Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов

 

(1 !! 766388

ОЙИСАИЙЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ бо!оз Ссаетскик

Социа..нстических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 08.06.78 (21) 2629098 18-25 (51) М. К.!.3

Н OI3 9 12 с присоединением заявки Хо

Государственный комитет

CC CP ло делам изобретений н открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.82. Бюллетень Хо 40 (45) Дата опубликования описания 30.10.82 (53) УДK 621.385 (088.8) (72) Авторы изобретения

Л. Б. Костин и T. A. Филимонова (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ФОТОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к области электронной техники, в частности, к оборудованию для изготовления фотоэлектронных приборов (ФЭП).

Известны устройства для изготовления .ФЭП методом «переноса» (1). Фотокатод в таких устройствах формируется в специальной вакуумной камере формирования, находящейся внутри рабочей камеры, а затем переносится в рабочую камеру для стыковки с корпусом прибора и последующей герметизации. Установка переноса содержит большую рабочую вакуумную камеру, откачное оборудование, гидравлический пресс и пульт управления. В вакуумной камере соосно друг под другом расположены держатели катодного и анодного узлов

ФЭП, механизмы перемещения держателей и подвижно укрепленный активатор фотокатода.

Наиболее близким по технической сущности устройством является устройство для изготовления фотоэлектронных приборов, содержащее корпус, основную и дополнительную вакуумные камеры, подвижный держатель анодного узла, выполненный в виде стакана и источник материалов формирования фотокатода (2).

Недостатком известного устройства является размещение механизмов перемещения, камеры актпвпровкп, перегородки, узлов изготавливаемых приборов внутри вакуумной камеры, что приводит к резкому увеличению объема камеры, времени ее обезга5 живания и откачки и, следовательно, всего процесса изготовления ФЭП.

Кроме того, к увеличению объема камеры приводит и наличие внутри камеры нагревательных и охладительных элементов, не10 обходимых для обезгаживанпя камеры, механизмов и деталей, внутри нее, а также для технологического процесса формирования фотокатода.

Известное устройство громоздко, сложно в эксплуатации, малопроизводительно и требует специального откачного оборудования.

Недостатком прототипа является также то, что подложка фотокатода находится

2ð внутри камеры, это затрудняет контроль по цвету, прозрачности и чувствительности за качеством изготавливаемого фотокатода.

Целью данного изобретения является повышение качества изготавливаемых приборов и увеличение производительности.

Поставленная цель достигается тем, что в известном устройстве, содержащем корпус, основную и дополнительную вакуумные камеры, подвижный держатель анодного узла, выполненный в виде стакана и

766388

"5

55 бО

65 источник материалов формирования фотокатода, основная вакуумная ка lepa имеет уплотнение с подвижным держателем анодного узла, внутри которого размещен источник материалов формирования фотокатода, а дополнительная вакуумная камера расположена сбоку от основной вакуумной камеры и соединена с ней отверстием в боковой поверхности последней, расположенным между фотокатодом и стаканом, причем оболочки камер являются корпусом устройства.

На чертеже изображено устройство для изготовления ФЭГ1, общий вид.

Устройство содержит вакуумную камеру

1, фотокатод 2, вакуумноплотно укрепленный на верхнем фланце 3 с помощью прижимного фланца 4, патрубок 5 для откачки, держатель анодного узла 6, анодный узел 7 с уплотнительным кольцом 8 из индия и изолятором 9, сильфон 10, обеспечивающий вертикальное перемещение держателя 6, отсек 11 для хранения анодного узла 7, фланец 12 для присоединения электронной пушки обезгаживания (па фиг. не показана) и обойму с толкателем 13. Внутри держателя 6 расположены компоненты

l4 формирования фотокатода — источники сурьмы, калия, натрия, цезия, кислорода и др. Держатель 6 выполнен в виде стакана. Отсек 11 расположен на боковой поверхности камеры на расстоянии от катодного узла, не большем высоты держателя.

Конструкция держателя 6 и расположение отсека 11 обеспечивают перекрытие отсека

11 стенкой держателя 6 при его перемещении в верхнее положение во время формирования фотокатода.

Изготовление ФЭП происходит следующим образом. В исходном положении вакуумная камера 1 разгерметизирована.

Держатель 6 находится в крайнем нижнем положении. Через люк верхнего фланца 3 загружают анодный узел 7, для чего обойму с толкателем 13 переводят в крайнее правое положение, а после загрузки — возвращают в отсек 11. Камеру 1 вакуумноплотно герметизируют, уплотняя подложку фотокатода 2 между верхним фланцем 3 и прижимным фланцем 4. Затем камеру 1 и отсек 11, имеющий самостоятельную откачку, откачивают до давления 10 †— 10- мм рт. ст., обезгаживают в течение 5 ч при

300 С и после достижения рабочего давления охлаждают до комнатной температуры.

Держатель 6 переводят в крайнее верхнее положение, перекрывая при этом отсек

11 с анодным узлом 7. Уплотнение обеспечивается за счет малого зазора между наружным диаметром держателя 6 внутренним диаметром камеры 1. Затем электронным лучом обезгаживают анодный узел (люминофор) 7, размещенный в отсеке 11, и осуществляют активировку фотокатода, находящегося в камере 1, общепринятыми технологическими способами. Ввиду локализации объема активировкн пары щелочных металлов в процессе формирования фотокатода не загрязняют анодный узел (люминофор) 7 и изолятор 9. После достижения необходимой чувствительности фотокатода температуру снижают до комнатной, перекрывают откачку отсека 11, держатель

6 перемещают в крайнее нижнее положение, а обойму с толкателем 13 переводят в крайнее правое положение, устанавливая прн этом анодный узел 7 на держатель 6.

Держатель 6 при своем очередном плавном перемещении вверх, уплотняет анодный узел 7 с катодом. Окончательно герметизируют прибор после отпайки камеры с откачного поста, сдавливая уплотняющее кольцо 8 из индия на внешнем гидравлическом прессе. 1Лзготвление других ФЭП с помощью предлагаемого устройства происходит аналогичным образом с той лишь разницей, что вместо анодного узла 7 в камеру загружают, а затем переводят в отсек

11 корпус ФЭП.

Благодаря тому, что в предлагаемом малогабаритном устройстве в процессе изго:овлення ФЭП анодный узел на период формирования фотокатода помещают в отсек, а активировочный объем локализуют с помощью держателя, устраняется воздействие щелочных металлов на изолятор и чувствительный элемент ФЭП.

Как известно, коэффициент усиления

ЭОП определяются: чувствительностью фотокатода, светоотдачей люминесцентного экрана, рабочим напря>кенис:,: н почернением экрана.

При прочих равных условиях, коэффициент усиления ЭОП (электронно-оптический преобразователь) будет зависеть только от рабочего напряжения и количества пятен на экране ЭОП (почернения экрана). Обработка прибора в предлагаемой камере позволяет повысить рабочее напряжение до (10 — 15) кВ в отличие от прототипа, обеспечивающего рабочее напряжение ЭОП (5 — 10) кВ, т. е. в 1,5 — 2 раза и устранить почернение экрана. Проведенные исследования показали, что почернение экрана

ЭОП вследствие обработки его парами щелочных металлов снижали светопропускание экрана, а, следовательно, коэффициент усиления в 2 раза. Т. о., предлагаемая вакуумная камера позволяет повысить коэффициент усиления ЭОП в 3 — 4 раза. Коэффициент усиления гибридных фотоэлектронных умножителей (ФЭУ) определяется величиной рабочего напряжения и степенью деградации р — n перехода кремниевого усилительного элемента, обусловленной влиянием паров щелочных металлов. Так как конструкция предлагаемой камеры позволяет устранить влияние паров щелочных металлов на кремниевый усилительный эле766388

Ф ор мула изобретения

Составитель А. Сенчихин

Техред В. Рыбакова Корректор Е. Хмелева

Редактор E. Зубиетова

Заказ 1673/12 Изд. М 242 Тираж 758 Подписное

Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 мент и повысить рабочее напряжение, то коэффициент усиления гибридного ФЭУ по сравнению с ФЭУ, обработанными в других вакуумных камерах, будет выше.

1. Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов, содержащее корпус, основную и дополнительную вакуумные камеры, подвижньш держатель анодного узла, выполненный в виде стакана и источник материалов формирования фотокатода, о тл ич а ющееся тем, что, с целью повышения качества изготавливаемых приборов и увеличения производительности, основная вакуумная камера имеет уплотнения с подвижным держателем анодного узла, внутри которого размещен источник материалов формирования фотокатода, а дополнительная вакуумная камера расположена сбоку от основной вакуумной камеры и соединена с ней отверстием в боковои поверхности последней, расположенным между фотокатодом и стаканом, причем оболочки камер являются корпусом устройства.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

_#_o 476621, кл. Н 01J 9/12, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке Ч 2603773/18-25, кл. Н 01J 9/12, 1977 (прототип).