Травильный раствор
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6I) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 20.02.81 (2>) 3250270/29-33 (51) М. Ктт.
Союз Советских
Социалистических
Республик ф с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет
С 03 С 15/00 Государственный комитет
СССР по делам изобретений и открытий (33)УДК 666.1. . 053.63 (088. 8) Опубликовано 3009.82. Бюллетень ¹ 36
Дата опубликования описания 30.09.82 (72) Авторы изобретения
Л.В.Кондакова, В.A.Ìèõàéëoâà, И.С.Кабаева, и Е.М.Теренкова (71) Заявитель (54) ТРАВИЛЬНЫИ РАСТВОР
1 2 . 3
40
30 кгСО
10
Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, а именно к обработке поверхности стеклянной подложки травлением.
Известен травильный раствор j1 ), включающий, вес.%:
HF 19-32
ИН4 19-32 но Остальное
Этот раствор используют при изготовлении фазовых рэндомизирующих масок путем создания рельефа. Глубина вытравливания составляет 0,03 мкм.
Наиболее близким к предлагаемому по составу является травильный раствор (2), включающий, вес.ч:
HF 10
КгСО 3
ИН4Е 3
Указанная травильная смесь применяется для матирования стекол с высоким содержанием Вг03. Однако этот раствор не может обеспечить заданный класс шероховатости поверхности.
Цель изобретения — обеспечение шероховатости 0,32-0,40 мкм.
Указанная цель достигается тем, что травильный раствор включающий
HF, ННННГ и КгСОз, дополнительно со» держит KF HF и,К Cr O при следующем соотношении комйойентов,вес.%:
HF 40-60
Ш4F 10-30
КгСОз 10-20
KF HF 3-5
КгСтгОт 5-10
Введение в комплекс KF HF и КгСЩ обеспечивает высокое качество получаемой поверхности, ее тонкозернис« тую одноРодную структуру, регламентирует получение параметра шероховатости R 0,32-0,40.
От качественного состояния поверхности стеклянных или кварцевых подложек, на которые наносится микропленка, зависит в конеином итоге и качество изготавливаемого в целом полупроводникового прибора.
В таблице приведены составы травильного раствора.
Компо- Содержание, вес.%, в составах
962233
Продолжение таблицы
1 ненты
1 2
Ю
KF.;,Í,"F
К С г О
ИН, Р
3 5
30
Составитель О. Самохина
Техред М. Надь
Корректор Г. Решетник
Редактор Ю. Ковач
Заказ 7418/34 Тираж 508 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Компо- Содержание, вес.Ф, в составах
П р и м е ч а н и е. Шерохова- тость обработанной поверхности в составах 1-3 составляет 0,36, 0,32 и 0,40 мкм соответственно. IS
Процесс обработки заключается в следующем.
Пластины из стекла, в том числе кварцевого, обезжиривают в 5В-ном растворе фтористоводородной кислоты HF, далее помещают в травильную смесь предлагаемого состава и обрабатывают при 60-70 С в течение 710 мнн. Затем детали извлекают из раствора, нейтрализуют в 3-5%-ном растворе аммиака, промывают последо.вательно в проточной и дистиллированной воде и просушивают в сушильном шкафу 5-7 мин при 50-70 С.
Использование изобретения в полупроводниковой технике дает возможнФсть улучшить качество изготавливаемых приборов и заменить дорогостоящий процесс механической обработки поверхности стекла на химический.
Приборы с использованием подложек, обработанных предлагаемым составом, найдут применение в медицине, электровакуумной косщаческой технике, электронике.
Формула изобретения
Травильный раствор, включающий
HF) NHgF и Е1СО3, о т л и ч а ющ с я тем, что, с. целью обеспещийс чения шероховатости 0,32-0,40 мкм, он дополнительно содержит KF HF и К Сг Ст 0 при следующем соотношении компонентов, вес.%:
HF 40-60
NHg F 10-30
K 2ÑOÇ 10 20
KF;HF 3-5
К дСг1О т 5-10
Источники информации, принятые во внимание при и экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
М 703513, кл. С 03 С 15/00, 1977.
2. Авторское свидетельство СССР
256188, кл. С 03 С 15/00, 1967.
