Интерферометр для контроля формы поверхности оптических деталей

 

Интерферометр для контроля формы поверхности оптических деталей, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, светоделитель и образцовый оптический элемент, имеющий одну поверхность эталонную, другую - плоскую и установленный плоской поверхностью к источнику света, и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен пропускающей осевой голограммой, расположенной на плоской поверхности образующего элемента так, что ось голограммы проходит через центр кривизны эталонной поверхности, а распределение радиусов колец голограммы определено выражением где ±m - больший (+) и меньший (-) радиусы m-го кольца голограммы (m = 0, 1, 2, 3, ...); l - расстояние от источника света до центра голограммы; n - показатель преломления материала образцового элемента; R - величина радиуса кривизны эталонной поверхности; t - толщина образцового элемента; - длина световой волны; Q - скважность структуры голограммы; K - коэффициент, равный -1 для выпускной эталонной поверхности, +1 для вогнутой, 0 для плоской.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области голографической интерферометрии

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность измерения смещений путем увеличения контраста интерференционных полос

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения контура сечения прозрачных оптических элементов

Изобретение относится к области измерительной техники и может использоваться при производстве и контроле крупногабаритных оптических деталей

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля вогнутой сферической поверхности

Изобретение относится к измерительной технике и можеч использоваться для измерения и контроля деталей сложной формы

Изобретение относится к антенной технике

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть иснользовано, в частности, для контроля формы вынуклых сферических поверхностей оптических деталей

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к определению сферичности зеркал в гелиотехнике

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения формы поверхности объектов, обладаюш,их малой жесткостью, например формы поверхности одежды

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля оптических элементов и сис«Cfro .o., 1, / --- -И .о,,Г .aj тем

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам определения геометрических параметров объектов и оптическим устройствам для осуществления этих способов
Наверх