Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей

 

Изобретение относится к области измерительной техники и может использоваться при производстве и контроле крупногабаритных оптических деталей. Целью изобретения является упрощение конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повьшение производительности контроля путем устранения .необходимости нанесения зеркального покрытия на поверхность детали. Излучение от источника поступает -через телескопическую систему на светоделитель , делящий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь, другой - в рабочую, в которой расположены объектив, вогнутое зеркало и контролируемая деталь. Поток, выходящий из объектива, отражается от поверхности вогнутого зеркала , падает на контролируемую деталь и, отразившись от нее, повторяет свой путь в обратном направлении, .Лучи света, образованные потоком, отраженным от эталонной поверхности плоского зеркала, интерфериру1от с лучами, выходящими из рабочей ветви. По виду интерференционной картины регистрируемой системой судят о качестве контролируемой поверхности. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. I (Л с iNd а о Эд

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (51)4 С 01 В 11 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н Д ВТОРСКОМ,К СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3? 49318/24-28 (22) 05.06.84 (46) 30.09.86, Бюл. № 36 (71) МВТУ им. Н.З.Баумана (72) Д.Т.Пуряев и А.М.Романов (53) 531.715.1(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ t49910, кл. С 01 В 9/02, 1969. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к области измерительной техники и может использоваться при производстве и контроле крупногабаритных оптических деталей.

Целью изобретения является упрощение конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повышение производительности контроля путем устранения . необходимости нанесения зеркального покрытия на поверхность детали. Излучение от источника поступает через телескопическую систему на светоделитель, делящий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь, другой — в рабочую, в которой расположены объектив, вогнутое зеркало и контролируемая деталь.

Поток, выходящий из объектива, отражается от поверхности вогнутого зеркала, падает на контролируемую деталь и, отразившись от нее, повторяет свой путь в обратном направлении.

Лучи света, образованные потоком, отраженным от эталонной поверхности плоского зеркала, интерфериру1от с лучами, выходящими из рабочей ветви.

По виду интерференционной картины регистрируемой системой судят о качестве контролируемой поверхности.

1 з.п. ф-лы, 2 ил.

1260676

Изобретение относится к измерительной технике и может использовать ся при производстве и контроле крупногабаритных оптических деталей.

Целью изобретения является упроще ние конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повышение производительности контроля путем устранения необходимости нанесения зеркального покрытия на поверхность детали.

На фиг. 1 схематически представлен интерферометр; на фиг. 2 — вариант выполнения объектива.

Интерферометр содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучения, телескопическую систему 2, светоделитель

3, делящий падающий на него поток на два, в одном из которых установле но эталонное плоское зеркало 4, в другом — объектив 5, вогнутое зеркало 6, регистрирующую систему 7, вогнутое зеркало 6 установлено за объективом 5 и ориентировано так, что его вогнутая поверхность обращена к объективу 5, объектив 5 выполнен в виде плосковогнутой линзы с асферической вогнутой поверхностью и ориентирован так, что вогнутая поверхность обращена к вогнутому зеркалу.

8 — контролируемая деталь. ь

Объектив 5 (фиг. 2) может быть выполнен в виде плосковогнутой и менисковой линз 9 и 10, плосковогнутая линза ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к выпуклой поверхности менисковой линзы 10, менисковая линза ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к вогнутому зеркалу.

Интерферометр работает следующим образом.

Излучение от источника 1 поступает через телескопическую систему 2 на светоделитель 3, делящий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь интерферометра, образованную плоским зеркалом

4, другой — в рабочую ветвь, в которой расположены объектив 5, вогнутое зеркало 6 и контролируемая деталь 8.

Поток, выходящий из объектива 5, отражается от поверхности вогнутого зеркала 6, падает на контролируемую деталь 8 и, отразившись от нее, по

1О

20

Формула

55

45 том повторяет свой путь в обратном направлении, т,е. выходит из объектива 5, отражается от светоделителя 3 и поступает в в регистрирующую систему 7. Лучи света, отраженные от эталонной поверхности плоского зеркала

4, иитерферируют с лучами, выходящиMH из рабочей ветви. Интерференционная картина регистрируется системой

7. По виду интерференционной картины судят о качестве контролируемой поверхности.

В случае применения объектива 5, выполненного в виде плосковогнутой линзы 9 и менисковой линзы 10, плоское зеркало 4 исключается из хода лучей, так как его роль выполняет плоская поверхность объектива 5. изобретения

1. Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучения, телескопическую систему и светоделитель, делящий падающий на него поток на два, в одном из которых установлено эталонное плоское зеркало, а в другом — объектив и вогнутое зеркало, и регистрирующую систему, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции интерферометра, расширения диапазона параметров контролируемых поверхностей и повышения производительности контроля, вогнутое зеркало установлено эа объективом и ориентировано так, что его вогнутая поверхность обращена к объективу, а объектив выполнен в виде плосковогнутой линзы с асферической вогнутой поверхностью и ориентирован так, что вогнутая поверхность обращена к вогнуто-. му зеркалу.

2. Интерферометр по п. 1, о т л ич а ю шийся тем, что объектив выполнен в виде плосковогнутой и менисковой линз, плосковогнутая линэа ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к выпуклой поверхности менисковой линзы, а менисковая линза ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к вогнутому зеркалу.

1260676

Составитель Н.Захаренко

Техред Л.Олейник Корректор О.Луговая

Редактор Н.Горват

Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 5214/36

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4