Устройство автоматического регулирования плотности тока в конвейерной линии гальванического осаждения металла

 

УСТРОЙСТВО АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПЛОТНОСТИ ТОКА В КОНВЕЙЕРНОЙ ЛИНИИ ГАЛЬВАНИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛА, содержащее бесконтактный датчик плотности тока, деталь-свидетель , блок переработки сигналов датчика и блок регулировки плотности тока, отличающ е е с я тем, что, с целью повышения точности регулирования, оно снабжено транспортирующим механизмом , установленным параллельно конвейерной линии, причем деталь-свидетель расположена на транспортирующем механизме и. выполнена в виде фотошаблона/ а указанный датчик в виде фотосчитывающего блока.

(lSl (И) SU

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

3(5р С 25 В 21/12

ОПИСАНИЕ ИЗОЕРЕТЕНИП

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3588567/22-02 (22) 28.04.83 (46) 23.06.84. Бюл. 9 23 (72) Ф.П.Галецкий и Э.И.Сандлер (53) 621.357.77(088.8) (56). 1. Авторское свидетельство СССР

9 565080., кл. С 25 33 21/12, 1975.

2. Патент Великобритании

В 1602513, кл . С 7 В, 1981. (54)(57) УСТРОЙСТВО АВТОМАТИЧЕСКОГО

РЕГУЛИРОВАНИЯ ПЛОТНОСТИ ТОКА В КОНВЕЙЕРНОЙ ЛИНИИ FAJIbBAHH×ÅÑÊÎÃO ОСАЖ"

ДЕНИЯ МЕТАЛЛА, содержащее бесконтактный датчик плотности тока, деталь-свидетель, блок переработки сигналов датчика и блок регулиров- ки плотности тока, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности регулирования, оно снабжено транспортирующим механизмом, установленным параллельно конвейерной линии, причем деталь-свидетель расположена на транспортирующем механизме и выполнена в виде фотошаблона, а указанный датчик в виде фотосчитывающего блока.

Изобретение относится к гальвано технике и может быть использовано для управления технологическими процессами на автоматизированных и полуавтоматизированных линиях нанесения гальванических покрытий, 5 в частности при производстве печат ных плат.

Известно устройство для регулирования плотности тока в гальванической ванне, содержащее бескоитакт- 30 ный датчик плотности тока, детальсвидетель, блок переработки сигналов датчика, блок регулировки плот- ° ности тока, регулируемый источник тока (1) . 15

Однако в этом устройстве детальсвидетель необходимо периодически менять, так как ее поверхность быстро обрастает слоем металла покрытия и становится рыхлой, что вносит погрешность при поддержании заданной средней плотности тока.

Кроме того, работа устройства значительно усложняется необходимостью поддержания постоянного гарантированного зазора между датчиком и деталью-свидетелем, являющегося важным фактором, обеспечивающим точность измерений.

Наиболее близким к изобретению является устройство автоматического регулирования плотности тока в ванне конвейерной линии гальванического осаждения металла, содержащее бесконтактный датчик плотности тока, деталь-свидетель, блок перера- 35 ботки сигналов датчика и блок регулировки плотности тока. В качестве датчика используется подпружиненный стержень (деталь-свидетель1, который перемещается по опре- 40 деленному копиру, изготовленному с учетом площади рисунка покрытия ,по специально разработанной программе (2) .

Недостатками известного устройства являются ограниченная прецизионность процесса регулирования плотности тока из-эа дискретности .процесса управления и трудоемкость разработки программ для каждого рисунка слоя платы и изготовления по этим программам копиров.

Цель изобретения — повышение точности регулировании.

Поставленная цель достигается тем, что устройство автоматического регулирования плотности тока в ванне конвейерной линии гальванического осаждения металла, содержащее бесконтактный датчик тока, детальсвидетель, блок переработки сигна- 60 лов датчика и блок регулировки плотности тока, снабжено транспортирующим механизмом, установленным параллельно конвейерной линии, причем .деталь-свидетель установлена на á5 транспортирующем механизме и выпол иена в виде фотсыаблона, а укаэанный датчик — в виде фотосчитывающего блока.

На фиг. 1 приведена схема предлагаемого устройства, вид сверху; на фиг. 2 — то же, вид сбоку. . Устройство состоит из неподвижно закрепленного вне гальванической ванны фотосчитывающего блока 1, детали-свидетеля 2 в .виде фотсшаблона слоя платы, размещенной на транспортирующем механизме 3, ведущего вала 4, общего для механизма 3 и конвейерной линии в ванне, блока 5 переработки сигналов фотосчитывающего устройства и блока регулировки плотности тока б.

Механизм 3 с фотсшаблонами проходит через приемное окно фотосчитывающего блока 1. Скорость движения конвейерной линии с заготовками слоев платы в ванне между катодом и анодом равна скорости движения механизма 3 с фотошаблоном. Шаг размещения заготовок слоев платы на конвейере равен шагу размещения фотошаблонов на носителе. Размер анода в плате меньше размера катода с целью получения равномерного поля. Ширина анода и приемного окна в устройстве считывания одинаковы.

При наладке устройства выставляют рисунок слоя фотошаблона на заданном расстоянии а относительно приемного окна, а рисунок слоя на заготовке на расстоянии а + Д относительно анода, где g — величина, учитывающая инерционность срабатывания электронной системы регулирования плотности тока.

Устройство работает следующим образомм.

При движении конвейера с заготовками слоя, имеющими маску из Фоторезиста, и механизма 3 с деталямисвидетелями (фотскааблонами) 2 в каждый момент времени в ванне между анодом и катодом, а также в приемном окне фотосчитывающего блока 1 фиксируются идентичные фрагменты рисунка одного и -ого же слоя.

Фотосчитывающий блок 1 фиксирует изменение площади фрагмента ри.сунка слоя на фотошаблоне 2 в ви де соответствующего изменения сигналов тока, которые поступают в блок 5 пе-. рера.ботки сигналов, а затем в. блок регулировки плотности тока б в гальванической ванне.

Изменение площади фрагмента рисунка на фотошаблоне соответствует изменению плотности тока в ванне, благодаря чему все фрагменты рисунка слоя на заготовке получаются с одинаковойй т олщи ной .

109 B979

Фиг. Г

Составитель С. Пономарев

Техред A. Кикемезей Корректор И. Муска

Редактор Н.Джуган

Заказ 432б/23 Тираж 633. Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4

Технико-экономические преимущества изобретения заключаются в уменьшении трудоемкости процесса регулирования плотности тока ванны за счет исключения таких работ, как составле.ние программ обработки на каждый 5 ,индивидуальный рисунок печатной схема слоя платы, снижении стоимос-! ти процесса за счет исключения дорогостоящего вычислительного оборудования и увеличении прецизионности регулирования плотности тока за счет бесступенчатости процесса управления по сравнению с дискретным управлением при использовании известного устройства.