Многодисковый инструмент для резки хрупких материалов

 

О П И С А Н И Е н1 60 8652

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Оеее Эевевп

6арапиетнчвскы

Распублин (61) Дополнительное к авт. свид-ву 461000 (22) Заявлено 01.12.76 (21) 2424833/29-33 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.05.78. Бюллетень № 20 (45) Дата опубликования описания 09.06.78 (51) М. Кл. В 28D 5/02

Государственный комитв

Совета Министров CCCP .по делам изобретений и открытий (53) УДК 679.8.053 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. H. Галицкий, О. Е. Купершмид, В. А. Муровский и С. И. Лищинский

Ордена Трудового Красного Знамени институт сверхтвердых материалов АН Украинской ССР (71) Заявитель (54) МНОГОДИСКОВЫЙ ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ РЕЗКИ

ХРУПКИХ MATEPHAJIOB

Изобретение относится к механической обработке хрупких материалов, а именно к устройствам для резки полупроводниковых материалов, и может быть использовано для производства полупроводниковых приборов, магнитных головок и др.

Многодисковый инструмент для резки хрупких материалов по основному авт. св. № 461000 включает набор режущих дисков, между которыми смонтированы разделительные втулки.

Недостаток такого инструмента заключается в том, что вследствие температурных деформаций изменяется пространственное положение режущих дисков, что снижает точность о бр а ботки.

Цель изобретения — повышение точности обработки.

Достигается это тем, что в многодисковом инструменте для резки хрупких материалов, включающем набор режущих дисков, между которыми смонтированы разделительные втулки, разделительные втулки режущих дисков выполнены из материала, коэффициент линейного расширения которого ниже, чем у материала режущих дисков.

На чертеже показан предлагаемый многодисковый инструмент, общий вид.

Многодисковый инструмент для резки хрупких материалов содержит режущие диски 1, смонтированные на оправке 2, между дисками

1 размещены разделительные втулки 3, вы5 полненные из керамики или ситалла.

Наличие разделительных втулок 3 из материала, коэффициент линейного расширения которого ниже, чем у материала режущих дисков, позволяет сократить температурные

IO деформации инструмента и тем самым повысить точность обработки.

Формула изобретения

1. Многодисковый инструмент для резки

15 хрупких материалов, преимущественно полупроводниковых пластин, по авт. св. № 461000, отличающийся тем, что, с целью повышения точности обработки, разделительные втулки режущих дисков выполнены из материала, коэффициент линейного расширения которого ниже, чем у материала режущих дисков.

2. Инструмент по п. 1, отличающийся тем, что в качестве материала разделительных втулок используют керамику или ситал25 лы °

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР №461000, кл. В 28D 5/02, 1975, «108652

Составитель В. Холопов

Техред А. Камышникова Корректор И. Позняковская

Редактор Т. Кузьмина

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1013)7 Изд. № 469 Тираж 708

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5