Устройство для климатических испытаний полупроводниковых приборов

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КЛИМАТИЧЕС КИХ ИСПЫТАНИЙ ПОЛУПРО.ВОдаИКОВЬр( ПРИБОРОВ , например интегральных схем в. спутниках;-носителях, содержащее рабо чую камеру с расположенным в ней пэанспортирукщим накопительным бара баном с пазами для спутников-носи телей и соединенным с приводом тран спортирующей каретки, загрузочный и разгрузочный магазины для загрузки и выгрузки приборов из накопительного барабана, контактное устройство для измерения параметров приборов, о т лич.ающееся тем, что, с це лью расширения сортамента испытуемых приборов, одна из кареток слабжена выполненными на ее)боковых направляю щих выступами с отверстиями, в которых жестко закреплены тяги, соеди неннь1е с приводом возвратно-посту пательного перемещения кареток, а в боковых направляющих других кареток выполнены вырезы, посредством крто рых эти каретки .коаксиально размеще ны на направляющих выступах внутрен с. ней каретки и подпружинены относи (Л тельно HXj при этом каретки уст;щов« лены с возможностью поочередиого перемещения относительно друг друга.

СВОЗ СОЮЕТСНИХ

РЕСПжЛИН .

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИ"-ГЕТ AO ИЭОВРЕТЕНИЯМ И OTHPbFA6IM

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (51)5 Н 01 L 21/66

- I (21) 3343715/25 (22) 05 10,81 (46) 1 5 02»91 Бюл 1! - 6 (72):r.È Зубарев и В И Кононов (53) .621»382(088»8) (56) Оборудование. для производства полупроводниковых диодов и триодов, нод редакцией Иасленникова П Н,.И,.

Энергия, !970, стр» 145»

Авторское свидетельство СССР

Р 565339, кл, Н 0! L 2!./66, 1977, (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КПИИАТИЧЕСКИХ ИСПЫТАНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЬ К ПРИ»

БОРОВ, например интегральных схем в.. спутниках-нОсителях, содержащее раба чую камеру с расположенным в ней транспортирующим накопительным бара жбаном с пазами для спутников-носи» телей и соединенным с приводом транспортирующей каретки, загрузочный

Предлагаемое изобретение относит-. ся х области полупроводникового производства, и в .частности предназначе но для использования в камерах для климатических испытаний различных типоразмеров интегральных схем (ИС} . в спутниках с последующим измерением их электрических параметров °

В полупроводниковом производстве программа выпуска интегральных схем (ИС) разных типоразмеров различна, В разные периоды времени выпускают интегральные схемы типоразмеров, ко торые требуются. закаэчику, В coovae ствни с этим для испытаний выпускае-. мых ИС требуются камеры, выполненные„„SU„;, 1018550 А 1

2 и разгрузочный магазины для загрузки и выгрузки приборов из накопительного барабана, контактное устройство для измерения параметров приборов, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с це лью расширения сортамента испытуемых приборов, одна из кареток снабжена выполненными на ее,боковых направляющих выступами с отверстиями, в которых жестко закреплены тяги,- соединенные с приводом возвратно-посту пательного перемещения кареток, а в боковых направляющих других кареток выполнены вырезы, посредством кото» рых этн каретки коаксиально размещены на направляющих выступах внутрен ней каретки и подпружинены относи тельно их» при этом каретки установ» лены с возможностью поочередного перемещения относительно друг друга ° конструктивно с возможностью испыта ния ИС различных типоразмеров

Известна установка для климатичес ких испытаний: полупроводниковых приборов, содержащая основания, рабочую камеру, загрузочное и разгрузочное устройства для загрузки и выгрузки

I приборов из камеры транспортирую щий механизм для перемещения прибо .ров к измерителю, Недостатки этой установки заключаются в том, что транспортное уст» ройство.имеет малую емкость, и, как следствие, невысокую производительность ° Кроме того, эта установка

1018550 предназначена для испытаний прибо ров одного типоразмера, Наиболее близким техническим решением к предлОженному является уст». ройство для климатических испытаний

5 полупроводниковых приборов, содержащее рабочую камеру с расположенным в ней транспортирующим накопительным барабаном с пазами для спутников- 10 носителей и соединенным с приводом транспортирующей каретки, загрузочный и разгрузочный магазины для за грузки и выгрузки приборов из накопительного барабана, контактное устройство. для измерения параметров приборов °

Недостатком данного устройства является то, что его конструкция не позволяет проводить испытания при» 20 боров различных типоразмеров, поскольку все узлы камеры выполнены таким образом, что они предназначены для испытаний приборов только лишь одного определенного типоразмера» 25

Кроме того, недостатком данного устройства является также сложность его конструкции, обусловленная кали» чием сложных кинематических связей каждой каретки с приводом их перемещения, Цель изобретения - расширение сор

f тимента испытуемых приборов»

Поставленная цель достигается тем, что в предлагаемом устройстве.для кли. матических испытаний,полупроводниковых приборов, например, интегральных схем в спутниках-носителях, содержащем рабочую камеру с расположенными в ней транспортирующим накопительным барабаном с пазами для спутников-носи" телей и соединенным с приводом. транспортирующей каретки, загрузочный и разгрузочный магазины для загрузки и выгрузки приборов из накопитель- 45 ного барабана,.контактное устройство для измерения параметров приборов, одна из кареток снабжена выполнен ными на ее боковых направляющих выступами с отверстиями, в которых жестко закреплены тяги, соединенные с приводом возвратно поступательного перемещения кареток, а в боковых направляющих других кареток выполнены вырезы, посредством которых эти карет„55 ки коаксиально размещены на направляю" щих выступах внутренней каретки и подпружинены относительно их, при этом каретки установлены с возмож ностью поочередного перемещения относительно друг друга, На фиг, 1 изображено устройство для климатических испытаний полупро водниковых приборов, общий вид; на фиг» 2 - предлагаемое устройство в разрезе, общий вид; на фиг,3 каретки предлагаемого устройства в разобранном состоянии; на фиг 4 » сечение A-А",на фиг» 5 8 II - положение спутников во время перемещения кареток к контактному устройству; на фиг» 6 - сечение Б-Б;на фиг, 7вид В, на Фиг»9 .- сечение Р-Г; на фиг.10 — вид Д; на фиг. 12 — сечение

Е-Е; на фиг 13 - вид Ж, Предлагаемое устройство для климатических испытаний полупроводниковых приборов, в данном случае интеграль» ных схем, помещенных в спутник, содержит рабочую камеру 1 (см фиг;1, 2), расположенный в ней транспортирующий накопительный барабан 2 (фиг ° 1,2) с пазами 3-5 для приборов и соединенные с приводом 6 каретки

7 9 (фиг. 1 и 2), имеющие соответствующие им пазы 10-12 (Фиг ° 1,2,3) для приборов с боковыми направляю щими 13-15„контактное устройство !6, магазины загрузки 17 и разгрузки 18 (фиг 1 и 2) °

Каретка 7 снабжена, выполненными на ее боковых направляющих 13 высту пами 19 с отверстиями 20, в которых жестко закреплены тяги 21, соединен ные с приводом 6 перемещения кареток, в которые установлены спутники 22 (см» фиг ° 1,2,4). К каретке 7 крепит ся отсекатель 23, удерживающий столб приборов в барабане 2 со время перемещения кареток к контактному устрой ству 16 ° Паз 10 каретки 7 выполнен для прохождения интегральных схем, помещенных в спутники 22 малых габа ритов(28,8Х19,5 мм). В боковых направляющих 14 и 15 соответствующих пазов 11 и 12 кареток 8 и 9 выполне ны вырезы 24 и 25 (см, фнг,l, 3),по средством которых каретки 8 и 9 ко» аксиально размещены на выступах 19 каретки 7 в следующей последователь» ности: каретка 8 охватывает 1 аретку

7, каретка 9 охватывает каретку.8»

Каретки 8 и 9 подпружинены относи тельно выступов 19 с помощью двух пар пружин 26 и 27., установленных в вырезах 24 и 25 (фиг,4) .

5 101855

Паз 11 каретки 8 выполнен дпя про хождения интегральных схем, помещенных в спутник 28 средних размеров (32х32 мм), а паэ 12 каретки 9 - для прохождения интегральных схем, поме щенньгх в спутник 29 больших размеров (51 х51 мм 1,Пазы 10-12 кареток 7 9 в момент коаксиального размещения последних соответствуют пазам 3,.4 н 5 барабана 2, образуя единый транспортный тракт Так, паз 1О соответствует пазу 3 барабана 2, паз 11 соответствует пазу 4 барабана 2, а паз 12 соответствует пазу 5 барабана 2.

В основании барабана 2 установлены диск 30, плита 31, в которой закреплены отсекатели 32-34 ° Каретка 9 в боковых направляющих 15 имеет про ушину 35 с отверстиями 36 и 37»

Сквозь отверстия 36 каретки 9 проходят тяги 21, которые затем соединяют ся с приводом 6 перемещения кареток (cM фиг ° 1,2,-3,4) Сквозь отверс- 25 тия. 37 проходят неподвижно закреп»: ленные на плите 38 камеры 1 две оси

39, вдоль которых перемещается ка ретка 9 (см, фиг.1,4}.

В магазине загрузки 17 выполнены 30 пазы 40»42 а в магазине разгрузки 18 выполнены пазы 43-45, аналогичные лазам 3-5 в транспортном накопительном барабане:2 При этом паз 40 магазина загрузки 17 и паз 43 магазина разгрузки 18 соответствуют пазу 3 ба рабана-2 и пазу. 10 каретки 7, паз 41 магазина загрузки 17 и паз 44 магази на разгрузки..18 соответствуют пазу

4 барабана 2 и пазу 11 каретки 8, @) . паз 42 магазина загрузки 17 и паэ 45

1 магазина разгрузки 18 соответствуют пазу 5 барабана 2 и пазу 12 каретки 9 (eM> фиг 1, 2).

Магазин разгрузки 18 крепится к пластине 46, вдоль которой каретки перемещают спутники на позицию контак тирования и затем, при обратном ходе кареток, на позицию разгрузки, Пластина 46 имеет под отсекателя ми 32 34 отверстия 47 49 по форме спутников и крепится к плите 38, на которой закреплено контактное устройство 16. В пластине 46 над магазином

1 разгрузки 18 установлены заслонки 50 и 51, в каждой из которых выполнены отверстия 52 и 53 по форме отверстий

48 и 49 пластины 46

О. 6

При испытании ИС в спутниках малых размеров заслонки 50 и 51 установле ны так, что они перекрывают пазы 44 и 45 магазина разгрузки 18 и отверс» тия 48 и 49 пластины 46 (см, фнг,1, 2,5,7).

При испытании ИС в спутниках сред них размеров заслонка 51 установлена так, что она перекрывает паз 45 магазина разгрузки 18 и отверстия 49 плас тины,46, а заслонка 50 установлена так, что ее отверстие 52 совмещено с пазом 44 магазина разгрузки 18 и отверстием 48 пластины 46 (см, фиг,8,11).

При испытании ИС в спутниках боль ших габаритов заслонка 51 установлена так, что ее отверстие 53.совмеще но с пазом 45 магазина разгрузки 18 и отверстием 49 пластины 46 (cM, фиг 11,13), Работа предлагаемого устройства происходит следуюшим образом, Приборы, представляющие. собой интегральные схемы в спутниках носителях, ориентированно эагружаюгся в . соответствующий определенному раэме» ру спутника паэ магазина загрузки 17, Иэ магазина загрузки 17 приборы по» ступают в один из пазов 3 5 тран» спортирующего накопительного бараба на.2. При этом приборы попадают в паэ барабана, который соответствует размеру спутника с размещенной в нем ИС

Так, ИС в спутниках малых размеров попадают из паза 40 магазипа загруз» ки 17 в паз 3 барабана 2, ИС в спут никах средних размеров иэ паза 41 ма газина загрузки 1? в паэ 4 барабана

2; ИС в спутниках больших размеров попадают иэ и;за 42 магазина загруз» ки 17 в паз 5 барабана:2

После заполнения на позиции за грузки одного из пазов 3-5 бараба на 2 приборами определенного типораз мера происходит поворот барабана на один шаг при помощи привода шаго» вого вращения 54, и на позицию загрузки приходят следующие свободные пазы. Таким образом, по мере поворо» та. барабана 2 загруженные в его па зы 3-5 приборы перемещаются в зону контактирования Время с момента загрузки прибора до подачи его на пози" цию контактирования равно времени вы» держки приборов в устройстве для кли матических испытаний

Достигнув позиции контактирования, паз 3 барабана 2 совмещается с пазом

1018550

l0 каретки 7, паз 4 барабана 2 совме" щается с пазом 11 каретки 8, паз 5 барабана-2 совмещается с пазом 12 кареФки:9, После этого производится подача приборов в спутниках к кон-.. тактному устройству, При испытаниях приборов в спутни-." . ках малых размеров подача их к контактному устройству происходит следую-10 щим образом. Интегральные схемы в спутниках 22 малых размеров находятся в пазу 3 барабана 2. При совмещении паза 3 барабана 2 с пазом !О каретки 7. прибор переходит в каретку 7 и удерживается в ней отсекателем 32. Затем включают привод 6 перемещения ка реток,перемещающий в сторону контактного устройства 16 тяги 21, на которых перемещаются однсвременно все три каретки вдоль осей 39, При перемещении кареток спутник 22 снимается кареткой 7 с отсекателя 32 и попадает на поверхность пластины . 46, вдоль которой каретками перемещается на по- 25 зицию контактирования, а оставшиеся спутники в пазу 3 барабана 2 удержи-; ваются отсекателем 23 (фиг,5), Такое перемещение трех кареток продолжается до тех пор, пока торцовая поверх- -.О ность каретки 9 не достигнет плиты

38, В этот момент каретка 9 останавливается. При этом привод б продолжает перемещать в том же направлении тяги 21, которые перемещают каретки

7 и 8, заставляют сжиматься прулн ну

26 в вырезе 25 каретки 9; Перемещение кареток .7 и 8 происходит до тех пор, пока торцовая поверхность каретки 8 не достигает плиты 38. В этот момент останавливается каретка 8. Привод б продолжает перемещать тяги 21, которые перемещают каретку 7, заставляя сжиматься пружину 27 в вырезе 24 каретки 8. При этом происходит перемеще. ние каретки 7 до тех пор, пока ее торцовая поверхность не достигнет плиты 38, При этом каретка 7 подает прибор к контактному устройству 16 (см.,фиг.б),, В этот момент выключается прйвод 6 перемещения кареток и производится замер электрических параметров прибора.

При обратном ходе кареток, в положении разгрузки, паз 10 каретки 55

7 совмещается с отверстием 47 пластиHbl 46 и пазом 43 магазина разгрузки.18. После совмещения спутник 22 из каретки 7 через магазин разгрузки 18 выгружается в соответствующий бункер (на фиг. не показано), а следующий спутник 22 из паза 3 барабана 2 загружается в паз 10 каретки 7 и удерживается в ней отсекателем 32., Затем включается привод 6 и выше описанные операции повторяются.

Подача к контактному устроиству 16 ! интегральных схем в спутниках 28 средних габаритов происходит следующим образом (см. фиг,8 и 9).

Интегральные схемы в спутниках средних размеров находятся в пазу

4 барабана 2, При совмещении паза 4 барабана 2 с пазом 11 каретки B прибор переходит в каретку 8 и удерживается в ней отсекателем 33. Затем включают привод б, заставляющий двигаться в сторону. контактного устройства 16 тяги 21 на которых перемещаются одновременно три каретки вдоль .осей 39.

При перемещении кареток спутник 28 снимается кареткой 8 с отсекателя 33, попадает.на поверхность пластины 46, по которой перемещается на позицию контактирования, а оставшиеся спутники в пазу 4 барабаня ? удерживаются отсекателем 23 (.Ьиг. ). В тот момент, когда торцовая поверхность каретки 9 достигнет плиты 38, эта каретка останавливается. При этом привод 6 продолжает перемещать в тсм же направлении тяги 21, которые перемещают каретки 7 и 8, заставляя сжиматься пружину 26 в вырезе 25 каретки 9. Перемещение кареток 7 и 8 происходит до тех пор, пока торцовая поверхность каретки 8 не достигнет плиты 38, при этом каретка 8 подает прибор к контактному устройству 16, каретка 8 останавливается. Привод 6 продолжает, перемещать тяги 21, которые перемещают каретку 7, заставляя сжиматься пружину 27 в вырезе 24 каретки 8. Перемещение каретки 7 происходит до тех пор, пока ее торцовая поверхность не упрется в спутник 28, дополнительно фиксируя его на позиции контактирования (фиг. 9). После этого включают привод 6 и производят замер электрических параметров прибора. При обратном ходе кареток в положение разгрузки паз 11 каретки 8 совмещается с отверстием 48 пластины 46> . отверстием 53 заслонки 51 и пазом 44 магазина/разгрузки18. После совмещения спут" ник 28 из каретки 8 через магазин разгрузки 18 выгружается в соответствую9

1О1 щий бункер (на фиг. не показано),а следующий, спутник 28 из паза 4 барабана 2 переходит в паз 11 каретки 8 и удерживается в ней отсекатепем 33.

Затем включается привод 6 и вышеописанные операции повторяются.

Подача к контактному устройству

16 интегральных схем в спутниках 29 больших габаритов происходит. следующим образом.

Интегральные схемы в спутниках больших габаритов находятся в пазу 5 барабана 2. При совмещении данного паза 5 с пазом 12 каретки 9 прибор переходит в каретку 9 и удерживается в ней отсекателем 34. Затем включаюг . привод 6, заставляющий двигаться ,в сторону контактного устройства .16 тяги 21, которыми перемещают одновременно три каретки вдоль осей 39. При перемещении каретак спутник 29 снимается кареткой 9 с отсекателя 34 и понадает на поверхность пластины 46, по которой каретками перемещается на позицию контактирования, а оставшиеся спутники .в nasy 5 барабана 2 удерживаются отсекателем 23 (фиг.11 ). .Это неремещейие продолжается до тех пор, пока каретка 9 своей торцовой поверхностью не достигнет плиты 38,подавая прибор к контактному устройству 16Ä

Каретка 9 останавливается, При этом привод 6 продолжает перемещать в том же направлении-тяги 21, которые перемещают каретки 7 и 8, заставляя сжиматься пружину 26 в пазу 25 каретки 9. Перемещение хареток 7 и 8 про8550 10 исходит до тех пор, пока торцовая поверхйость каретки 8 не упрется в спутник 29, дополнительно фиксируя

5 его на позиции контактирования. Привод б продолжает перемещать тяги 21, которые .перемещают каретку 7,. заставляя сжиматься пружину- 27 в пазу каретки 8. Перемещение каретки 7 происходит до тех пор, пока каретка не упрет-. ся в торец выреза 24 каретки 8. Каретка 7 останавливается. После этого выключается привод 6 и призводится замер электрических парметров при15. бора. При обратном ходе кареток в положение разгрузки паз 12 каретки 9 совмещается с отверстием 49 пластины . 46 и отверстием 53 заслонки 51, и спутник 29 через паэ 45 магазина раз20 грузки 18 выгружается в соответствующий бункер (на фиг. не показано), а следующий спутник 29 из паза 5 барабана 2 переходит в .паз 12 каретки 9 и удерживается в ней отсекателем 34.

25 Включается привод б и вышеописанные операции повторяются.

Преимуществом предлагаемого устройства для климатических испытаний полупроводниковых приборов по сравнению

311 с известными является его универсальность, т.е. конструкция предлагаемого устройства обеспечивает возможность испытания приборов различных типоразмеров без переналадки устройства. Кроме того, предлагаемая конструкция

35 более компактна, проще в изготовлении, удобнее в эксплуатации и надежна в работе.

1018550

l0)&550

10I8550

ionia>so

1018550

Редактор М. Ленина Техред Л.Олийнык Корректор Т. Палий

Ф Ф ЮЮ «Ф «ФМВ

Подписное

Тираж 361

Заказ 770

ВНИКПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям п,:и ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,. Гагарина, 101