Микроструктурные устройства или системы, например микромеханические устройства (B81B)

B81B              Микроструктурные устройства или системы, например микромеханические устройства (пьезоэлектрические, электрострикционные или магнитострикционные приборы как таковые H01L41)(84)

Система управления устройством с эффектом памяти формы для манипулирования микро- и нанообъектами // 2790934
Изобретение относится к области приборостроения, микросистемной техники и наномеханики, в частности, к технике устройств на основе материалов с эффектом памяти формы (ЭПФ) для манипулирования микро- и нанообъектами и может найти применение в радиоэлектронике, машиностроении, нанотехнологии, электронной микроскопии, медицине, биологии.

Микропинцет с градиентом магнитного поля и способ его изготовления // 2788937
Группа изобретений относится к области биомедицинских сенсоров и манипуляторов новых поколений. Способ изготовления микропинцета с градиентом магнитного поля включает обработку микропровода состава PrDyFeCoB смесями кислот при повышенной температуре с последующей промывкой дистиллированной водой и сушкой.

Микрожидкостное устройство для селективного захвата биологических объектов // 2787825
Изобретение относится к микрожидкостным устройствам. Раскрыто микрожидкостное устройство для селективного захвата целевых биологических объектов, содержащее а) массив симметричных столбиков в форме капли (1), в которых линии хорды (5) симметричных столбиков в форме капли параллельны друг другу и при этом геометрические центры симметричных столбиков в форме капли образуют ромбическую решетку (4), характеризующуюся тем, что длина (d) стороны ромба в решетке образована как Евклидово расстояние между геометрическими центрами двух соседних симметричных столбиков в форме капли, b) извилистый микрожидкостный канал (2) и c) объем захвата (3), при этом извилистый микрожидкостный канал (2) содержит последовательность сегментов эллипса (13), каждый из которых характеризуется хордой, параллельной большой или малой оси эллипса, причем указанная хорда разделена на секцию впуска (17) и секцию выпуска (18), через которые целевой биологический объект входит в сегмент эллипса (13) и выходит из него, причем сегменты эллипса соединены друг с другом, причем следующий сегмент эллипса формируется путем поворота предшествующего сегмента эллипса вокруг его хорды и параллельного переноса на расстояние, равное секции впуска (17), вдоль хорды, причем объем захвата (3) определяется логическим вычитанием массива симметричных столбиков в форме капли из извилистого микрожидкостного канала.

Способ генерации резонансных мод ми высокого порядка в мезоразмерных полостях диэлектрического материала // 2784213
Изобретение относится к области оптики и касается способа генерации резонансных мод Ми высокого порядка в мезоразмерных диэлектрических частицах. Способ заключается в размещении мезоразмерной диэлектрической частицы в прозрачной для излучения среде, с показателем преломления материала частицы, превышающим показатель преломления материала окружающей среды, и облучаемой плоской линейно-поляризованной электромагнитной волной.

Несущий модуль для чувствительного элемента микроэлектронного измерительного устройства и способ его изготовления // 2782961
Изобретение относится к конструктивным элементам МЭМС и способам их изготовления. Технический результат заключается в повышении надежности модуля при работе в условиях высоких температур.

Система управления устройством с эффектом памяти формы для манипулирования микро- и нанообъектами // 2778525
Изобретение относится к системе управления устройством с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами. Система содержит микропроволоку с основанием и концом, выполненным коническим и заточенным путем электрохимического травления, на котором закреплено устройство с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами, рабочее поле с манипулируемым объектом и источник подогрева, при этом основание микропроволоки укреплено на нанопозиционере, причем источник подогрева выполнен в виде малоразмерного резистивного нагревающего элемента, расположенного в тепловом контакте с микропроволокой, и электронную систему питания и управления током, протекающим через резистивный элемент, подводящие провода, соединяющие резистивный элемент с электронной системой питания и управления током, причем конец микропроволоки выполнен с переменным профилем в виде комбинации геометрических фигур - усеченного конуса, цилиндра с диаметром меньшим, чем диаметр основания проволоки, и конуса, на острие которого закреплено устройство с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами, а нагревательный элемент расположен на поверхности цилиндра с меньшим диаметром.

Микроустройство, содержащее по меньшей мере два подвижных элемента // 2771298
Группа изобретений относится к области микроустройств, в частности, относящихся к типу микроэлектромеханических систем (MEMS). Микроустройство в виде инерциального датчика, содержащего множество подвижных элементов (100), и способ изготовления микроустройства (100) путем травления, содержащего подвижный элемент (111), способный перемещаться относительно фиксированного участка (115), созданный в первом и втором слоях (104, 106) материала, расположенных один над другим так, что подвижный элемент содержит участок (112) первого слоя и участок (118) второго слоя, скрепленные друг с другом, и в котором подвижный элемент подвешен на фиксированном участке с помощью средства (121) подвески, сформированного в первом и/или втором слое материала.

Устройство с микрофлюидным чипом для измерений оптической силы и формирования изображения клеток с использованием конфигурации микрофлюидного чипа и динамики // 2764676
Изобретение относится к устройству и способу для анализа частиц и формирования изображения частиц или клеток во флюидах, и в частности к устройству и способу формирования изображения частиц во флюидах при использовании давления, динамики флюида, электрокинетических и оптических сил.

Устройство мэмс или нэмс с упорным набором // 2758699
Изобретение относится к технической области электромеханических устройств. Устройство МЭМС или НЭМС типа датчика или привода, имеющее упорный набор, включающий в себя: - первый плоский слой, содержащий первый плоский электрод, предназначенный для подачи на него первого электрического потенциала, и второй плоский электрод, предназначенный для подачи на него второго электрического потенциала, отличного от первого потенциала, при этом первый плоский электрод является подвижным относительно второго плоского электрода в первом направлении, параллельном первому плоскому слою, - второй плоский слой, наложенный на первый плоский слой и электрически изолированный от первого плоского слоя по меньшей мере одним промежуточным слоем из изоляционного материала, при этом второй плоский слой содержит первый плоский элемент, механически соединенный с первым плоским электродом, и второй плоский элемент, механически соединенный со вторым плоским электродом, при этом дополнительно содержит по меньшей мере один упорный элемент, проходящий от первого плоского элемента или от второго плоского элемента в первом направлении и выступающий относительно указанного плоского элемента в первом направлении, при этом упорный элемент, который проходит от одного из плоских элементов, предназначен для подачи на него такого же электрического потенциала, что и на находящуюся напротив поверхность, принадлежащую к другому из плоских элементов, при этом упорный элемент и электроды выполнены так, чтобы упорный элемент входил в контакт с находящейся напротив поверхностью и блокировал сближение двух плоских электродов в первом направлении во время воздействия.

Проточная ячейка с гибким соединением // 2752814
Изобретение относится к микрофлюидным устройствам, а именно к системе управления реагентами. Прибор для управляемых химических реакций с модулем гибкого соединения содержит систему управления реагентами, выполненную с возможностью расположения в указанном приборе, при этом система управления реагентами содержит множество лунок для реагентов, при этом каждая лунка для реагента выполнена с возможностью вмещения реагента из множества размещенных в системе реагентов, при этом система управления реагентами выполнена с возможностью выбора потока реагента из одной из множества лунок для реагентов; модуль детектирования; и модуль гибкого соединения, содержащий: гибкое соединение, состоящее из многослойного пакета и выполненное с возможностью расположения в приборе, при этом гибкое соединение содержит первый гибкий канал, связанный по текучей среде с системой управления реагентами, при этом первый гибкий канал выполнен с возможностью направления по нему потока реагента; и проточную ячейку, выполненную с возможностью расположения в приборе, при этом проточная ячейка содержит проточный канал, связанный по текучей среде с первым гибким каналом, при этом проточный канал выполнен с возможностью направления потока реагента поверх аналитов, расположенных в проточном канале; причем проточная ячейка выполнена с возможностью перемещения прибором относительно фиксированной базовой точки в приборе, будучи при этом соединенной с гибким соединением.

Устройство для тестирования и настройки системы визуализации микрообъектов и способ его изготовления // 2752577
Настоящее изобретение относится к устройству тестирования и настройки оптической системы комплекса визуализации изображений микрообъектов, а также к способу его изготовления. Устройство для тестирования и настройки оптической системы комплекса визуализации изображений микрообъектов состоит из микрофлюидного чипа с внутренним оптически прозрачным каналом, содержащим две плоские поверхности, и микросфер, флуоресцирующих в одном или нескольких спектральных диапазонах, которые иммобилизованы монослоем на одной из поверхностей указанного канала микрофлюидного чипа.

Измерения барьерной функции // 2752085
Изобретение относится к способу in vitro для определения модулирующего влияния исследуемого соединения на барьерную функцию эпителия, который включает стадии а) обеспечения микрофлюидной системы, содержащей множество полых микрофлюидных каналов, при этом указанная система содержит по меньшей мере один канал, который по меньшей мере частично заполнен гидрогелем; b) введения эпителиальных клеток в указанный микрофлюидный канал и обеспечения приведения указанных эпителиальных клеток в контакт с указанным гидрогелем; c) культивирования указанных эпителиальных клеток, которые были введены в указанный микрофлюидный канал, тем самым позволяя указанным клеткам образовывать на гидрогеле слой клеток с апикальной и базолатеральной стороной; d) обеспечения указанных эпителиальных клеток в указанном микрофлюидном канале зондом и указанным исследуемым соединением, при этом указанный зонд и указанное исследуемое соединение независимо обеспечивают с апикальной стороны, с базолатеральной стороны или как с апикальной, так и базолатеральной стороны; e) определения в различные моменты времени сигнала, обеспечиваемого указанным зондом в указанном микрофлюидном канале или в указанном гидрогеле или как в указанном микрофлюидном канале, так и в указанном гидрогеле, и, тем самым, определения модулирующего влияния исследуемого соединения на барьерную функцию эпителия.

Модуль микрофона и электронное устройство // 2747707
Настоящее изобретение предлагает модуль микрофона и электронное устройство и относится к области технологии электронных устройств. Модуль микрофона содержит корпус, печатную плату, преобразователь сигналов и адгезивный элемент.

Молекулярно-электронный преобразующий элемент // 2746698
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к чувствительным элементам (электродным узлам) молекулярно-электронных преобразователей диффузионного типа. Молекулярно-электронный преобразующий элемент включает две группы электродов, в каждой из которых один электрод - анод находится при потенциале более высоком, чем второй электрод - катод, при этом согласно изобретению молекулярно-электронный преобразующий элемент содержит дополнительные электроды, расположенные вблизи областей, находящихся при том же потенциале, что и катод, но гальванически развязанных от катода.

Бинарный космический аппарат с реконфигурируемой антенной, совмещенной со свертываемой в рулон солнечной батареей, развертываемой мультивекторными матричными ракетными двигателями // 2735448
Изобретение относится к малоразмерным бинарным космическим аппаратам (БКА), предназначенным для создания реконфигурируемых антенных систем. БКА содержит два цилиндрических корпуса, на торцах которых с помощью телескопических штанг размещены мультивекторные матричные ракетные двигатели (ММРД), осуществляющие развертывание гибкой подложки солнечной батареи (СБ), интегрированной с антенной.

Преобразующий элемент молекулярно-электронного преобразователя диффузионного типа // 2724297
Изобретение относится к измерительной технике в частности к чувствительным элементам (электродным узлам) молекулярно-электронных преобразователей диффузионного типа. Сущность изобретения заключатся в том, что в преобразующем элементе молекулярно-электронного преобразователя диффузионного типа, содержащем две пары выполненных из нитей сетчатых электродов, расположенных перпендикулярно потоку рабочей жидкости и подключенных к источнику напряжения таким образом, что в каждой паре сетчатых электродов потенциал одного из электродов - анода выше потенциала другого электрода - катода, поверхности нитей, из которых изготовлены катоды, покрыты диэлектрическим слоем со стороны, противоположной близлежащему аноду.

Устройство детектирования // 2720580
Изобретение относится к области устройств для детектирования. Устройство детектирования включает спектрометр ионной подвижности для обнаружения представляющего интерес вещества, содержащий пневматическую систему; пневматический интерфейс, выполненный для установки на плату печатного монтажа (ППМ) и содержащий полимерный корпус, имеющий множество пневматических каналов для соединения с пневматической системой спектрометра ионной подвижности, при этом множество насосных муфт расположены на поверхности корпуса так, что, когда интерфейс установлен на ППМ, каждая из множества насосных муфт приводится в соответствие с соответствующим одним из множества насосов для соединения каждого насоса с соответствующим каналом из множества пневматических каналов.

Бинарный космический аппарат с реконфигурируемой антенной, совмещенной с гибкой ленточной солнечной батареей, развертываемой мультивекторными матричными ракетными двигателями // 2714064
Изобретение относится к конструкции и оборудованию главным образом малоразмерных спутников, предназначенных для создания антенных систем. Бинарный космический аппарат (БКА) содержит два кубических корпуса с поворотными телескопическими штангами, на которых размещены мультивекторные матричные ракетные двигатели (ММРД) для развёртывания гибкой солнечной батареи, интегрированной с коллинеарной антенной, информационными и силовыми шинами, позиционной штрихкодовой лентой.

Устройство для манипулирования микро- и нанообъектами // 2713527
Изобретение относится к устройству для манипулирования микро- и нанообъектами и способу изготовления микромеханического актюатора и может найти применение в области радиоэлектроники, машиностроения, биотехнологии, электронной микроскопии, медицины.

Компонент на кремниевой основе, имеющий по меньшей мере одну фаску, и способ его изготовления // 2710522
Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микромеханического компонента, полученного из материала на кремниевой основе, включает следующие стадии: a) обеспечение подложки на кремниевой основе; b) формирование маски, пронизанной отверстиями, на горизонтальной части подложки; c) протравливание в травильной камере предварительно определенных наклонных стенок на части толщины подложки от отверстий в маске в целях формирования верхних фасочных поверхностей микромеханического компонента; d) протравливание в указанной травильной камере по существу вертикальных стенок (47) на по меньшей мере части толщины подложки от дна области, представляющей собой результат травления, полученной на стадии с), в целях получения периферийных стенок микромеханического компонента под верхними фасочными поверхностями; e) освобождение микромеханического компонента от подложки и маски.

Микромеханический компонент, характеризующийся уменьшенной поверхностью контакта, и способ его изготовления // 2707712
Изобретение относится к компоненту на кремниевой основе, характеризующемуся по меньшей мере одной уменьшенной поверхностью контакта, который, будучи полученным при использовании способа, объединяющего по меньшей мере одну стадию протравливания наклонной боковой стенки с протравливанием вертикальных боковых стенок от компании «Bosch», улучшает, в частности, трибологию компонентов, полученных в результате проведения механической микрообработки пластины на кремниевой основе.

Интегральный микроэлектромеханический переключатель // 2705792
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано в интегральной электронике для коммутации сигналов. Техническим результатом является коммутации сигналов сантиметрового волнового диапазона с низкими вносимыми потерями, низкой индуктивностью, низким напряжением смещения, малым временем переключения из одного состояния в другое, исключение чувствительности к вибрациям, внешним ускорениям, исключение произвольных срабатываний переключателя при коммутации сигналов высокой мощности, повышение жесткости конструкции неподвижного верхнего электрода электростатического привода.

Интегральный микроэлектромеханический переключатель // 2705564
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано в интегральной электронике для коммутации сигналов. Техническим результатом является коммутация сигналов сантиметрового волнового диапазона с низкими вносимыми потерями, низкой индуктивностью, низким напряжением смещения, малым временем переключения из одного состояния в другое, исключение чувствительности к вибрациям, внешним ускорениям, исключение произвольных срабатываний переключателя при коммутации сигналов высокой мощности, повышение жесткости конструкции неподвижного верхнего электрода электростатического привода.

Коаксиальные регулярные нано-мезоструктуры, способ их получения и способ получения микрокапсул из этих структур // 2703624
Изобретения относятся к области химического материаловедения и могут быть использованы при изготовлении датчиков химического состава, электрохимических источников тока, носителей катализаторов, химических реагентов, меток, хроматографических фаз или дозы лекарства в микрокапсулах.

Микроструктура для трансдермального введения и способ её получения // 2701361
Изобретение относится к микроструктуре, содержащей биосовместимый полимер или адгезив, и к способу ее получения. Изобретение оптимизирует аспектное отношение в соответствии с типом каждой из микроструктур, обеспечивая посредством этого оптимальные для проникновения через кожу угол кончика и диапазон диаметров.

Устройство для манипулирования микро- и нанообъектами, способ его изготовления и система управления // 2698570
Использование: для манипулирования микро- и нанообъектами. Сущность изобретения заключается в том, что устройство для манипулирования микро- и нанообъектами включает два плоских элемента, из которых, по крайней мере, один выполнен термочувствительным, состоящим из двух слоев, из которых один изготовлен из предварительно псевдопластически растянутого сплава с ЭПФ, а другой из упругого материала, причем слои прочно соединены между собой, а элементы соединены с одного конца, а с другого конца сформирован захват для удержания объекта манипулирования, причем в термочувствительном элементе упругий слой выполнен в виде пленки металла, нанесенной на слой сплава с эффектом памяти формы с внешней стороны устройства, а захват для удержания объекта сформирован в сплаве с памятью формы, дополнительно содержит защитный слой диэлектрического прочного материала, нанесенный на рабочие поверхности микромеханического устройства.

Устройство для манипулирования микро- и нанообъектами с функцией хранения // 2678699
Изобретение относится к области механики, микросистемной техники и наномеханики, в частности к технике устройств на основе материалов с эффектом памяти формы (ЭПФ), и может найти применение в области радиоэлектроники, машиностроения, биотехнологии, электронной микроскопии, медицины.

Алмазное покрытие и способ его осаждения // 2660878
Изобретение относится к микрокристаллическому алмазному покрытию, предназначенному для трибологических областей применения в сфере микромеханики, а также в оптике. Микромеханическая деталь включает подложку, имеющую поверхность с алмазным покрытием, включающим по меньшей мере одну стопку из первого нанокристаллического алмазного слоя с размером зерен на поверхности, меньшим, чем 50 нм, и второго микрокристаллического слоя с размером зерен на поверхности порядка 100 нм, при этом алмазный слой, наиболее приближенный к подложке, является нанокристаллическим, а поверхность алмазов, наиболее удаленная от подложки, является микрокристаллической.

Микроманипулятор на основе бимагнитных микропроводов с сердцевиной, покрытой асимметричной внешней оболочкой, и способы его использования // 2658108
Группа изобретений относится к области механики, микросистемной техники и наномеханики, в частности к технике манипуляторов (пинцетов) для захвата и перемещения нано- и микрообъектов. Сущность изобретений заключается в том, что микроманипулятор содержит, по крайней мере, один манипулирующий элемент, выполненный композитным и одномерным, при этом, по крайней мере, один манипулирующий элемент содержит внутреннюю металлическую магнитострикционную сердцевину и внешнюю металлическую магнитострикционную оболочку, причем постоянная магнитострикции внешней оболочки отличается знаком или величиной от постоянной магнитострикции сердцевины, а внешняя металлическая магнитострикционная оболочка асимметрично покрывает поверхность сердцевины, и только частично.

Оптический модулятор // 2655463
Изобретение относится к оптической технике. Оптический модулятор, каждый пиксель которого содержит перекрывающие площадь пикселя неподвижный плоский поляризатор и параллельный ему подвижный плоский поляризатор.

Реверсивная матричная ракетная двигательная система с индивидуальным цифровым управлением величиной тяги каждой реверсивной двигательной ячейки для малоразмерных космических аппаратов // 2654782
Изобретение относится к двигательным ракетным системам для малоразмерных космических аппаратов и предназначено для использования в качестве маневрового двигателя при выполнении линейных и угловых перемещений.

Микромеханический компонент с раздельной, гальванически изолированной активной структурой и способ эксплуатации такого компонента // 2653112
Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический компонент включает в себя подложку и активную структуру, которая выполнена с возможностью отклонения относительно подложки по меньшей мере в одном направлении и которая имеет по меньшей мере один первый участок и второй участок, причем первый участок и второй участок электропроводны, физически жестко соединены друг с другом вдоль первой оси (X) и электрически изолированы друг от друга посредством изолирующего участка, первый электрод, который проходит наружу из первого участка вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и второй электрод, который проходит наружу из первого участка вдоль второй оси (Y) во втором направлении, причем вторая ось (Y) расположена перпендикулярно первой оси (X), и причем второе направление противоположно первому направлению, и третий электрод, который проходит наружу из второго участка вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и четвертый электрод (232), который проходит наружу из второго участка вдоль второй оси (Y) во втором направлении.

Способ изготовления компонента // 2652533
Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микроэлектромеханического компонента включает этап изготовления композита первого слоя, содержащего структурированный слой, который является электропроводящим по меньшей мере на первом участке, и канавку, заполненную изолирующим материалом, которая проходит в наружном направлении от первой поверхности структурированного слоя и размещена на первом участке структурированного слоя, причем первая поверхность структурированного слоя обращена к первой поверхности композита первого слоя, этап изготовления композита второго слоя, имеющего первое углубление на первой поверхности композита второго слоя, этап соединения композита первого слоя с композитом второго слоя с примыканием первой поверхности композита первого слоя к первой поверхности композита второго слоя по меньшей мере на некоторых участках и размещением заполненной канавки в пределах бокового положения первого углубления, после соединения композита (10) первого слоя с композитом (20) второго слоя толщину композита (10) первого слоя уменьшают от второй поверхности (112) композита (10) первого слоя до глубины заполненной канавки (15), причем вторую поверхность (112) композита (10) первого слоя располагают напротив первой поверхности (110) композита (10) первого слоя, и этап изготовления активной структуры (17) компонента (1) в структурированном слое (11), причем активная структура (17) размещена в пределах бокового положения первого углубления (210) и содержит два вторых участка (115) структурированного слоя, которые размещены на первом участке структурированного слоя, жестко физически соединены друг с другом и электрически изолированы друг от друга посредством заполненных канавок; до соединения композита первого слоя с композитом второго слоя заполненная канавка в композите первого слоя проходит на глубину, которая меньше толщины композита первого слоя; композит первого слоя дополнительно содержит вспомогательный слой, примыкающий ко второй поверхности структурированного слоя, причем вторая поверхность структурированного слоя расположена напротив первой поверхности структурированного слоя, и заполненная канавка проходит на вторую поверхность структурированного слоя.

Способ изготовления композиционных мембран на основе тонких пленок металлов // 2644640
Изобретение относится к технологии создания селективных мембран, функционирующих за счет избирательной диффузии водорода сквозь тонкую пленку палладия или его сплава, и может быть использовано в устройствах глубокой очистки водорода от сопутствующих примесей, сепарации водорода из водородсодержащих примесей, например в микрореакторах.

Способ получения композитных наноструктур: диоксид кремния - серебро // 2643697
Изобретение относится к нанотехнологии получения композитных наноструктур - упорядоченных мультислоев микросфер диоксида кремния и наночастиц серебра. Наноструктуры подобного типа в перспективе могут служить элементами так называемых lab-on-chip, позволяющих проводить исследование живых клеток в интактном состоянии, в связи с чем могут найти применение непосредственно для диагностики заболеваний в медицине или для проведения экспертизы в криминалистике.

Способ изготовления конструктивного элемента и сам конструктивный элемент // 2640892
Использование: для изготовления конструктивного элемента. Сущность изобретения заключается в том, что создают композит первого слоя, содержащий первую подложку, выполненную из проводящего материала, и по меньшей мере одну канавку, сформированную в нем и заполненную изолирующим материалом, причем первая область первой подложки электрически изолирована в боковом направлении от других областей первой подложки посредством канавки, создают композит второго слоя, содержащий композит первого слоя и структурный слой, который содержит активную структуру конструктивного элемента и выполнен электропроводящим по меньшей мере в первой области, причем активная структура примыкает к первой поверхности первой подложки в первой области первой подложки и соединена с ней электропроводящим образом, на второй поверхности первой подложки, расположенной противоположно первой поверхности первой подложки, затем создают первую контактную площадку в первой области первой подложки, причем первая область первой подложки электрически изолирована в боковом направлении от других областей первой подложки посредством канавки на второй поверхности первой подложки.

Способ изготовления балки с заданным изгибом // 2630528
Использование: для изготовления микро- и наномеханических балок, обладающих заданным изгибом. Сущность изобретения заключается в том, что способ включает нанесение жертвенного слоя на подложку, последовательное нанесение двух или более слоев материала балки, отличающихся величиной внутренних механических напряжений, формирование балки на поверхности жертвенного слоя с помощью фотолитографии и травления материала балки, удаление жертвенного слоя из-под балки, нанесение слоев материала балки выполняют методом высокочастотного магнетронного распыления мишени, а разные внутренние механические напряжения в слоях обеспечивают за счет разных значений напряжения постоянного смещения на подложке, при которых наносят слои, при этом заданный изгиб балки достигают путем подбора толщин слоев материала балки, значений напряжения смещения и количества слоев.

Двунаправленный тепловой микромеханический актюатор и способ его изготовления // 2621612
Использование: для изготовления микромеханических устройств, содержащих упругие гибкие деформируемые исполнительные элементы. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический актюатор выполнен в виде сформированной в меза-структуре упруго-шарнирной консольной балки, состоящей из параллельных трапециевидных вставок из монокристаллической кремниевой подложки p-типа с ориентацией [100], расположенных перпендикулярно основной оси консольной балки и соединённых полиимидными прослойками, образованными полиимидной пленкой, нагревателя и электропроводящих шин, образующих омический контакт с кремнием, трапециевидные вставки выполнены на противоположных сторонах упруго-шарнирной консольной балки и образуют, по меньшей мере, две зоны деформации.

Кремниево-полиимидное гибкое сочленение для микросистем // 2621465
Использование: для создания систем, обеспечивающих микроперемещения. Сущность изобретения заключается в том, что кремниево-полиимидное гибкое сочленение для микросистем содержит соединяемые полиимидной вставкой кремниевые элементы, при этом в кремниевых элементах выполнены отверстия, заполненные материалом полиимидной вставки.

Конформный датчик скорости воздуха с микроэлектромеханической системой (mems) // 2620876
Группа изобретений относится к датчикам для измерения скорости воздушного летательного аппарата по отношению к окружающей его воздушной массе. Сущность заключается в том, что устройство для измерения скорости воздуха содержит гибкую конструкцию, имеющую внешнюю поверхность с первым открытым каналом для воздуха, имеющим нижнюю часть с первым отверстием, и первый датчик давления, установленный в гибкой конструкции в положении с нижней стороны и сообщающийся по текучей среде с первым отверстием.

Микрофлюидная система для контроля концентраций молекул для стимулирования клетки-мишени // 2603473
Изобретение относится к микрофлюидной системе и может быть использовано для количественного определения отклика живых клеток на определенные молекулы. Микрофлюидная система для управления картой концентраций молекул, пригодных для возбуждения клеток-мишеней, включает: микрофлюидное устройство (1); камеру (8) или дополнительный микрофлюидный канал, содержащий основание (6), предназначенное для приема клетки-мишени; микропористую мембрану (5), покрывающую сеть отверстий (47, 470); одно или несколько средств снабжения для снабжения одного или каждого из микрофлюидных каналов текучей средой, причем по меньшей мере одна из этих текучих сред содержит стимулирующие молекулы клетки-мишени.

Нанопереключатель // 2599461
Использование: для использования в качестве многовариантного переключателя электрических цепей. Сущность изобретения заключается в том, что нанопереключатель содержит деформируемую жестко закрепленную на одном конце нанотрубку и два основных электрода для образования двух электропроводящих цепей с помощью электрического поля этих электродов, два электрода, выполняющих функцию управления с помощью своего электрического поля деформацией нанотрубки для создания четырех дополнительных электрических цепей, а также наличием четырех дополнительных основных электродов, деформирующих посредством своего электрического поля нанотрубку и в результате этого вступающих в контакт с ней для образования поочередно четырех дополнительных электропроводящих цепей.

Способ получения проводящих сетчатых микро- и наноструктур и структура для его реализации // 2593463
Изобретение относится к микро- и наноструктурированным покрытиям, применяемым, в частности, в области оптически прозрачных проводящих покрытий. Технический результат - эффективное формирование проводящей структуры сетчатой формы, обеспечивающей функцию прозрачных проводящих покрытий, на поверхности обрабатываемой подложки на этапе формирования отсоединяемого проводящего слоя, а также посредством перенесения указанного проводящего слоя на обрабатываемую подложку, являющуюся итоговым носителем сетчатой проводящей структуры.

Способ получения полиэфироспиртов // 2591208
Настоящее изобретение относится к способу получения простых полиэфироспиртов путем реакции друг с другом следующих исходных компонентов: a) одного или нескольких алкиленоксидов и при необходимости диоксида углерода, а также b) одной или нескольких стартовых субстанций с водородной функциональностью, в присутствии катализатора, с образованием жидкой реакционной смеси, в реакционной единице (1), отличающийся тем, что в реакционной единице (1) имеются внутренние устройства (2), которые формируют множество микроструктурированных каналов для потока, вызывающих многократное разделение жидкой реакционной смеси на отдельные потоки, текущие по своим траекториям, и повторное воссоединение их в измененном порядке, причем многократное разделение и повторное воссоединение повторяют от 10 до 10000 раз, и причем микроструктурированные каналы для потока имеют характерный размер, который определяется как максимально возможное расстояние от одной произвольной частицы жидкой реакционной смеси до ближайшей к частице стенки канала для потока, в пределах от 20 до 10000 мкм, и таким образом профиль потока жидкой реакционной смеси через микроструктурированные каналы для потока от параболического приближается к идеальному пробкообразному потоку, причем внутренние устройства (2) представляют собой реакционные пластины (2), причем две или более реакционные пластины (2), размещенные параллельно друг над другом в направлении главного потока через реакционную единицу (1), в каждом случае образуют реакторный модуль (3), причем реакционная единица (1) содержит один или несколько реакторных модулей (3), и причем каждая реакционная пластина (2) содержит множество прорезей с постоянной или переменной шириной (4), которые расположены параллельно друг другу, под углом α, отличным от нуля, к направлению главного потока, а непосредственно соседствующая реакционная пластина (2) содержит множество соответствующих в геометрическом смысле прорезей (4), которые расположены под тем же углом α, но с противоположным знаком, и причем прорези (4) всех расположенных друг над другом реакционных пластин (2) формируют канал для потока.
Способ защиты углов трёхмерных микромеханических структур на кремниевой пластине при глубинном анизотропном травлении // 2582903
Использование: для изготовления трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине. Сущность изобретения заключается в том, что способ защиты углов трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (100) при глубинном анизотропном травлении в водном растворе гидрооксида калия KОН включает формирование масочного рисунка с элементами защиты углов, примыкающими к исходной части топологической маски вблизи точки пересечения сторон защищаемого чипа или трехмерной микроструктуры на пластине и продолжающимися за пределы исходной части маски, при котором для защиты выпуклых углов чипа или трехмерной микроструктуры формируют масочный рисунок с элементами Т-образной формы, содержащей продольную и поперечную части, причем травление проводят до тех пор, пока кремниевые элементы, сформированные в области маски защиты углов, не стравятся в процессе анизотропного химического травления до границы исходной топологической области жесткого центра микромеханической структуры, продольные части двух соседних Т-образных элементов защиты перпендикулярны друг другу, причем размеры изготовляемых трехмерных микромеханических структур определяют из определенных условий.

Матричный датчик давления // 2570840
Изобретение относится к устройствам полимерной электроники, в частности к матричным устройствам для преобразования давления в электрический сигнал. Матричные датчики давления используются для определения формы предметов, воздействующих на датчик, и могут использоваться в робототехнике, медицине, при автоматизации производственных процессов.

Способ изготовления герметизированной конструкции // 2568947
Изобретение относится к изготовлению герметичных конструкций, образующих микроэлектромеханические системы. Способ создания герметичного уплотнения внутри первой композитной пластины типа кремний-изолятор, используемой для изготовления герметичной конструкции, включает следующие операции: структурирование первой кремниевой пластины для формирования одного или более углублений, проходящих по меньшей мере на часть толщины первой кремниевой пластины, заполнение единственного или каждого углубления материалом-изолятором, пригодным для прикрепления к кремнию посредством анодного соединения с формированием первой композитной пластины, имеющей множество интерфейсов кремний-изолятор и первую контактную поверхность, состоящую из материала-изолятора, и применение к первой и второй контактным поверхностям технологии анодного соединения для создания герметичного уплотнения в интерфейсах кремний-изолятор первой композитной пластины, причем вторая контактная поверхность состоит из кремния.

Исполнительный механизм, оптический сканер и устройство формирования изображения // 2566738
Изобретение относится к электрофизике. Технический результат состоит в снижении момента инерции во время колебания.

Оптический модулятор // 2563120
Изобретение относится к области обработки информации, в частности к конструкции оптических модуляторов. Техническими результатами являются уменьшение мерцания изображения и экономия энергии.

Микромеханический элемент // 2559032
Изобретения относятся к приборостроению, в частности к микромеханическому узлу, в особенности к регулируемому оптическому фильтру. Узел содержит первый приборный слой и второй слой подложки, по меньшей мере, частично прикрепленные друг к другу, причем приборный слой содержит ряд отражающих элементов, разделенных между некоторым числом неподвижных закрепленных отражающих элементов.
 
.
Наверх