Дозатор паров жидкости, транспортируемых потоком газа

 

еп

ОП И ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

«ii 7l2672

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву 569856 (22) Заявлено 21,08.78 (21) 2659756/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (51) М. Кл. 6 01 Г 11/00

Государственный комнтет

СССР ло делам изобретений н открытий (23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.01.80. Бюллетень № 4 (45) Дата опубликования описания 30.01.80 (53) УДК 681.26 (088.8) (72) Авторы изобретения

Д. М. Банков, В. В. Добровенский, В. А. Максимов и В. П. Гришин (71) Заявитель Государственный ордена Октябрьской Революции научноисследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности (54) ДОЗАТОР ПАРОВ ЖИДКОСТИ, ТРАНСПОРТИРУЕМЫХ ПОТОКОМ ГАЗА

Изобретение относится к дозированию материалов и может быть использовано для получения полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур с заданными электрофизическими характериспиками.

По основному авт. св. № 569856 известен дозатор паров жидкости, транспорти- руемых потоком газа, содержащий терм остатированную испарительную камеру, сообщенную через отверстие со смесительной камерой с патрубками для ввода и вывода газов, и дополнительный патрубок, присоединенный к испарительной камере (1).

Недостатками этого дозатора являются низкая точность дозирования малых количеств паров жидкости, связанная с заполнением смесительной камеры и газовых коммуникаций парами жидкости после прекращения процесса дозирования, и необходимость применения сложных газовых коммуникаций.

Цель изобретения — повышение точности дозирования малых количеств паров жидкости.

Указанная цель достигается тем, что в смесительной камере установлен вентиль для перекрытия отверстия, сообщающего смесительную и испарительную камеры.

Изобретение поясняется чертежом, на котором приведен общий вид дозатора.

Дозатор содержит термостатпрованную

5 испарительную камеру 1, в которую залита нспаряемая ж идкость 9, и смесительную камеру 2. Смеситсльная камера 2 снабжена патрубкамп для ввода транспортирующего газа 8 и отводящим патрубком 4 для подачи парогазовой смеси к объекту легирования. Для сброса части пара жидкости испарительная камера снабжена патрубком 5.

В верхней части испарительной камеры 1 имеется калиброванное отверстие б, соединяющее испарительную и смесительную 2 камеры. В смесительной камере 2 установлен вентиль 7 с рукояткой 8, расположенной с внешней стороны камеры.

Устройство работает следующим образом.

Перед началом процесса дозирования устанавливают необходимую температуру испарения жидкости и заданный расход

25= газа через смесительную камеру 2. Отверстие б закрыто вентилем 7 и пары жидкости не попадают в смесительную камеру 2.

Процесс дозирования начинается с момента открытия отверстия б вентилем 7. При этом пары жидкости 9 начинают диффузи712672

Формула изобретения

Составитель Н. Иемцева

Тскред А. Камышникова

Корректор И. Симкина

Редактор Т. Рыбалова

Заказ 11/40 Изд. № 145 Тираж 810 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» онно поступать через отверстие б в смесительную камеру 2, где смешиваются с потоком транспортирующего газа, поступающего через входной патрубок 8. Образующаяся папогазовая смесь по патрубку 4 поступает к объекту дозирования. Часть потока транспортирующего газа поступает в испарительную камеру 1 и через патрубок

5 .уносит некоторое количество пара жидкости на «выброс».

По,окончании процесса дозирования отверстие б перекрывают вентилем 7. При этом доступ паров жидкости в смесительную камеру и газовые коммуникации прекр а ща ется.

Дозатор паров жидкости, транспортируемых потоком газа, по авторскому свидетельству № 569856, отл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью повышения точности дозирования малых количеств паров жидкости, в смесительной камере установлен вентиль для перекрытия отверстия, сообщающего смесительную и испарительную камеры.

Источник информации, принятый во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 569856, кл. G 01 F 11/00, 1976 (прототип).