Станок для резки изделий

 

О П И С А k И Е 841996

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскин

Социалистическик

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22)Заявлено 28.06.79 (21) 2799348/29-33 (53)M. Кл. с присоединением заявки Ж (23) Приоритет

В 28 0 5/06

Гасударственный комитет

СССР (53) УДК679.8. .053.3(088.8) лв делам изобретений и открытий

Опубликовано 30. 06. 81. Бюллетень Рй 24

El,ата опубликования описания 10. 07. 8 1 (72) Авторы изобретения

Л.П.Примак, M.À.Ñîëîìêî, Л.Л.Таланцев и А.В. Троя (= г.

l /

Ордена Трудового Красного Знамени институт сверхтвердых материалов АН Украинской СР

L j н Г, » c1 (71) Заявитель (54) СТАНОК ДЛЯ РЕЗКИ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к оборудованию для резки слитков полупроводни- ковых материалов на тонкие пластины алмазным инструментом с внутренней режущей кромкой.

Известна установка для получения пластин модели "Апмаз-4", включающая горизонтальный шпиндель с устройством для натяженйя полотна ал- мазной пилы, механизм прецизионной шаговой подачи, механизм подачи слитка, состоящий из каретки, установленной в направляющих и снабженной средствами для крепления и ориентации слитков, а также пневмогидропривода, связанного с кареткой гидроцилинд- .:: ром P)g .

Наиболее близким к предлагаемому является станок дитя резки изделий, преимущественно полупроводников, включающий кольцевую пилу с внутренней режущей кромкой, шпиндель с устройством натяжения полотна пилы, механизм подачи изделий в направлении, параллельном оси шпинделя, механизм рабочей подачи изделий, выполненный в виде установленной в направляющих каретки с приводом от силового цилиндра (21 °

Недостатки указанных станков состоят в низкой проиэводительности1 так как одновременно разрезается лишь один слиток, а также значительном проценте брака по сколам и дру10 гим дефектам обработанной поверхности. Кроме того, станки не позволяют до конца использовать возможность режущей кромки пилы вследствие од15 носторонней нагрузки на режущую кромку при резке однбго слитка, что приводит к динамической неустойчивости полотна пилы и его уводу в процессе работы.

Цель изобретения — повышение производительности.

Поставленная цель достигается тем что станок, включающий кольцевую пилу с внутренней режущей кромкой, шпин841996 драми 8 при подаче рабочей жидкости в бесштоковую полость каждого из трех гидроцилиндров 8, соединенных в рав- носторонний треугольник, по направляющих 7 одновременно перемещаются в радиальном направлении в плоскости, параллельной полотну пилы 9, осуществляя синхронную равномерную рабочую подачу трех слитков 5 на режущую кромку пилы 9. Гидроцилиндры 8 при этом перемещаются в радиальном направлении (равносторонний треугольник расходится).

По окончании рабочего хода, жидкость подается в штоковую полость каждого из цилиндров 8, обеспечивая возврат кареток 6 к центру в исходное положение, т.е. осуществляя холостой ход (равносторонний треугольник сходится).

Механизм 4 прецизионной шаговой подачи производит подачу слитков 5 на заданную толщину отрезаемой пластины, и цикл повторяется до полного разрезания слитков.

Станок предлагаемой конструкции позволяет увеличить производительность разрезки слитков в три раза, устраняет динамическую неустойчивость алмазной пилы, возникающую при одностороннем контакте в известных станках, и увеличивает эффективность демпфирования в зоне резания, что позволяет уменьшить величину сколов и увеличить качество обрабатываемой поверхностей отрезаемых пластин, т.е. повысить выход годных пластин, значительно снизить потери дефицитных и дорогих полупроводниковых материалов, обеспечить равномерную нагрузку на режущую кромку алмазной пилы и синхронизировать величину рабочей подачи всех слитков, а следовательно, увеличить размерную стойкость полотна пилы в 1,2-1;5 раза.

Станок для резки изделий, преиму- . щественно полупроводников, включающий кольцевую пилу с внутренней режущей кромкой, шпиндель с устройст-, вом.натяжения полотна пилы, механизм подачи изделий в направлении, параллельном оси шпинделя, механизм рабочей подачи изделий, выполненный. в виде установленной в направляющих каретки с приводом от силового цидель с устройством натяжения пилы, механизм подачи изделий в направлении, параллельном оси шпинделя, меэаниэм рабочей подачи изделий, выполненный в виду становленной в направ5 ляющих каретки с приводом от силового цилиндра, снабжен установленными в направляющих дополнительными каретками с приводами от силовых цилиндров, причем направляющие кареток ус- 10 тановлены под углом 120 относйтельно друг друга в плоскости, перпендикулярной оси шпинделя, с точкой пересечения их геометрических осей в центре пилы, а силовые дйлиндры при- 15 водов .кареток соединены между собой

I таким образом, что шток соедийен с корпусом другого, образуя равносторонний треугольник, соосный со шпинделем.

На фиг. 1 схематически изображен 20 предлагаемый станок; на фиг. 2 — механизм рабочей подачи; на фиг. 3 схема работы механизма рабочей пода- . чи при резке трех слитков.

Станок состоит из пустотелого цилиндрического шпинделя 1 с устройством 2 для натяжения полотна пилы на конце шпинделя, механизма 3 рабочей подачи слитков, размещенного со стороны шпинделя, противоположной расположению устройства для натяжения пилы„ для обеспечения относительного движения шпинделя и разрезаемого слитка в направлении, параллельном плоскости пилы, механизма 4 прецизионной шаговой подачи, соединенного с механизмом 3 рабочей подачи, для осуществления перемещения слитков

5 в направлении, параллельном оси шпинделя 1, на требуемую толщину от-. 40 резаемой пластины.

Механизм 3 рабочей подачи содержит три каретки б с закрепленными на них слитками 5, установленными в трех направляющих 7, расположенных йод углом 120О, и гидропривод из трех гидроцилиндров 8, соединенных попар- . ФормУла изобретения но закреплением гильз и штоков каждого иэ гидроцилиндров 8 на соседних каретках б s равносторонний треуголь - 50 ник, центр которого лежит на оси шпинделя 1, Станок работает следующим образом.

При вращении шпинделя 1 с натянутой в устройстве 2 алмазной пилой 9 с ! внутренней режущей кромкой каретки

6 с закрепленными на них слитками

5, приводимые в движение гидроцилин841996 6 собой таким образом, что шток одного соединен с корпусом другого, об-. разуя равносторонний треугольник, соосный со шпинделем.

5 линдра, о т л и ч а ю щ и.й с я тем, что, с целью повышения производительности, он снабжен установленными в направляющих дополнительными каретками с приводами от силовых цилиндров, причем направляющие кареток установлены под углом 120о относительно друг друга в плоскости, перпендикулярной оси шпинделя, с точкой пересечения их геометрических осей в центре пилы, а силовые цилиндры приводов кареток соединены между

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Установка для получения пластин "Алмаз-4". Проспект Техмашэкспорт СССР, 1977.

2. Патент США № 3.154.990, кл. 83-144, опублик. 1964.