Устройство для перегрузки кремниевых пластин из транспортирующих кассет

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнк

Соцмалистнчесимк

Реслублмк

< 748580 (61) Дополнительное к авт. санд-ву— (22) Заявлено 05.06.78 (21) 2625302/18-21 (51) М. Кл.е с присоединением заявки №вЂ”

Н 01 L21/00

Гасударственный комитет (23) Приоритет— (53) УДК 621.383 (088.8) Опубликовано 15.0?.80. Бюллетень № 26

II0 делам изобретеиий и открытий

Дата опубликования описания 25.07.80 (72) Авторы изобретения

Ю. В. Жеребцов и В. Н. Лапин (7l) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ПЕРЕГРУЗКИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН

ИЗ ТРАНСПОРТИРУЮЩИХ КАССЕТ

Изобретение относится к электронной технике, а именно к оснастке, применяемой в производстве микросхем, для перегрузки, пластин на групповых операциях из многорядной тары в однорядную н обратно.

Известен перегрузчик полупроводниковых пластин, содержащий корпус с пазами под пластины н средство для изменения

u!ara между пластинами, работа которого основана на стыковке (наложеннн) тары н перегрузчнка, совмещая пазы под пластины, перевороте на 180 с одновременным орнентнрованным перемещением пластин по пазам (1).

Однако такой перегрузчнк не предусматривает групповой перегрузки пластин без дополнительных прнспособленнй н устройств нз многорядной тары (например двухрядной) в однорядную н обратно, а средства для нзмевення шага между пластинами связаны либо с захватными органами либо сложны в эксплуатации. Прнмененке его для перегрузки пластин нз многорядной тары в однорядную невозможно, так как корпус перегрузчнка с пазами под пластины одновременно может принять только один ряд пластин, другне ряды пластин, остав.шнеся в таре, выпадут при перевороте на

)80, что ведет к нх расколам, трегцннам н к браку.

Известно также устройство для перегрузки кремниевых пластин нз транспортирующих кассет, содержащее корпус, выполненный в виде скрепленных стяжками боковых стоек с гнездами, причем в боковых стойках выполнены последовательно чередующиеся с гнездами пазы на расстояниях, кратных шагу транспортирующей кассе-! о ты (2j.

Известное устройство не позволяет производить перегрузку пластин с разным uiaгом без дополнительных йриспособленнй.

Цель изобретения — снижение трудоемкости перегрузки и повышение производительности.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство для перегрузки кремниевых пластин, содержащем корпус, выполненный в виде соединенных между собой элементов т0 с пазами для пластин с возможностью взаимодействия с ним средств для изменения шага между пластинами, средства для изменения шага выполнены в виде планки, каждая нз которых снабжена сквозными н не748580 сквозными пазами, чередующимися между . диффузионную лодочку. Элементы (блоки) собой с постоянным шагом. устройства расстыковывают и состыковываа фиг, 1 изображено устройство, со ют в однорядное положение (фиг. 2) вместе стоящее из 2-х элементов (блоков) в 2 ряд с пластинами. Йакла

Накладывают лодочку на (двухрядное положение), общий вид, на устройство, совмещая паз фиг. 2 — т ая пазы лодочки с пав1 я н фиг. — то же, составленное из 2-х блоков s зами 2 устройства и одн и одновременно вводя в ряд (однорядное положение); на фиг. 3 - пластины в пазы лодочки. П одочки. ереворачивают групповая выгрузка, пластин из двухрядной лодочку с устройством íà 180". Пластины транспортной тары в устройство; на фиг, 4 — перемещаются в паз групповая загрузка пластинами диффузион- оказываясь сверху лодочки, снимается. 3а 10 ной лодочки из однорядного устройства для груженную пластинами ло перегрузки; на фиг. 5 — планка.. в диффузионную печь для произведения

Устройство состоит из корпуса, состав-. диффузионных процессов. ленного из соединенных между собой эле- - После окончания он ания химических, литограментов (блоков) l, — имеющих пазы 2 для фических, диффузионных операций произполупроводниковых пластин. Причем в бло- водится обратная пер ках выполнены штифты 3 и отверстия 4 спортную двухрядную тару. Описанный продля соединенных блоков между собой. Сред- ttecc перегрузки повторяют в обратном поства для изменения шага между пластинами рядке. выполнены в виде накладных планок 5 в, Транспортная и оп р я и операционная тара могут наборе, отличающиеся друг от друга тольио иметь различный шаг между пластинами. величиной шага между чередующимися При необходимости изменения шага между льзуют накладные планки пазами и прорезями. Планка 5 имеет сквоз- в пластинами используют на ные пазы 6 и вспомогательные дугообразные (фиг. 5), каждая из которых имеет шаг, (несквозные) пазы 7. На фиг. 5 планка равный шагу операцио н " опе ационнои кассеты или показана для перегрузки пластин с увели- лодочки (например, 2, 4, 8 мм и т. д.). чением шага в.операционной кассете, т. е. Накладную пластинку с и ку с нужным шагом по2$ шаг между пластинами в кассете, откуда мешают между корпусом ка у орпусом кассеты и устройперегружают меньше шага в кассете куда ством для перегрузки, совмещая пазы для перегружают. Для уменьшения шага исполь- пластин и повторяя указанный процесс пере- зуется планка без вспомогательных дуго- грузки. я перегрузки позволяет образных пазов 7, необходимых для удер- Устройство для пере иэ многоряднои касжания части пластин. В планку & запрес- перегружать пластинь| сованы штифты 8 для фиксации с устрой- з сеты в однорядную н обратно с минимальством для перегрузки или тары. ными затратамн врем р времени и с высокой произУстроиство работает следующим образом. водительностьв.

Пластины кремния поступают на хими ческую, литографическую или диффузионную операции, как правило, в стандартной " . Формула изобретения транспортной таре с двухрядным расположением пластин. Операционные кассеты обычно бывают однорядными. Для перегруз- Устройство для перег зки ки пластин из т ансп я перегрузки кремниевых транспортнои тары в одно- пластин из транспортирующих кассет, содерродную операционную кассету или, например, жащее корпус, выполненный в виде соедив диффузионную лодочку необходимо снача- 40 ненных между собой элемент в р ру х в устроиство для пере- для пластин и выполненных с возможностью грузки, а из него — в диффузионную ло- взаимодействия с ними средств для изменедочку. --- -: у. - " " ния шага между пластинами, отличающееся снижения трудоемкости

Процесс перегрузки осуществляется сле- тем, что, с целью сниж дующим образом. Элементы I стыкуются и повышения производительности, средства при помощи штифтов 3 в двухрядное поло- для изменения шага выполнены в ви (ф, ). р ым наложением уст- ки,каждая нз которых снабжена сквозными ройство для перегрузки располагают над и несквозными пазами чередующ м я р у д у ряднои тары, одновременно ду собой с постоянным шагом. щимися межпропуская пластины, находящиеся в таре, Источники инфо мации, в пазы 2 устройства (фиг. 3). Переворачи- зв принятые во внимание при экспертизе вают совмещенное устройство для перегруз- 1. Патент США № 3949891, кл. 214-301, ки и двухрядную тару, пластины переходят 1976. в пазы 2 устройства. Тару удаляют. Далее 2. Авторское свидетельство СССР пластины из устройства перегружают в одно- № 526223, кл. Н Ol L 2! 68, 05.07.74 (прорядную операционную кассету. например тотип) .

748580

Составитель Л. Гришкова

Редактор О. Колесникова Техред К. Шуфрич Корректор М. Коста

Заказ 4374/I 5 Тираж 844 Подписное

ЦНИИНИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

I 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушскан наб., д. 4/5

Филиал ГН!П «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4