Способ изготовления электровакуумного прибора
(11)963117
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социапистических
Республик (61) Дополнительное к авт. саид-ву -{5l}M Кл. (22)Заявлено 27.03.81 (21) 3266424/18-21 с присоединением заявки М
Н 01 J 7/18
9вударствеки3 комитет
CCCP до делам ваабретенвк и открытнй (23)Приоритет
Опубликовано 30. 09. 82. Бюллетень № 36
Дата опубликования описания 30.09.82
{53) УДК 621.. 385. 032, 14 (088. 8) (72) Авторы изобретения
Г.д. Глебов, 10. Г. Егоров, Н.A. Иофис и В.А. орокМЧРФРНАЯ
ЫА. . ЕНИНО . „ „„,;„.,„;,13 ния БЛМИ9ТЕ ., 1
Московский институт электронного машиностр (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОВАКУУИНОГО
ПРИБОРА ..Изобретение относится к производству электровакуумных приборов . (ЭВП), а более конкретно - к получению и поддержанию в них высокого вакуума.
Известны способы изготовления электровакуумного прибора за счет использования в качестве газопоглотителя пленки бария (1 ).
Однако поскольку барий распыля:ется в вакууме, ограниченные сорб.ционные свойства образующихся плотных, или зеркальных пленок не могут обеспечить работоспособность крупногабаритных и материалоемких ЭВП, например цветных кинескопов, остаточное давление в них составляет при этом около 10 Па. Оно не понижается и тогда, когда чтобы изменить состав разреженной среды (например с целью дополнительной активировки оксидного катода следами водорода), производят последовательно распыление двух различных газопоглотителей (21.
Известен также способ изготовления электровакуумного прибора, (3KJ1lo чающий распыление бариевого газопоглотителя на определенное место оболочки прибора в среде азота. При этом образуются рыхлые или диффузные пленки с повышенной концентрацией сорбt0 ционных центров, и остаточное давление уменьшается до 10 4 Па.
Недостатком известного способа изготовления ЭВП является то, что дальнейшее улучшение вакуума ЭВП этим способом невозможно, так как: внешняя поверхность пленки газопоглотителя дезактивируется адсорбируащимся азотом в окончательные моменты распыления бария; часть бария, расходуемая на связывание азота за счет окклюзии, в дальнейшем постепе.нно освобождается, и остаточная среда ЭВП обогащается трудноудалимой компонентой.
3 96
Цель изобретения - улучшение вакуума в приборе.
Указанная цель достигается тем, что в способе изготовления электровакуумного прибора, включающем распыление бариевого газопоглотителя на определенное место оболочки в сре" де.азота, через 2-3 с после начала распыления бария на другое места оболочки прибора в течение 3-5 с напыляют металлический литий, Этот способ основывается на обнаруженных особенностях напылительного и сорбционного процессов в разреженных средах, а именно на том, что для возникновения диффузной пленки достаточно, чтобы пары бария осаждались на мелкозернистом, кристаллически напряженном зародышевом подслое этого металла, толщиной 10-153 от полной толщины пленки ° Дальнейшее размножение активных сорбцирнных центров не требует, таким образом, пред- . варительно рассеивать испаряющиеся атомы бария молекулярным азотом (аналогичный эффект наблюдали, например при осаждении щелочноземельных металлов в вакууме на матированное стекло). В момент образования зародышевого подслоя концентрация диспергирующего газа должна быть достаточно велика (давления порядка 1001000 Па), но коль скоро его структура оформилась, азот, адсорбция и окклюзия которого протекали бы парал- лельно с испарением бария, уже не улучшает, а ухудшает поглотительные свойства пленки .
Скорость взаимодействия азота с ли тием в 50- 100 раз выше, нежели с барием, что единственно и дает возможность удалить диспергирующий газ сразу же после образования зародышей кристаллизации и до того, как сконденсируется основная масса бария, которая таким образом не загрязняется азотом.
Момент начала напыления лития .через 2-3 с после начала распыления
1 бария определен из того, что эффективная толщина зародышевого подслоя составляет около 1/8 от общей толщины бариевой пленки, на что и требуется указанное время, при меньшей задержке с момента начала напыления лития толщина упомянутого подслоя чересчур мала и, кроме того, технология становится неуправляемой. Увеличение задержки до 5-6 с ведет к за3117 метнои дезактивации поверхности азотом.
Режим напыления лития 3-5 с при
800-850, обусловлен тем, что при более медленном напылении азот не успевает связываться, напротив слишком интенсивный нагрев ведет к вредному разбрызгиванию расплавленного лития.
Пример. В кинескоп, снабжен10 ный бариевым кольцевым газопоглотителем типа КРАБ-26 с внутренним ис.точником азота (нитридом железа), вводят азотопоглотительный элемент в форме 20-30 мг металлического ли15 .тия, заштампованного в углубление никелевого флажка и заваренного сверху никелевой сеткой. После обычной вакуумной обработки прибора и через
2-3 с после начала распыления бария рр включают катушку ВЧ-нагрева литиевого
Ъ азотопоглотительного элемента, так чтобы в течение последующих 3-5 с температура флажка поддерживалась на, уровне 800-850 С, и пары лития не по25 падали на площаль конденсации(осаждения) бария; напыление газопоглотителя КРАБ-26 производят.в- соответствии с нормальной технологией. Как следствие образования диффузионного зо зародышевого подслоя бария, дальнейшего связывания технологического азота литием и окончательной диффузной конденсации бария при давлениях не выше 0,1 Па, вакуум в готовом приборе улучшается до 10 - 10 ЬПа при одновременном изменении состава остаточных газов на более благоприятный (относительная концентрация азота снижается с 903 до 5-103).
Использование предлагаемого изобретения, за счет улучшенного на 1,52 порядка вакуума, обеспечит увеличение технологического выхода цветных кинескопов на 5-7i, а их долго4 вечности на 400-600 ч.
Формула изобретения
Способ изготовления электровакуумного прибора, включающий распыление бариевого газопоглотителя на определенное место оболочки прибора в среде азота, отличающийся тем, что, с целью улучшения вакуума в приборе, через 2-3 с после начала распыления бария на другое место оболочки прибора в течение 3-5 с напыляют металлический литий.
963«7
Составитель Г. Жукова
Редактор Ю. Середа Техред И.Надь
Корректор В. Бутя га
Тираж 761 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и.открытий
113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 7528/78
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Иванов А.А. Электровакуумная . технология, И., Госэнергоиздат, 1944, с, 360-364. б
2. Патент США 1т 3387908, кл. 316-25, опублик. 1968.
3. Новицкий Н.К. и др. Газопоглотитель антенного типа с активирующим
S газом КРАБ-26. - "Электронная промыш ленностью, 1974, и 9, с. 49-50.
