Изобретение относится к области электронно-лучевой обработки и, в частности, касается автоматической электронной пушки с анастигматическим устройством и способа коррекции астигматизма электронного пучка для электронной пушки.
Изобретение относится к электронно-оптическим устройствам. Технический результат - расширение области применения фокусируще-отклоняющей системы для реализации различных технологических процессов обработки материалов электронным пучком.
Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и, в частности, к электромагнитным фильтрам, предназначенным для пространственного разделения пучков первичных и вторичных электронов. .
Изобретение относится к электромагнитам для отклонения и разделения пучка заряженных частиц и может быть использовано при вводе/выводе их в ускоритель. .