Манипулятор,работающий в герметизированном объеме

 

Изобретение относится к манипуляторам , работающим в герметизированном объеме. Цель изобретения - повышение надежности герметизаций. Наружные гибкие диафрагмы 5 и 6 устагг новлены со смещением относительно внутренней гибкой диафрагмы 4 и герметично соединены с упругодеформируемой трубой 1 и стенкой 7 герметизированного объема (камеры), образуя компенсирующую герметичную полость, сообщенную каналом 8 с вакуумной контролирующей аппаратурой 9. Это позволяет снять концентрацию напряжений в узлах сопряжений диафрагм 5 и 6 с упругодеформирувмой трубой 1, а также создать разряжение воздуха в полости, компенсирующее перепад давлений в рабочем и нерабочем пространствах манипулятора, воздейству-г 3 (Л И1ЦИХ на гибкие диафрагьвл. Контроль за разряжением воздуха в полости позволяет своевременно выявить возможную разгерметизацию манипулятора в случае усталостного разрушения одной КЗ наружных гибких диафрагм.3 ил. /5 ND 1 О N0 to к го 4)41.1

СОЮЗ СООЕТСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) Ш) (51)4 В 25 2 00

F

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Я,", I l.Â,,«

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

«««

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ, (61) 274561 (21) ° 3916061/25-08 (22) 21.06.85 (46) 07. 12.86. Бюп. У 45 (71) Красноярский политехнический институт (72) Н.В.Василенко, А.А.Никитин и Л.К.Ковалев (53) 62-229.72(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 274561, кл. В 25 J 21/00, 1968.

Авторское свидетельство СССР

В 931462, кл. В 25 J 13/00, 1981. (54) МАНИПУЛЯТОР, РАБОТАЮЩИЙ В кьРМЕТИЗИРОВАИНОМ ОБЪЕМЕ (57) Изобретение относится к манипуляторам, работающим в герметиэированном объеме. Цель изобретения — повышение надежности герметизации. Наружные гибкие диафрагмы 5 и 6 установлены со смещением относительно внутренней гибкой диафрагмы 4 и герметично соединены с упругодеформируемой трубой 1 и стенкой 7 герметиэированного объема (камеры), образуя компенсирующую герметичную полость, сообщенную каналом 8 с вакуумной контролирующей аппаратурой 9. Это позволяет .снять концентрацию напряжений в узлах сопряжений диафрагм 5 н

6 с упругодеформируемой трубой 1 а также создать раэряжение воздуха в полости, компенсирующее перепад давлений в рабочем и нерабочем прост- . ранствах манипулятора, воздейству-, кщих на гибкие диафрагмы. Контроль g эа разряжением воздуха в полости позволяет своевременно выявить возможную разгерметизацию манипулятора

- в случае усталостного разрушения одной нз наружных гибких диафрагм.3 ил., ф

127

Изобретение относится к манипуляторам, работающим в герметизированном объеме (камере), и может быть использовано, например, в качестве манипулятора подложки электронографа.

Целью изобретения является повышение надежности герметизации.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2— сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 сечение Б-Б на фиг ° 1; на фиг. 4 испытательные механизмы; на фиг„ 5— сечение В-В на фиг. 4, Манипулятор содержит упругодеформируемую трубу 1, которая оДним концом связана с задающим генератором

2 деформации, а другим — с ведомым валом,(генератором) 3 и эакренлена одной внутренней 4 и двумя наружными

5 и 6 гибкими диафрагмами, которые установлены со смещением относительно внутренней диафрагмы 4 и герметично соединены с упругодеформируемой трубой 1 и стенкой 7 герметизированного объема (камеры), образуя компенсирующую герметичную полость, подключенную каналом 8 к вакуумно-измерительной контролирующей аппаратуре.

На стенке 7 защитного герметизированного объема (камеры), со стороны органов управления манипулятора смонтировано и связано с концентрирующей герметичной полостью через канал 8 измерительно-сигнализирующее устройство 9. На внутренней диафрагме 4 внутри упругодеформируемой трубы 1 закреплен сильфон .10, к которому герметично приварен шток 11 поступательного движения в герметизированный объем (камеру).

Привод задающего генератора 2 деформации состоит иэ подшипниковой опоры 12, закрепленной в корпусе 13, н приводного маховичка 14. Шток 11 имеет воэможность перемещаться поступательно от винта 15 и при помощи шпонки 16 предотвращает сильфон 10 от скручивания.

Исполнительный механизм состоит из поворотного кронштейна 17 с подшипниковой опорой 18, смонтированной на кронштейне 19 подшипниковой опоры 20, в которой установлен объект

21, рычага 22, соединенного с одной стороны при помощи шарнирного соединения и шарикоподшипника 23 со штоком.11, а с другой стороны — с объекВсе устройство смонтировано на стенке 7 защитного герметизированного объема (камеры).

При вращательно-качательном движении объект 21 получает вращение

10 от задающего генератора 2 через упругодеформируемую трубу 1, закреттленную на одной внутренней 4 и двух наружных 5 диафрагмах, ведомый вал 3 и кронштейн 17, а качание его осуществляется рычагом 22, связанным

15 через подшийник 23 со штоком 11 поступательного движения.

При вращательно"поступательном движении объект 21 получает поступательное движение от кронштейна 17, связанного со штоком 11. При этом разрежение воздуха в компенсирующей герметичной полости контролируется иэмерительно-сигнализирующим устройством 9, следящим: sa необходимой степенью разрежения в компенсирующей герметичной полости и ее герметизацией.

30 Разнесение одной внутренней и двух наружных гибких диафрагм друг относительно друга позволяет снять концентрацию напряжений в узлах сопряжения этих диафрагм с упругодеформируемой трубой и образовать герметичную полость между двумя наружными гибкими диафрагмами, а также создать разрежение воздуха в этой полости, компенсирующее перепад давлений в рабочем и нерабочем пространствах манипулятора, воздействующих на гибкие диафрагмы герметиэирующего элемента.

Контроль за разрежением воздуха

45 в этой полости позволяет своевременно выявить возможную разгерметизацию манипулятора в случае усталостного разрушения одной из наружных гибких диафрагм.

Формула изобр ет ения

Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, по авт.св.

11 274561, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности герметизации, он снабжен вакуумной контролирующей аппаратурой и

4922 3 том 21, и (для варианта вращательнопоступательного движения) кронштейна

24 с закрепленным на нем объектом 21, подшипник 25 которого может перемещаться по пазу кронштейна 17.

3 1274922 4 двумя наружными гибкими диафрагмами,, ванного объема, обраэуя при этом комрасполоаенньаки параллельно друг другу, пенсирующую герметичную полость, со-. установленными со смещением относи- общенную каналом, выполненным в стентельно гибкой диафрагмы упругодефор- ке герметиэированного объема, с вакумируемой трубы и герметично соединен- > умной контролирующей аппарату— ныл с ней и со стенкой герметиэиро- рой.

Фиг. Ф

Составитель Т.Костикова

Редактор И.Николайчук Техред К.Ходанич Корректор А.Зимокосов

Тирам 1031 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раужская наб., д. 4/5

Закаэ 6524/15

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Уигород, ул. Проектная, 4