Вакуумная установка

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски к

Социалистически и

Республик ()945495

1 (62) Дояолннтельное к авт. сеид-ву (51)М, Кл. (22)Заявлено 23. 07.80 (21) 2962663/25-06 с присоединением заявки №вЂ”

04 В 37/14.

9Icf A6pcTIoN4 квнвтвт

CCCP ю делан язвв1етевяй я еткрытв11 (23) Й риоритет

Ояубликовано 23. 07.82. Бюллетень № 27 (53) УДК 621. .528.1(088.8) Дата опубликования описаны» 25.07.82 (72) Авторы изобретения

М.Е. Игонин, В.Н. Михайлин, В.В, Кошелев и Э.В; Крафт (7I ) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно, к установке для обработки изделий в многокомпонентной газовой среде.

Известна вакуумная установка, содержащая рабочую камеру с датчиком давления, подключенную к вакуумному насосу посредством вакуумпровода, и устройство для подготовки и подачи газовой среды в рабочую камеру, имею-1о щее канал регулирования в виде трубопровода с натекателем 1 1).

Однако при работе известной вакуумной установки обязательна периодическая разгерметизация рабочей камеры и остановка технологического процесса на время подготовки газовой среды, что снижает производительность установки.

Кроме того, s ней невозможна авто- 20 матизация процесса подготовки газовой среды.

Цель изобретения- повышение производительности установки с одновременной автоматизацией процесса подготовки газовой среды.

Цель достигается тем, что устройство снабжено коллектором, имеющим проводимость, не превышающую проводимость вакуумпровода, и присоединенным к трубопроводу, и по меньшей мере одним соединенным с коллектором дополнителным трубопроводом с натекателем, причем оба натекателя снабжены механизмами управления, а на дополнительном трубопроводе установлены диафрагма с проводимостью, не превышающей 1/10 проводимости коллектора, и расположенный между диафрагмой и натекателем датчик давления, механизм управления натекания, первого трубопровода подключен к датчику давления рабочей камеры, а другой механизм — к датчику дополнительного трубопровода.

На чертеже показана схема предлагаемой установки.

Формула изобретения

3 9454

Вакуумная установка содержит рабочую камеру 1 с датчиком 2 давления, подключенную к вакуумному насосу посредством вакуумпровода 4, и устройство для подготовки и подачи ra3o- g вой среды в рабочую камеру 1, имеющее канал регулирования в виде трубопровода .5 с натекателем 6. Устройст" во снабжено коллектором 7, имеющим проводимость, не превышающую прово- 16 димость вакуумпровода 4, и подсоединенным к трубопроводу 5, и по меньшей мере одним соединенным с коллеКтором 7 дополнительным трубопроводом

8 с натекателем 9, причем оба натека- 1з теля 6 и 9 снабжены механизмами 10 и 11 управления, а на дополнительном трубопроводе 8 установленйдиафрагма

12 с проводимостью, не превышающей

1/10 проводимости коллектора 7, и рас-26 положенный между диафрагмой и натекателем датчик 13 давления, механизм 10 управления натекателя 6 первого трубопровода 5 подключен к датчику 2 давления рабочей камеры 1, а другой. меха- 2S низм 11 - к датчику 13 дополнительного трубопровода 8.

Установка работает следующим образом.

Производится откачка рабочей каме- 36 ры 1 до заданного давления, затем включается устройство для подготовки и подачи газовой среды в рабочую камеру 1. Для этого подается поток одного иэ газов смеси через основной трубопровод 5 с натекателем 6, при этом заданное давление в камере поддерживается путем управления натекателем 6 сигналами от датчика 2, установленного в камере 1.

46

Дополнительный канал регулирования работает аналогичным образом, но величина потока через натекатель 9 устанавливается в зависимости от сигналов датчика 13, установленного на трубопроводе 8.

Высокая точность регулирования обеспечивается за счет исключения взаимного влияния каналов регулирования.

95 4

Таким образом, такое выполнение вакуумной установки обеспечивает автоматическое поддержание заданной величины давления и заданных расходов каждого из компонентов газовой среды непрерывно без необходимости прерывания технологического процесса на время ее подготовки.

Вакуумная установка для обработки иэделий в многокомпонентной газовой среде, содержащая рабочую камеру с датчиком давления, подключенную к вакуумному насосу посредством вакуумпровода, и устройство для подготовки и подачи газовой среды в рабочую камеру, имеющее канал регулирования в виде трубопровода с. натекателем, О т л и,ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения производительности с одновременной автоматизацией процесса подготовки газовой среды, оно снабжено коллектором, имеющим проводимость, не превышающую проводимость вакуумпровода, и подсоединенным к трубопроводу, и по меньшей мере одним соединенным с коллектором дополнительным трубопроводом с натекателем, причем оба натекателя снабжены механизмами управления, а на дополнительном трубопроводе установлены диафрагма с проводимостью, не превышающей 1/10 проводимости коллектора, и расположенный между диафрагмой и натекателем датчик давления, механизм управления натекателя первого трубопровода подключен к датчику давления рабочей камеры, а другой механизм - к датчику дополнительного трубопровода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Розанов Л,Н. Вакуумные машины и установки. Л., "Иашиностроение", 1975 с. 265.

945495

Составитель Н. Юшин

Редактор А. Шандор Техред Т. Маточка

Корректор У. Пономаренко

Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, N-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 5293/50

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4