Спектрометр оже-электронов
ОП ИСАНИ Е
H3OSreXm H "
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 181278 (21) 2698365/18-25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет
Опубликовано 30.11.80. Бюллетень ¹ 44
Дата опубликования описания 30.1180 (51)М К 3
G 0l И 23/227
Государственный комитет
СССР по делам изобретений н открытнй (5З) УДК 535.232.61 (088. 8) (72) Автор изобретения
Я. N. Адельсон
Научно-исследовательский институт прикладной физики при
Иркутском государственном университете им. А;А. Жданова (71) Заявитель (5 4 ) СПЕКТР ОИЕТР ОЖЕ-ЭЛЕКТРОНОВ
Изобретение относится к области эмиссионной оже-спектроскопии и может быть использовано при измерениях спектроэнергий оже-электронов, испускаемых веществом.
Известен спектрометр оже-электронов в котором возбужцающее излучение . модулируют гармойическим сигналом и используют фазочувствительное детектирование вторичного излучения.
Данный спектрометр сложен в техническом исполнении и имеет малую разрешающую способность.
Известен спектрометр оже-электро нов, содержащий источник возбуждения образца, энергоанализатор, источник напряжения развертки и модулирующий генератор, подключенные к энергоанализатору, детектор электронов, усили- 2() тель, подключенный через разделительный конденсатор к детектору электронов, избирательный усилитель, фазочувствительный детектор, соединенный вторым входом с выходом модулирующего генератора, и регистрирующее устройство, подключенное вторым входом к источнику напряжения развертки. Однако известный спектрометр имеет низкую чувствительность и точность измерений.
Целью изобретения является повыше-. ние чувствительности и точности измерений.
Поставленная цель достигается тем, что в спектрометр введены второй модулирующий генератор, подключенный к энергоанализатору, второй фазочувствительный детектор и полосовой фильтр, при этом полосовой фильтр и второй фазачувствительный детектор последовательно включены между усилителем и избирательным усилителем, а второй вход второго фазочувствительного детектора соединен со вторым выходом второ1 з модулирующего генератора.
На чертеже приведена функциональная схема описываемого спектрометра ожеэлектронов.
Спектрометр содержит источник 1 возбуждения образца, исследуемый образец 2, знергоанализатор 3, источник
4 напряжения развертки и модулирующий генератор 5, подключенные к энергоанализатору 3, детектор 6 электронов, разделительный конденсатор 7, усилитель 8, избирательный усилитель 9, фазочувствительный детектор 10, подсоединенный вторым входом к модулирующему генератору 5, регистрирующее уст. 783661
Формула изобретения
Заказ 8532/45
Подписное
ВНИИПИ
Тираж 1019 ройство 11, подсоединенное вторым входом к источнику 4 напряжения развертки, второй модулирующий генератор 12, подключенный к энергоанализатору 3, последовательно соединенные полосовой фильтр 13 и второй фазочувствительный детектор 14, подсоединенный вторым
Г входом к выходу модулирующего: генератора 12.
Спектрометр работает следующим образом.
Источник 1 возбуждения образца воз- © действует на исследуемый образец 2, в результате чего образцом 2 испускается поилок электронов, поступающий на энер-: гоанализатор 3, к которому прикладыва ется сигнал от источника 4 напряжения $5 развертки и сигналы от модулирующих генераторов 5 и 12, частоты которых
g.и 03 соответственно установлены далекими по отношению друг к другу, а именно Ы )> Я., Прошедший через энер- Щ гоанализатор 3 электронный поток регистрируется детектором 6 электронов. Сигнал детектора 6 через разделительный конденсатор 7 поступает на предварительный усилитель 8, а затем
25 на вход полосового фильтра 13, где выделяется сигнал с несущей частотой4> и модулирующей частотой Я., который затем детектируется фазочувствительным детектором 14. Опорный сигнал на фазочувствительный детектор 14 пода- Э®
\ ется от второго модулирующего генЕратора 12. С выхода второго фазочувствительного детектора 14 сигнал поступает на избирательный усилитель 9, настроенный на частоту Я., и детектируется фазочувствительным детектором 10, опорный сигнал на который подается от модулирующего генератора 5. Выходной сигнал фоточувствительного детектора 10 4(} поступает на регистрирующее устройство
ll,на второй вход которого подается сигнал оТ источника 4 напряжения раз вертки °
Применение в описанной схеме измерения второй производной тока ожеэлектронов с использованием двух частот имеет значительные преимущества перед обычным одночастотным методом.
Возможность одновременного измерения первой и второй производных тока коллектора является отличительной особенностью предложенного устройства и позволяет идентифицировать сигнал от случайных помех и флуктуации шумов, что значительно повышает чувствительность и тЬцность измерений.
Спектрометр оже-электронов, содержащий источник возбуждения образца, энергоанализатор, источник напряжени развертки и модулирующий генератор, подключенные к энергоанализатору, детектор электронов, усилитель, подключенный через разделительный конденсатор к детектору электронов, избирательный усилитель, фазочувствительный детектор, соединенный вторым входом с выходом модулирующего генератора к источнику напряжения развертки, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и точности измерений, в спектрометр введены второй модулирующий генератор, подключенный к энергоанализатору, второй фазочувствительный детектор и поло. совой фильтр, при этом полосовой фильтр и второй фазочувствительный детектор последовательно включены между усилителем и избирательным усилителем, а второй вход второго фазочувствительного детектора соединен со вторым выходом второго модулирующего ,генератора.
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4
