Устройство для измерения толщины слоя жидкости на поверхности твердого тела

 

А1

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„1272104

1 11 4 0 01 В 11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фиг.1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3856190/24-28 (22) 10.12,84 (46) 23.11,86, Бюл. 11 43 ,(71) Специальное конструкторское бюро средств аналитической техники (72) Ю.Ю,Билинец, И.И.Головач, В.Г.Кондратьева и В.А.Сызранов (53) 531,715.27(088,8) (56),Авторское свидетельство СССР

11 1024767, кл. G 01 В 11/06, 1981 °

Патент ФРГ 11 2412234, кл. G 01 В 11/06, 27.01.77. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛ-

ЩИНЫ СЛОЯ ЖИДКОСТИ НА ПОВЕРХНОСТИ

ТВЕРДОГО ТЕЛА (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретенияповьпцение точности измерения за счет учета погрешности, вносимой поглощением излучения парами жидкости, а также возможность калибровки устройства, Разделение сигналов на рабочий и опорный осуществляется синхронно с вводом в ход луча . отражающей пластины 2. Сигналы, снимаемые с регистрирующего узла 3, поступают на электронную схему обработки сигналов и затем на регистрирующий прибор, проградуированный в единицах тблщины измеряемого слоя жидкости. Для работы устройства в режиме калибровки в ход луча поочередно вводится покрытая поглощающим слоем 6 и отражающая часть пластины 2.

В качестве поглощающего на рабочей длине волны материала выбран материал с поглощением, эквивалентным поглощению слоя жидкости заданной толщины. Под пластиной 2 установлен подогреватель 4, который предотвращает конденсацию влаги на ее отражающей поверхности. Пластина выполнена из материала, имеющего коэффициент отражения, равный коэффициенту отражения твердого тела 5. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

127

Ф о Р М У J: Я

r;бg

Изобретение относится к Hзмерительной технике и может быть использовано, например, в полиграфической промышленности для измерения слоя увлажняющей жидкости на формнь1х цилиндрах,офсетных печатных машин.

Цель изобретения — повьшгение точности измерения за счет учета погрешности вносимой поглощением излуче-.

Р ния парами жидкости, а также возможность калибровки устройства,.

На фиг,1 изображена принципиальная схема устройсTBB для .. змерения толщины слоя жидкости ня поверхности твердого тела, на фиг, 2 — вид

А на фиг, 1, на фиг. 3 — сечение Б-В на фиг, 2.

Устроиство содержит источник 1 модулированного монохроматическогo излучения, отражающую пластину 2, регистрирующий узел 3 и э. †:Яктронную схему обработки сигналов (-re показана), И< точник излучения имеет длину волны, соответствующую области максимального поглощения жидкости„ НBпример полупроводниковый излучающий диод. Под пластиной 2 установлены подогреватель 4„ например кварцевая лампа, который предотвращает конденсацию влаги на отражающей по;= ðõíîсти пластины 2. Пластина 2 выполнена из материала, имеющего коэффициент отражения на длине волны источ -:икя ! излучения, равный коэффициенту отражения твердого тела 5. Иа части пластины 2 (фиг. 2 и 3) нанесен слой б материала, имеющегQ поглсщение,эквивалентное поглощение слоя эю-;,....,кости заданной толщины, Пластина 2 име-. ет воэможность периодичес;:Ого вводя

H ВЫВОДа ИЗ ХОЦа ЛУЧЕЙ ПРИ ГсгМОШИ

1 вибронривода (не показ ян,.

Устройство работае".- след!гюшим Образом.

ПотоК инфракрасной радиации От источника 1 излучения, попадя"-. Hà исследуемую пОверхнОсть тверцсГО те ла 5, проходит слои жидко=ти,, отража-. ется в точке С, вторично про:o, ròò слой жидкости H зятем няпрявлясгсяя (луч 1-) на регистрирующий узел 3.

При этом пластина 2 выдвинута и не попадает в ход луча. В это"..1 "л чяе имеет место ход луча по рабочему каналу, причем мощность излу гения, попадающего на регистрирующий узел 3, пропорциональна пропускаггию слоя жидкости на поверхности тверцо го те210, ла 5, пропусканию паров жидкости над исспедуемой поверхностью и коэффициенту отражения этой поверхности, Для cQÇäяния Опорного кяняля в последующий момент времени в ход луча от источника излучения при помоBIH вибропривОДЯ ввОДится плЯстина 2, При этом r.:àòîê радиации от источника 1 излучения попадает в точку

)О С отражающей части пластины 2, отражается от нее в направляется (луч

I) на регистрирующий узел 3„ .Мощность излучения. попадающего на регистрирующий узел 3, в этом случае пропорциональна пропусканию паров жидкости над исследуемой поверхность.о и коэффициенту отражения этой поверхности на длине волны источника

1 излучения. След эв атель но, разделение сигналов ня рабочий и опорный

Осуществля(тся сиэгхронно с вводом в ход луча пг(астины 2. Сигналы, снимяемые с регистрирующего узла 3,, поступают на электре Иную схему обработ-. ки сигналов и зятем на регистрирую= щий прибор„ прогрядуированнь1й в единицах толщины измеряемого слоя жид1 кости (HE . Покязян

В режиме калибровки устройство работает следующим образом, Вибропривод совместно с пластиной 2 сдвигают параллельно оси 0 -0 1фиг.!) г

1 1 тяк, что при сообщении пластине 2 возвратно-поступательного движения в ход луча ст источника 1 излучения вводятся поочередно отражающая 7 и покрытая по:.-лощающим слоем б части пластины 2 (фиг. 2 и 3). При этом в момент попадания в ход луча части пластины ?, покрытой поглощающим

:iG слоем б, образуется измерительный (в режиме калибровкH) K H 1 d, при попадании отражающей части 7 пласти;-!ы 2 — ac orb етствег но онорньгй канал.

Сбработка сигналов, поступающих с

45 регистрируюшего узла 3, осуществляется аналогично тому„ что и в режиме измерений., изобретения

1. Устройство д эя измерения толщины слоя жидкости .я поверхности твердого тела, содержащее источник модулировянгпэ г о монохроматического

R э !Учения 1 )(гистрирующий узел и соединенную с ним э.гектронную схему обработки сигналов, о т л и ч Я юш е е с я тем, что, с целью новb".me272!04 ния жидкости

ВиИ4

Овражки лп&рхмосю

/И4Ю7ЖИЫ

7иг.2

Составитель Л.Лобзова

Редактор Н.Тупица Техред Л.Сердюкова Корректор М.Самборская

Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35> Раушская наб., д. 4/5

Заказ 6326/36

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород,ул. Проектная, 4

3 1 ния точности измерения, оно снабжено отражающей пластиной, оптически связанной с источником излучения и регистрирующим узлом, расположенной с возможностью периодического ввода и вывода из хода лучей и выполненной из материала, имеющего коэффициент отражения на длине волны источника излучения, равный коэффициенту от-! ражения твердого тела, подогревателем, установленным под отражающей пластиной, причем источник излучения имеет длину волны, соответствующую области максимального поглоше2, Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью возможности калибровки, отражающая пластина выполнена со слоем материала, имеющего поглощение, эквивалентное поглощению слоя жидкости заданной толщины, и нанесенного на часть ее поверхности,

Устройство для измерения толщины слоя жидкости на поверхности твердого тела Устройство для измерения толщины слоя жидкости на поверхности твердого тела Устройство для измерения толщины слоя жидкости на поверхности твердого тела 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для измерения толщины непрозрачных пленок с отражающей поверх ностью

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины слоев пленки

Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к измерению толщины пленок на подложках

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения толщины наружных полимерных покрытий на трубах в технологическом потоке

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля количества резины ka валках каландра

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх