Способ очистки деталей из алюмооксидной керамики

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз CoooTcKNx

Социалистических

Реслублин

<щ704684

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕПЛЬСТВУ (61) Дополнительное, к авт. свмд-ву (22) Заявлемо 270677 (21) 2499990/2&-12 (51)М. Кл с присоединением, заявки йо

В 08 В 3/12

Государстаеиимй комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано25.1279. Бюллетень ЙФ 47

{53) УДК 621,7. е024(0&&фB) Дата опубликования описания 251279 (72) Авторы изобретения Г. с. лорджин, т. к. китаева и н. и. коновалова

П (71) Заявитель

f (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ДЕТАЛЕИ ИЗ МЮМООКСИДНОЯ

КЕРАМИКИ

Изобретение относится к способам очистки поверхности материалов, в . частности алюмооксидной керамйкин может применяться, например при 5 производстве оптических квантовых генераторов для очистки поверхности разрядных трубок.

Поверхность разрядных трубок из— алюмооксидной керамики обладает эна- р чнтельной адсорбционной сяособностью к загрязнениям. Кроме того, поверхностный слой вследствие механической обработки при изготовлении детали является пористым и адсорбирует газы, трудно удаляемые при термовакуумной обработке. Под влиянием конной бомбардировки может происходить десорбцня неудаленных газов, что снижает срок службы оптических квантовых генераторов и в некоторых случаях приводит к выходу их иэ строя. Таким образом, для достижения достаточной чистоты поверхности необходимо не только удалять загрязнения с поверхностк, но и удалять газонасыщенный слой, что должно привести к снижению газоотделения.

Известен способ очистки деталей иэ алюмооксндной керамики, включающий йромывку в мсйацем растворе, содержащем поверхностно-активное вещество (ПАВ), с применением ультразвука и последующую сушку (1), .Газоотделение после хймической обработки и сушки:на воздухе составляет 7,5 мкм л/см . Газоотделение.

2, 0,9 мкм л/см получают после химической обработки керамкки и последуЮ -. щей сушки в обеспыленной атмосфере при 250-300 С

В результате такой суйки удаляется часть адс«орбкрованных газов, вследствие чего значительно уменьшается остаточное газоотделение керамики.

Аналогичный результат дает обработка деталей в вакууйе при 900 С и отжиг при,900оС.

Однако данный |способ очистки не . удаляет газойасышенный слой поверх-. ности и, таким образом, не снижает газоотделения в -процессе термовакуумной обработки прибора и его эксплуатации.

Цель изобретения + улучшение качества очистки деталей иэ,алюмооксидной керамики.

Это достигается тем, что детали после промывки в моющем растворе, 7046 содержащем ?ЙВ с прймеи!е!нЪем! Ультразвука, дополнительно обрабатывают раствором едкого натра, причем обработку деталей осуществляют 15-30% раствором едкого натра с температурой 75-85 С в течение 30-60 мин.

При такой, более глубокой химической очистке керамических деталей, происходит не только удаление загрязнений с поверхности, но и удаление противоповерхностного пористого газо- (0 насыщенного слоя путем стравливания.

В результате газоотделение керамики уменьшается и увеличивается .срок службы прибора.

15 вес. Ъ 45

Газоотделение по данному способу после обеэжиривания в ОП-10, травления в щелочи и сушки на воздухе составляет 1,8 мкм л/см2. Если затем подвергнуть детали сушке в обеспыленной атмосфере при температуре 250-. 20

300 С, то газоотделение составляет

0,5 мкм л/см 2.

Однако, ввиду того, что по тех.— нологии изготовления приборов керамические детали в дальнейшем подверга- 25 ются операции обезгаживания в вакуу-, ме при темпеРатУРе 400 С, нецелесообразно включать эту операцию в технологию очистки керамических деталей. 30

Пример 1. Обработанные в растворе ОП-10 с применением ультразвука керамические трубки помещают в ванну с рабочим раствором, содержащим 25 вес.% едкого натра, нагре- 35 тым до 82 С. Время обработки 40 мин.

После этого трубки промывают горячей дистиллированной водой, затем холодной дистиллированной водой и сушат на воздухе при температуре 90 С. Гаэоотделение составляет 1,8 мкм л/см

H p и м е р 2. Обработку осуществляют как в примере 1, только при .следующих парамерахг, Концентрация рабочего раствора

Температура рабочего раствора оптимальная 82 С

Время обработки 40 мин

После обработки керамики в указанном режиме газовыделение равно

2 ,3.1 мкм л/см

Пример 3. Обработку осуществляют как в йримере 1, только при .следующих параметрах:

Концентрация рабочего 55 раствора 30 вес.Ъ

Температура раствора 82 С

Время обработки . 40 мин

Газовыделение 2,5 мкм л/см

Пример 4. Обработку осущест- 6() вляют как в примере 1, только при следующих параметрах;

Температура рабочего раствора 75 С o

Концентрация раствора 25 вес.% 65

S4 4

Время обработки 40 мин

Газовыделение 2 7 мкм л/см .

Пример 5. Обработку осуществляют как в прймере 1, только при следующих параметрах:

Температура рабочего, раствора 85 С

Концентрация раствора 25 вес.%

Время обработки 40 мин

Газовиделение

Пример 6, Обработку осуществляют как в примере 1, только при следующих параметрах:

Концентрация рабочего раствора 25 вес.%

Температура раствора 82 >С

Время обработки 30 мин

Гаэовыделение 3,0 мкм л/см

Пример 7, Обработку осущест" вляют как в примере 1, только при следующих параметрах: .

Концентрация рабочего раствора 25 вес.%

Температура раствора 82 С

Время обработки . 60 мин

Гаэовыделение 2,3 мкм л/см

Выбор граничных условий парамет-, ров процесса определяется значением гаэоотделения, которое должно быть минимальным (беэ сушки в обеспыленной атмосфере мийимальное зна!чение газоотделения составляет порядка и

8 мкм л/см ) Гаэоотделение при граничных значениях параметров процесса увеличивается. Кроме того, при более низкой (менее 15%) концен» трации раствора значительно умень-. шается скорость травлейия, а при более высокой концентрации раствор становится неустойчивым и наблюдается выпадение осадка. То же относится и к интервалу темйератур. При температуре рабочего раствора ниже 75 С рез- ко падает скорость травления, а прй температуре выше 85 С -выпадает хло- . пьевидный осадок. Оптимальное время обработки деталей выбирают в завйсимости от других параметров режима (концентрации и температурй рабочего раствора).

Испытания показали, что газоотделение трубок, обработанных в соответствии с данным способом, умень- " шается в два раза по сравнению с. ., газоотделением трубок, обработанных в соответствии с известным способом..

В связи с этим, срок службы прибора увеличивается в 2-3 раза. формула изобретения

1.Способ очистки деталей из алюмо- оксидной керамики, включающий про- .:-.мывку в моющем растворе, содержащем поверхносто- активное вещество, с применением ультразвука и последующую сушку, отличающийся тем, что, с целью улучшения очистки, детали

704684

Составитель О. Маслаченко

Редактор С. Суркова Техред, M.KaneMeui Корректор И. Михеева

Закаэ 7920/14 Тираж 669 . Подйисное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобрЕтений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

«««

««

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 после про. рывки дополнительно обрабатывают раствором едкого натра.

2. Способ< по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что обработку деталей осуществляют 15-30% раствором едкого натра с,температурой 75-85 С в течение 30-60 мин.

Источники ин4юрмации, принятые во внимание ™ри экспертиэе

1. Электронная техника, сер,l> вып. 2, 1972, с. 55-60 (прототип)..