически связанный посредством водила с приводом, установленный в гнезде опоры с возможностью колебательного движения, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, он снабжен нажимным устройством, установленным с возможностью силового взаимодействия со сферическим шлифовальником вдоль оси привода.