Устройства для направления или отклонения разряда вдоль требуемого пути (H01J37/147)
H Электричество(232322)
H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники H01T; дуговые лампы с расходуемыми электродами H05B; ускорители элементарных частиц H05H)
(10498)
H01J37 Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки (H01J33,H01J40,H01J41,H01J47,H01J49 имеют преимущество; исследование или анализ поверхностных структур на атомном уровне с использованием техники сканирующего зонда G01N13/10, например растровая туннельная микроскопия G01N13/12; бесконтактные испытания электронных схем с использованием электронных пучков G01R31/305; детали устройств, использующих метод сканирующего зонда вообще G12B21)
(805)
H01J37/147 Устройства для направления или отклонения разряда вдоль требуемого пути (линзы H01J37/10)(4)
Изобретение относится к области электронно-лучевой обработки и, в частности, касается автоматической электронной пушки с анастигматическим устройством и способа коррекции астигматизма электронного пучка для электронной пушки.
Изобретение относится к электронно-оптическим устройствам. Технический результат - расширение области применения фокусируще-отклоняющей системы для реализации различных технологических процессов обработки материалов электронным пучком.
Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и, в частности, к электромагнитным фильтрам, предназначенным для пространственного разделения пучков первичных и вторичных электронов. .
Электромагнит для управления пучком (варианты) и способ управления пучком с его использованием // 2222122
Изобретение относится к электромагнитам для отклонения и разделения пучка заряженных частиц и может быть использовано при вводе/выводе их в ускоритель. .
