Устройство для закрепления и подачи слитков при резке полупроводниковых материалов алмазным отрезным кругом

 

1ц982935

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски к

Социалистических

Респубики (61) Дополнительное к авт. свид-ву . (22)Заявлено 18,06 ° 81 (21) 3310794/29 33 с присоединением заявки РЙ (51)М. Кл;

В 28 D 5/02

3Ьеударстеелый кемктет

СССР (23) Приоритет ао делам яаабретенкй и дткрыткй

Опубликовано 23. 12, 82. Бюллетень И 47 (53) УДК 679.8. .053.8(088.8) Дата опубликования описания 27. 12. 82

А.H. Кривошлыков

1 (72) Автор изобретения .

Херсонский индустриальный институт " -" "- --3 (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ И ПОДАЧИ

СЛИТКОВ ПРИ РЕЗКЕ. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

МАТЕРИАЛОВ АЛИАЗНЫИ ОТРЕЗНЫМ КРУГОМ

Изобретение относится к механической обработке твердых и хрупких материалов, а именно к устройствам для алмазной резки кремния, германия, стекла, кварца, рубина, ситалла и т.п. на пластины, Наиболее близким техническим решением к изобретению является устройство для закрепления и подачи слитков при резке полупроводниковых материалов на пластины алмазным отрезным кругом, содержащее вал с планшайбой и плиту 1 ).

Недостаткам известного устройства является то, что оно не позволяет разрешить противоречия, возникающие при установке инструмента — алмазного отрезного круга: с одной стороны, для повышения производительности необходимо увеличить длину дуги контакта слитка с режущей кромкой за один оборот круга, что достигается уменьшением радиальных биений> с другой стороны, при малых радиальных биениях затрудняется охлаждение зоны резания и вынос шлама, что снижает эффективность резки.

Целью изобретения является увеличение производительности и улучшение качества отрезаемых пластин, Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для закрепления и подачи слитков при резке нолупровод" никовых материалов алмазным отрезным кругом, содержащем вал с планшайбой и плиту, вал с планшайбой соединен упругим элементом, выполненным в виде четырех стержней одинакового сечения, с плитой, снабженной электромагнит,ным возбудителем колебаний, выполненным в виде замкнутого магнитопровода, содержащего четыре полюса с катушками и расположенного в центре сердечника, жестко закрепленного на планшайбе, начала обмоток всех кату- шек соединены вместе и подключены к

3 982935 одному зажиму источника переменного тока, концы одной пары противополож" но расположенных катушек подключены через встречно включенные диоды к другому зажиму источника, а концы другой пары катушек - через встречно включенные диоды и фазосдвигающую цепочку.

На фиг, 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг, 2 - сечение А-A lO на фиг. 1; на фиг. 3 - электрическая принципиальная схема, Устройство содержит вал 1 с планшайбой 2 и приклеенный на валу слиток 3. С помощью четырех упругих ls стержней круглого сечения 4 планшайба соединена с плитой 5, на которой закреплен замкнутый магнитопровод 6, имеющий четыре полюса и четыре катушки 7-10, соосно с валом в. центре щ магнитопровода Расположен сердеч-ник 1 1, жестко закрепленный на планшайбе 2, Начала обмоток катушек 7, 8, 9 и 10 соединены вместе и подключены к одному зажиму источника 12 пере- у менного тока. Концы обмоток 7 и 9 подключены через встречно включенные диоды 13 и 14 к другому зажиму источника, а концы обмоток 8 и 1 0 подключены к нему через встречно включенные диоды 15 и 16 и фазосдвигающую цепочку l

Устройство работает следующим образом.

Плита 5 закРепляется на столе станка резки. При включении источника. переменного тока через обмотки катушек 7-10 будут протекать токи, изменяющиеся по гармоническому закону

Iz I „Sincot; I у Sin(.cot + Ч) р 1р что приведет к появлению электромеханических сил, действующих на сердечник 11: F„= F „Sincot и F> =

= F „Sin(cot + Р), которые, векторно суммируясь, образуют вращающийся результирующий вектор силы. Так как планшайба с сердечником, валом и слитком установлены на упругой подвеске, имеющей одинаковую жесткость в плоскости вращения круга, то они

50 совершают круговые (при Гх = F> и .

9 = 90 ) или эллиптические колебания (при F< 4 F>, Ч> 90о

Таким образом, в процессе резки слиток совершает линейное перемеще4 ние, обеспечиваемое продольным перемещением стола станка и .круговые или эллиптические колебания в плоскости вращения инструмента. При амплитуде колебаний больших или равных значению радиального биения режущей кромки число врезаний ее в слиток за один оборот определится отношением частоты вынужденных колебаний к частоте вращения круга. В этом случае непрерывная кромка работает как зубчатая пила,. число "зубьев" ьь! наджа. которой Z = вра ц.

Формула изобретения

t. Устройство для закрепления и подачи слитков при резке полупроводниковых материалов алмазным отрезным кругом, содержащее вал с планшайбой и плиту, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения производительности и улучшения качества отрезаемых пластин, вал с планшайбой соединен упругим элементом, выполненным в виде четырех стержней одинакового сечения, с плитой, снабженной электромагнитным возбудителем колебаний, выполненным в виде замкнутого магнитопровода, содержащего четыре полюса с катушками и расположенного в центре сердечника, жестко закрепленного на планшайбе.

2..Устройство по и. 1, о т л ичающее с я тем, что, с целью получения круговых или элиптических колебаний слитка в плоскости вращения алмазного отрезного круга, начала обмоток всех катушек соединены вместе и подключены к одному зажиму источника переменного тока, концы одной пары противоположно расположенных катушек подключены через встречно включенные диоды к другому зажиму источника, а концы другой пары катушек - через встречно включенные диоды и фазосдвигающую цепочку.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР г 423662, кл. В Ц D 5/02, 1972 прототип).

982935

Составитель A. Панин

Редактор Н. Пушненкова Texpegll.Пекарь Корректор И. Демчук

Заказ 9805/20 Тираж 604 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4