Автоматический манипулятор

 

Изобретение относится к электровакуумному и полупроводниковому машиностроению , в частности к механизации и автоматизации процессов загрузки и выгрузки обрабатываемых изделий в оборудовании электронной техники. Целью изобретения является расширение технологических возможностей и повышение производительности за счет обеспечения работ с различным технологическим оборудованием. Для этого при включении двигателя 28 механизма перемещения исполнительного устройства через винтовой 29 и рычажный 30 механизмы движение передается на корпус двигателя каретки 8, который перемещается вдоль направляющих 2. При этом ползуны сближаются, сжимая пружины , и захватное устройство опускается . Затем подается команда на захват кассеты с заготовками. Далее двигатель 28 включается, его выходной вал начинает вращаться в противоположную сторону и перемещает корпус двигателя в обратном направлении. При этом ползуны раздвигаются и захватное устройство с кассетой поднимается. 2 3.п. ф-лы. 3 ил, а S (Л 29

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 В 25 J 21/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,,; 1

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4012223/25-08 (22) 23.01.86 (46) 15.07.87. Бюл. N- 26 (72) Б.Г.Васецкий и Л.К.Ковалев (53) 621.039.55(088 ° 8) (56) Авторское свидетельство СССР

М- 213211 кл. В 25 J 21/00, 1964. (54) АВТОМАТИЧЕСКИЙ МАНИПУЛЯТОР (57) Изобретение относится к электровакуумному и полупроводниковому машиностроению, в частности к механизации и автоматизации процессов загрузки и выгрузки обрабатываемых изделий в оборудовании электронной техники.

Целью изобретения является расширение технологических возможностей и повышение производительности за счет обеспечения работ с различным техно„„SU„„1 23380 А1 логическим оборудбванием. Для этого при включении двигателя 28 механизма перемеще ния исполнительно ro устройства через винтовой 29 и рычажный 30 механизмы движение передается на корпус двигателя каретки 8, который перемещается вдоль направляющих 2 ° При этом полэуны сближаются, сжимая пружины, и захватное устройство опускается. Затем подается команда на захват кассеты с заготовками. Далее двигатель 28 включается, его выходной вал начинает вращаться в противоположную сторону и перемещает корпус двигателя в обратном направлении. При этом ползуны раздвигаются и захватное

Я устройство с кассетой поднимается.

2 з.п. ф — лы. 5 ил.

I 13233

Изобретение относится к электровакуумному и полупроводниковому машиностроению, в частности K механизации и автоматизации процессов загрузки и выгрузки обрабатываемых изделий в оборудовании электронной техники.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей и повышение производительности эа счет обеспечения работы с различным технологическим оборудованием, например камерами и расположенными внутри них многорядными ваннами.

На фиг.1 изображен автоматический манипулятор, общий вид, на фиг.2— разрез А-А на фиг.1, на фиг.3 — разрез Б-Б на фиг.2, на фиг.4 — разрез

В-В на фиг.2; на фиг.5 — механизм привода каретки.

Автоматический манипулятор для Zp герметичного пространства состоит иэ транспортной тележки 1, установленной на направляющих 2, смонтированных на траверсе 3 посредством кронштейнов 4. ! 25

Траверса 3 смонтирована на потолке рабочей камеры, образованной герметичными перегородками 5. Положение направляющих 2 можно регулировать по высоте в зависимости от обслуживаемо- 3р го технологического оборудования с помощью их перезакрепления в отверстиях кронштейнов 4 с помощью винтов

6 и 7.

На дополнительно введенных направляющих тележки 1 установлена каретка

8 с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном перемещению тележки 1. Каретка 8 выполнена в виде рамы включающей две параллельные на- 40 правляющие 9, жестко связанные одна с другой, и ползуны 10, установленные на этих направляющих.

На направляющих 9 выполнены прорези, в которых установлены пружины

11 с возможностью взаимодействия с ползунами 10. На последних смонтированы ролики 12, оси которых шарнирно связаны с рычагами 13 исполнительного устройства 14, выполненного в виде 50 многократного параллеграммного механизма, несущего рабочий орган, например захватное устройство 15. Последнее может быть выполнено в виде крюка либо механизма .с электромагнитным приводом.

На тележке 1 по обе ее стороны установлены три ролика 1б, взаимодействующие с направляющей 2, и четыре

80 2 оси, на каждой из которых закреплено по два ролика 17 и 18 передачи с гибкой связью. Ролики 17 взаимодействуют с направляющими 9 каретки 8, а ролики

18 кинематически связаны посредством передачи с гибкой связью с приводом перемещения каретки 8.

Привод перемещения тележки 1 состоит из двигателя 19, смонтированного на направляющей 2 траверсы 3 вне ра— бочей эоны камеры, Hа выходном валу которого закреплен приводной ролик

20, выполненный в виде барабана с напрессованными штырями и связанный посредством гибкой ленты 21 с натяжными роликами 22. При этом один конец гибкой ленты 21 жестко закреплен на те-. лежке i, а другой закреплен посредством пружины 23. Регулировка натяжения гибкой ленты 21 осуществляется с помощью натяжного устройства 24.

Привод перемещения каретки 8 и исполнительного устройства 14 состоит иэ двигателя 25, корпус которого ус-, тановлен на направляющей 2 с возможностью перемещения вдоль нее, а на выходном валу смонтирован приводной ролик 26, выполненный в виде барабана с напрессованными штырями и связанный с роликами 18 тележки 1 и роликами 12 каретки 8 гибкой лентой 27, концы ко.торой закреплены на одном из кронштейнов 4, а также двигателя 28, который посредством винтового 29 и рычажного 30 механизмов связан с корпусом привода каретки 8.

Гибкие ленты 21 и 27 выполнены с перфорацией по всей длине с числом строк, соответствующим числу команд, определяющих местоположение каретки

8 и исполнительного устройства 14.

Вдоль трассы протяжки гибких перфорированных лент 21 и 27 по обе стороны расположены пять датчиков 31 контроля, которые представляют собой спаренные осветитель и фотоприемник и являются датчиками перемещения тележки 1, каретки 8 и исполнительного устройства 14. Гибкие перфорированные ленты 21 и 27 выполнены из токопроводящего материала и изолируется от каретки и тележки.

Автоматический манипулятор рабо- . тает следующим образом.

Сформированная для обработки партия заготовок в специальных многоместных кассетах подается через шлюз рабочей камеры на.загрузочную позицию

3 13233 автоматического манипулятора (не по казано) . С пульта управления подается команда на отработку заданного технологического процесса. Манипулятор в исходном положении находится над загрузочной позицией. Включается двигатель 28 механизма перемещения и через винтовой 29 и рычажный 30 механизмы движение передается на корпус двигателя 25 каретки 8, который пере- 1р мещается вдоль направляющих 2 влево по чертежу. При этом ползуны 10 сближаются сжимая пружины 11 и захватное устройство 15 опускается. Затем по,дается команда на захват кассеты с 15 заготовками. Далее двигатель 28 включается, его выходной вал начинает вращаться в противоположную сторону и перемещает корпус двигателя 25 вправо по чертежу. При этом ползуны Zp

10 раздвигаются и захватное устройство 15 с кассетой поднимается.

После достижения захватным устройством 15 необходимого по высоте уровня, двигатель 28 отключается и пода- 25 ется команда на включение двигателя

19 или 25 в зависимости от маршрута прохождения технологических ванн, расположенных параллельными рядами.

Для перемещения тележки 1 включается 30 двигатель 19 и начинает вращаться приводной ролик 20 ° Последний посредством гибкой ленты 21 приводит в движение тележку 1, которая перемещается по направляющим 2 посредством роликов 16 согласно заданной программы и останавливается над рабочей позицией необходимой ванны. При этом двигатель 19 тележки 1 отключается и включается привод перемещения испол- 40 нительного устройства 14 ° !

Положение тележки 1 контролируется с помощью датчика 31 контроля по числу световых импульсов. Датчик 31 кон- 45 троля установлен на кронштейне 4. Захватное устройство 15 с кассетой опускается в рабочий объем технологической ванны. Происходит расщепление захватного устройства 15 с кассетой.

После отработки техпроцесса эахватного устройства 15 захватывается кассета с заготовками и переносится в следующую технологическую ванну.

Для перемещения исполнительного устройства 14 в направлении, перпендикулярном перемещению тележки 1, включается двигатель 25 каретки 8 и

80 4 посредством гибкой ленты 2.7 перемещает каретку 8.

Предлагаемый манипулятор имеет возможность работать с технологическими ваннами, расположенными параллельно в несколько рядов в любой последовательности. При этом позиции saгрузки и выгрузки могут быть либо совмещены, либо, расположены с двух сторон рабочей зоны манипулятора.

Формула изобретения

1. Автоматический манипулятор, содержащий траверсу, подвешенную к потолку камеры, приводную тележку, перемещаемую по направляющей, смонтированной на траверсе, и несущую исполнительное устройство с рабочим органом, а также привод перемещения исполнительного устройства и привод перемещения тележки, включающие индивидуальные двигатели, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью расширения технологических воэможностей и повышения производительности за счет обеспечения работы с различным технологическим оборудованием, он снабжен кареткой с ползунами, при этом каретка выполнена в виде рамы, образованной двумя параллельными направляющими, жестко связанными одна с другой, и установленной в дополнительно введенных направляющих тележки в плоскости, перпендикулярной плоскости перемещения тележки, при этом ползуны установлены подпружиненно на этих направляющих каретки, причем исполни- тельное устройство выполнено в виде многократного параллелограммного механизма, а привод перемещения каретки и исполнительного устройства включает передачу с гибкой связью, ролики которой шарнирно закреплены соответственно на каретке и на ползунах, один из роликов этой передачи с гибкой связью жестко связан с выходным валом двигателя привода перемещения каретки, корпус которого установлен с воэможностью перемещения на направляющей траверсы и кинематически связан с выходным валом двигателя привода перемещения исполнительного устройства.

2. Манипулятор по и.1, о т л и— ч а ю шийся тем, что направляющая траверсы установлена с возможностью регулировочного перемещения по высоте.

1323380

3. Манипулятор по п.1, о т л и ч аю шийся тем, что он снабжен системой числового программного управления, включающей осветители и фотоэлементы, а на ленте выполнена перфорация.

1323380

1323380

Составитель И. Бакулина

Техред Л. Олийнык

Редактор И, Касарда

Корректор А. Ильин

Тираж 953

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 2915/20

Подписное Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4