Колесо турбомолекулярного вакуумного насоса

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1222898 (511 4 F 04 D 19 04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР 1

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ Я/

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ J:--::,, g

К А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 380249!/25-06 (22) 18.10.84 (46) 07.04.86. Бюл. № 13 (71) МВТУ им. Н. Э. Баумана (72) К. Е. Демихов (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 985446, кл. F 04 D 19/04,,1981. (54) (57) КОЛЕСО ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА, содержащее диск с лопатками, образующими межлопаточные каналы, отличающееся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, межлопаточные каналы в окружном направлении имеют поочередно постоянную и переменную ширину.

1222898

Составитель В. Кряковкин

Техред И. Верес Корректор А. Тяско

Тираж 586 Подлисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент>, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор H. Бобкова

За каз 1689/35

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик колеса турбомолекулярного вакуумного насоса.

На фиг.1 представлено колесо, общий вид; на фиг.2 — сечение А — А на фиг.1.

Колесо турбомолекулярного вакуумного насоса содержит диск 1 с лопатками 2, образующими межлопаточные каналы 3 и 4, которые в окружном направлении имеют поочередно постоянную и переменную ширину.

При работе насоса колесо устанавливается на валу турбомолекулярного насоса, образуя вместе с ним ротор. При вращении ротора молекулы откачиваемого газа взаимодействуют с боковыми стенками лопаток 2 и проходят по межлопаточным каналам как в направлении откачки, так и в обратном направлении. При этом величина потока молекул в направлении откачки превышает величину потока в обратном направлении, что обусловливает эффект откачки газа, причем соотношение этих потоков и их разность характеризуют степень сжатия и быстроту действия колеса как одной ступени турбомолекулярного вакуумного насоса, т. е. откачные характеристики колеса. Быстрота действия и степень сжатия зависят от отношения ширины канала к его длине, причем

10 с повышением этого соотношения степень сжатия уменьшается, а быстрота действия сначала растет, а затем падает, т. е. имеет место максимум быстроты действия при некотором отношении ширины канала к его длине. Поэтому применение в одном колесе каналов с переменной шириной, возрастающей по радиусу, и постоянной шириной позволяет получить большие значения быстроты действия и степени сжатия, т. е. улучшить откачные характеристики колеса.