Установка для нанесения покрытий в вакууме

 

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащая вакуумную камеру с крышкой, разделенную перегородками с отверстиями на секции с размещенными в них источниками нанесения покрытий, шлюзовую систему загрузки - выгрузки изделий, транспортирующее устройство с направляющими , отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции установки и ее эксплуатации, перегородки секции выполнены подпружиненными и размещены, между крьшкой вакуумной камеры и направляющими транспортирующего устройства.

СОКИ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

09) (12) А1 (р 4 С 23 С 14/24

ОПИСЯНИК HSQEPETEHHR

H АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И (ЛНРЫТИЯМ

IlPH П1НТ СССР (21) 2420065/18-21 (22) 15.11.76 (46) 15.07.89. Бюл. М 26 (72) В.Е. Минайчев, В.В, Одиноков, В.В. Савин и H.À. Михневич (53) 621 ° 793,14.002.52(088.8) .(56) Авторское свидетельство СССР

Ко 279292, кл. С 23 С 13/10, )979.

Зарубежная электронная техника.

Ф 8, 1975, с. 24, ЦНИИ Электроника. (54)(57) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИИ В ВАКУУМЕ, содержащая вакуумИзобретение относится к изготовлению вакуумных установок для нанесения тонких пленок при изготовлении изделий радиотехники,. электронной техники ..Известна вакуумная установка непрерывного действия, содержащая несколько рабочих камер, которые имеют индивидуальную откачку, несколько шлюзовых камер или шлюзовых устройств.

Недостатком известной установки является сложность конструкции.

Из известных технических решений наиболее близким по технической сущности является установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая вакуумную камеру с крьппкой, разделенную перегородками с отверстиями на секции с размещенными в них источниками нанесения покрытий, шлюзовую систему загрузки — выгрузки изделий, транспортирующее устройство .с направляющими.

2 ную камеру с крышкой, разделенную перегородками с отверстиями на секции с размещенными в них источниками нанесения покрытий, шлюзовую систему загрузки — выгрузки изделий, транспортирующее устройство с направляющими, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции установки и ее эксплуатации, перегородки секции выполнены подпружиненными и размещены между крьппкой вакуумной камеры и направляющими транспортирующего устройства, Недостатком известной установки является сложность конструкции и эксплуатации.

Цель изобретения — упрощение конструкции установки и ее эксплуата-, ции — достигается тем, что в уста новке для нанесения покрытий в вакууме, содержащей вакуумную. камеру с крышкой, разделенную перегородками с отверстиями на секции с размещенными .. в них источниками нанесения покрытий, шлюзовую систему загрузки — выгрузки изделий, транспортирующее устройство с направляющими, перегородки секции выполнены подпружиненными и размещены между крышкой вакуумной камеры и направляющими транспортирующего устройства, На фиг. 1 изображен общий вид установки для нанесения покрытий в вакууме, разрез; на фиг. 2 — общий вид установки, разрез А-А.

Установка содержит вакуумную камеру 1 с крышкой 2, содержащую разъем

3 788831

3, разделенную перегородками 4 с отверстиями 5 на секции с размещенными в них источником 6 нанесения покрытий, щпюзовую систему 7 загрузкивыгрузки иэделий, транспортирующее устройство 8 с направляющими 9, герметично поджатыми в вакуумной камере

1 по плоскости разъема 3. Перегородки 4 секции выполнены подпружиненны- 1О ми и размещены между крышкой 2 вакуумной камеры и направляющими 9 транспортирующего устройства 8, Наружное давление в.:вакуумной камере 1 поддерживается с помощью сред- 15 ства 10, В вакуумной камере 1 уста". новлены натекателн 11 рабочего газа.

Подвижные перегородки 4 перемещаются с помощью рычагов 12 через герметичные вводы 13, установленные на крыш- 20 ке 2. Изделия выгружаются иэ магазинов 14 и загружаются в магазины 15 через шлюзовую систему 7 загрузкивыгрузки. установка для нанесения покрытий 2 в вакууме работает, следующим образом.

После форвакуумной откачки секций вакуумной камеры 1 с помощью высоковакуумного откачного средства 10.производится достижение низкого давле- ЗО ния. Для этого в вакуумной камере 1 перемещают с помощью рычагов 12 через герметичные .вводы 13 .подвижные перегородки . 4 в крайнее верхнее положение, т,е, открывается и разгермети- 3у зируется вакуумная камера l„ После достижения необходимого предельного давления в вакуумной камере, подвижные перегородки 4 перемещаются к направляющим 9, а в секции вакуумной 4О камеры 1 через натекатели 11 напускается рабочий гаэ. Перемещением подвижных перегородок 4 дросселируется скорость откачки вакуумной -каме4 ры 1 и выставляется рабочее давление.

При этом обеспечивается свободное перемещение под перегородками 4 по направляющим 9 транспортирующего устройства 8 и вакуумная блокировка секций вакуумной камеры 1. Включаются источники 6 нанесения покрытий и производится загрузка иэделий из магазина 14 через загрузочное шлюзовое устройство 7 на транспортирующее устройство 8. Транспортирующее устройст". во 8 перемещает изделие через секции вакуумной камеры 1 и затем они через разгрузочное шлюзовое устройство 7 поступают в магазин 15Ä

Для очистки секций вакуумной камеры 1 с источниками 6 покрытий в вакуумной объем напускается воздух и откидывается съемная крышка 2, При этом секции вакуумной камеры 1 по разъему 3 выводятся вместе с источниками 6 нанесения покрытий на съемной крыпке 2 вне установки. В вакуумном объеме остается в прежнем положении транспортирующее устройство 8 и направляющие 9, Это создает удобный доступ и обслуживание внутрикамерных устройств установки, Такое техническое решение значительно улучшает конструкцию установки и ее эксплуатацию, так как вакуумный объем установки с вакуумной камерой; разделенной перегородками на секции, откачивается одним высоковакуумным средством, при этом обеспечивается вакуумная изоляция секций между собой, Выполнение подвижных перегородок с отверстиями для прохождения транспортирующего устройства упрощает переход на изготовление изделий других габаритов и регулирование давления в секциях вакуумной камеры. 788831

Фд д

Я-Я

f

И.2

Редактор.Л. Письман Техред M..пидык

Корректор С. Черни

Заказ 4899 Тираж 938 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 ае tt

Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород.