Устройство для анодирования

 

О П И С А Н И Е ()834267

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сеюз Сееетскик

Социалистически к

Ресттублим (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22)Заявлено 17.08.79 (21) 2817668Л.8-21 (51)ф Кл

Ъ с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

С 250 11/02

ГаауМРстааааий

СССР аа авааи «забрвтею» а атарик (53) УДК621. 357, .8 (088.8 ) Опубликовано 30.05.81. Бюллетень ¹ 20

Дата опубликования описания 30.05.81 (72) Автор изобретения

А. М. Суходольский!

1 т

) Минский радиотехнический институт (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ АНОДИРОВАНИЯ

Изобретение относится к микроэлектронике, вчастности,,к технологии создания активных и пассивных тонкопленочных элементов, построенных нв основе тонких пиэлектрических пленок.

Известны устройства для ано пирования вентнльных металлов и полупроводников, сопэржвшие катод и анопируемый образец, соединенные с источником электрической энергии и нахопяшиеся в электролите", в устройстве предусмотрен визуальный .т0 контроль тока и напряжения посредством включения схем измерения (lg.

Недостатком известного устройства является то, что оно не позволяет автоматически воспроизводить сложные законы изменения напряжения или тока между катодом и анодируемым образцом, что при использовании устройства пля изготов 0 ления тонких диэлектрических пленок вызывает большой разброс характеристик лиэлектрическнх слоев и низкий процент выхода гопных микросхем.

Известно устройство пля анопирования, которое содержит электролитическую ячейку, измеритель времени, связанный с вы-, числительным блоком, источник питания, подключенный к первому вхопу регистрируюшего блока, опии выход которого попключен к анопируемому образцу, а другойк катоду электролитической ячейки $2j.

Недостатком устройства является низкое качество внопирования пиэлектрических пленок.

Цель изобретения — повышение качесч ва анопирования диэлектрических пленок.

Поставленная цель постигается тем, что устройство для анопирования, содержашее электролитическую ячейку с катодом и анопируемым образцом, помешенным в электролит, измеритель времени, cBBssHBblO с первым входом вычислительного блока, источник питания, подключенный к первому входу регистрируюшего блока, один выход которого подключен к allowруемому образцу, а пругой выход - к катопу электролитической ячейки, снабжено

3 83426 блоком запуска и аналого-цифровым преобразователем, выход которого соецинен со входом источника питания, а вход — с первым выходом вычислительного блока, причем второй выход вычислительного

5 блока через блок запуска соединен со вторым входом регистрирующего блока, при этом, второй выход регистрирующего блока подключен ко второму входу вычислительного блока.

1О

На чертеже представлена функциональная схема устройства.

Устройство содержит вычислительный блок 1, первый вхоц которого соединен с измерителем 2 времени, второй вход с выходом регистрирующего блока 3, например, цифровой схемы измерения напряжения или тока. Первый выход вычислительного блока 1 соединен со входом цифроаналогового преобразователя 4, второй выход с блоком 5 запуска, выхоц которого соединен с регистрирующим блоком 3.

Выход цифроаналогового преобразователя

4 соединен со входом источника 6 питания, выхоц которого соединяется с регистрирующим блоком 3, катодом 7 и анодируемым образцом 8, находящимся в электролите 9.

Устройство работает следующим образом. зо

Информация о режиме проведения процесса аноцирования в виде рабочей программы заносится в память вычислительного блока 1, на первый вход которого периодически поступает сигнал от измерителя

2 времени. Кажный раз, воспринимая этот сигнал, вычислительный блок 1 увеличивает значение текущего времени на единицу, рассчитывает значение напряжения или тока в данный момент времени, выдает по первому выходу соответствующий- код, который преобразуется цифроаналоговым преобразователем 4 в аналоговый сигнал, поступающий на вход источника 6 питания.

Затем машина производит запуск регистри-45 рующего блока 3 через блок 5 запуска и воспринимает код с выхода. регистрирующего блока 3, соответствующий значению напряжения или тока между катодом

7 и анодируемым образцом 8. В случае, если измеренное значение напряжения или тока отличается от заданного из-за погрешностей цифроаналогового преобразова7 4 теля 4, источника 6 питания или по другим причинам, вычислительный блок 1 рассчитывает поправку и выдает новый коц, соответствующий рассчитанному значению. Затем вычислительный блок 1 сверяет текущее время аноцирования с заданным, и если время аноцнрования истекло, то он прекращает процесс анодирования; выдавая на цифроаналоговый преобразователь 4 коц, соответствующий нулевому значению напряжения или тока.

Устройство обеспечивает воспроизведение сложных законов изменения напряжения или тока во времени, обратную связь по напряжению или току, а также автоматическое прекращеш;е процесса анодирования по истечению заданного отрез к а вре мени.

Ф о р м у л а. и з о б р е т е н и я

Устройство цля анодирования, содержащее электролитическую ячейку с катодом и аноцируемым образцом, помещенными в электролит, измеритель времени, связанный с первым входом вычислительного блока, источник питания, подключенный к первому входу регистоирующего блока, один выход которого .подключен к аноцируемому образцу, а другой выход — к катоду электролитической ячейки, о т л и— ч а ю ш е е с я тем, что, с целью повышения качества анодирования диэлектрических пленок, оно снабжено блоком запуска и аналога-цифровым преобразователем, выход которого соединен со входом источника питания, а вход - с первым выходом вычислительного блока, причем второй выход вычислительного блока через блок запуска соединен со вторым входом регистрирующего блока, при этом второй выход регистрирующего блока подключен ко второму входу вычислительного блока.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Шнаревич Е. И. и др. Диэлектрики интегральных схем. М., Энергия", 1975, с. 23-24.

2. Патент CIIJA М 3723257, кл. С 259 11/02 опублик. 1973 (прототип).

&34267

Составитель О. Кибовская

Редактор Е. Лушникова Техред H. Келушак Корректор Ю. М акаренко

Заказ 4017/54 Тираж 704 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретний и .открытий

113О35, Москва, Ж 36, Раушскаа ааа5а, а. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород. уп. Проектная, 4