
Изобретение относится к вариантам установки для напыления тонких слоев с различными свойствами на размещенные в паллетах из одного материала пластины на основе кремния или стекла. Установка включает последовательно расположенные компоненты: узел загрузки пластин на паллеты, входную шлюзовую и буферную камеры, блоки вакуумных камер для напыления по крайней мере на одну из сторон пластин тонких слоев в соответствующем технологическом оснащении, выходную шлюзовую и буферную камеры, узел выгрузки пластин с напылением из паллет, которые объединены системой управления и автоматизированной системой внутренней транспортировки пластин в паллетах, а также содержит систему обратной транспортировки паллет без пластин вне вакуумных камер от узла выгрузки пластин с напылением из паллет к узлу загрузки пластин на паллеты, причем система обратной транспортировки паллет снабжена счетчиком циклов прохождения паллет по системе, модулями лазерной очистки паллет от напыления с одной или двух подвергшихся напылению сторон, а также снабжена датчиками положения паллет относительно модулей лазерной очистки, причем каждая лазерная головка содержит встроенный сканатор с областью сканирования луча d=(0,1-0,12) м и расположенный вблизи области очистки узел локальной вытяжки продуктов лазерной очистки.
Изобретение относится к концентратам, предназначенным для использования при очистке оборудования по переработке полимерных материалов (экструдеров, термопластавтоматов и т.д.) при переходе с цвета на цвет и от «пригарков» (частиц разложившегося полимера, приставшего к поверхности оборудования).