Устройство для измерения геометрическихпараметров зеркальных оптическихэлементов

 

Союз Севетскик

Сециавистически к

Ресина ик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (u)847026 (61) Дополнительное к авт, свид-ву В 593070 (51)М. Кю

G 01 В 11/24

G 01 В 9/021 (22) Заявлено 1L1179 (2! ) 2839161/25-28 с присоединением заявки М—

Гвеудвретвеввый квинтет

СССР вв делан изобретеннй в еткрытв1 (23) Г1риоритет—

Опубликовано 15.07,81. Бюллвтеиь Ж 26 (53) УДК 531 "715.1 (088.8) Дата опубликования описания 150 781 (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ

ПАРАМЕТРОВ ЗЕРКАЛЬНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к устройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов, в том числе их радиусов кривизны и отступлений от заданной форма.

По основному àâò. св. В 593070 наиболее. близким по технической сущности к изобретению является устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов, содержащее последовательно расположенные источник когерентного излучения и светоделитель, систему формирования опорного пучка и систему формирования предметного пучка излучения, включающую блок освещения и сигнальйый канал, состоящий иэ отражателя, рассеивателя и регистратора излучения, причем рассеиватель установлен между блоком освещения и отражателем на расстоянии меньшем фокусного расстояния отражателя (11 .

Однако известное устройство обладает большими потерями излучения при двукратном прохождении его через рассеиватель, что приводит к ухудшению контраста интерферограмм и, та- 30 ким образом, к снижению точности измерений.

Цель изобретения — повышение точности измерений.

Поставленная цель достигается эа счет того, что край рассеивателя, обращенный к оптической оси отражателя, выполнен прямолинейным, на расстоянии от нее, меньшем половины диаметра отражателя, а плоскость, проходящая через, край и центр регистратора, образует с плоскостью рассеивателя двугранный угол, величина которого лежит в диапазоне от % /2 док,.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов..Устройство состоит из последовательно расположенных источника 1 когерентного излучения, светоделителя 2, связанного оптически с системой 3 формирбвания опорного пучка излучения и системой формирования: предметного пучка излучения, включающей блок 4 освещения и сигнальный канал, состоящий из отражателя 5 рассеивателя 6, снабженного прямоли847026 нейным краем A (перпендикулярен плос- кости чертежа) и регистратора 7 излучения °

Отражатель 5 установлен на подвижной каретке механизма 8 пространственного сдвига. Схема устройства построена таким образом, что рассеиватель 6 установлен перед отражателем на расстоянии Ь, меньшем фокусного расстояния отражателя 5,причем расстояние h от прямолинейного края

A рассеивателя 6 до оптической оси отражателя 5 меньше половины диаметра 0 отражателя 5. Регистратор 7 излучения расположен таким образом, что плоскость, проходящая через центр регистратора 7 излучения и прямоли- 15 иейный край A рассеивателя 6, составляет с этим рассеивателем угол с6, величина которого находится в диапазоне от Ф/2 до Устройство работает следующим 20 образом.

Поток излучения от источника 1 кегерентного излучения через светоделитель 2, блок 4 освещения и рассеиватель 6 падают на отражатель 5, на место которого в процессе измерения устанавливают исследуемый зеркальный оптический элемент. Отраженный зеркальными элементом поток поступает на регистратор 6 излучения (как через З рассеиватель 6, так и частично минуя

его) одновременно с пучком излучения, поступающим через систему 3 формирования опорного пучка излучения. После получения на регистраторе 7 излучения голограммы исследуемый зеркальный оптический элемент сдвигают прямолинейно механизмом 8 пространственного сдвига параллельно прямолинейному краю A рассеивателя 6 на расстояние, меньшее половины диаметра этого эле- 40 мента.

На этапе восстановления регистратор 7 излучения облучают опорным пучком излучения, а исследуемый элемент потоком, прошедшим через блок 4 освещения. При рассматривании через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучения на участке зеркального изображения В рассеивателя 6, видном через регистратор 7 излучения s, телесном угле Я вне прямолинейного края А рассеивателя 6, .наблюдают интерференционную картину.

В описываемом устройстве рассеиватель 6 закрывает только часть апертуры отражателя 5 и из точки, где размещен регистратор 7 излучения, вне рассеивателя 6 наблюдается участок зеркального изображения рассеивателя

6 в отражателе, не закрытый рассеивателем 6. Контраст полос на этом участке изображения рассеивателя высок, так как лучи, исходящие из точек упомянутого зеркального изображения рассеивателя на регистратор излучения, не претерпевают двукратного рассеяния. Высокий контраст полос позволяет повысить точность измерений.

При экспериментальном опробовании схемы описываемого устройства.достигается увеличение контраста полос в

3-6 раз по сравнению с известным устb ! ойством и, соответственно, увеличение точности измерений составляет

30-80%.

Формула изобретения

Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов по авт. св. 9 593070, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений, край рассеивателя, обращенный к оптической оси отражателя, выполнен прямолинейным, на расстоянии от нее меньшем половины диаметра отражателя, а плоскость,.проходящая через край и центр регистратора, образует с плоскостью рассеивателя двугранный угол, величина которого лежит в диапазоне от t /2 до% .

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 593070, кл. G 01 В 11/24, 1976 (прототип).

847026

Составитель Л.Лобзова

Редактор Т.Парфенова Техред Ж. Кастелевич, Корректор М лароши

Заказ 5462/61 Тираж 642 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, X-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,. 4