Интерферометр для контроля изменения формы поверхности оптических элементов

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано , в частности, доя непрерьшного контроля измерений оптических параметров полимерных материалов в процессе изготовления из них фоторе гистрирующих сред. Цель изобретения - возможность контроля изменения формы и одновременно толщины полимерных оптических элементов с отражающими поверхностями в процессе насьпдения их газом, фотоэкспонирования, газоотделения после фотоэкспонирования . Пучок лучей от монохроматического источника 1 света преобразуется коллиматором 2 в параллельный пучок, делится на рабочий и эталонный пучки светоделителем 3, рабочий пучок отражается от отражающих поверхностей элементов 4, 5, зеркала 6, а эталонный - от зеркал 7, 8, 9. Далее на светоделителе 3 они совмещаются, интерферируют пары пучков, отражеюн,1Х от оптически сопряженных зеркальных пар 6-9, 5-8, 4-7. Интерференционные картины рассматриваются с помощью наблюдательной системы 10. 1 ил. (О W

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

Al (19) (11) (51) 4 G 01 В 11/06, 11/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 ) 3870494/24 — 28 (22) 19.03.85 (46) 15.01.87. Бюл. Р 2 (72) П.И.Лебедев, В.И.Суханов, Л.И.Кузнецов, А .В.Кулешов и В.П.Гогин . (53) 531.715.! (088.8} (56) Захарьевский А.Н. Интерферометры. N.: Оборонгиз, 1952, с. 161.

Ландсберг Г.С. Оптика. Общий курс физики, т. 3. M., Л., 1947, с. 75. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ

ИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕС КИХ ЭЛЕМЕНТОВ (57} Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для непрерывного контроля измерений оптических параметров полимерных материалов в процессе изготовления из них фоторегистрирующих сред. Цель изобретения — возможность контроля изменения формы и одновременно„толщины полимерных оптических элементов с отражающими поверхностями в процессе насыщения их газом, фотоэкспонирования, газоотделения после фотоэкспонирования. Пучок лучей от монохроматического источника 1 света преобразуется коллиматором 2 в параллельный пучок, делится на рабочий и эталонный пучки светоделителем 3, рабочий пучок отражается от отражающих поверхностей элементов 4, 5, зеркала б, а эталонный — от зеркал

7, 8, 9. Далее на светоделителе 3 они совмещаются, интерферируют пары пучков, отраженных от оптически сопряженных зеркальных пар 6-9, 5-8, 4-7. Интерференционные картины рассматриваются с помощью наблюдательной системы 10. 1 ил.

1 128352)

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для непрерывного контроля изменений оптических параметров полимерных материалов в 5 процессе изготовления из них фоторегистрирующих сред.

Цель изобретения — возможность контроля изменения формы и одновременно толщины полимерных оптических ®О элементов с отражающими поверхностями в процессе насыщения их газом, фотоэкспонирования, газоотделения после фотоэкспонирования, На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр содержит последовательно установленные монохроматический источник 1 света, коллиматор

2 и светоделитель 3, делящий световой поток на две ветви — рабочую и эталонную, два полимерных оптических элемента 4 и 5 с зеркальными поверхностями и плоское зеркало 6, установленные в рабочей ветви, два образцовых зеркала 7 и 8 и плоское зеркало

9, установленные в эталонной ветви, наблюдательную систему )О, Зеркало

6 выполнено с возможностью размещения на нем двух полимерных элементов

4 и 5 ° Зеркала 7 и 8 оптически сопряжены с элементами 4 и 5 через светоделитель 3.

1 35

Интерферометр работает следующим образом.

Пучок лучей от монохроматического источника 1 счета преобразуется коллиматором 2 в параллельный пучок, 4п делится на рабочий и эталонный пучки светоделителем 3, рабочий пучок отражается от отражающих поверхностей элементов 4 и 5, зеркала 6, а эталонный — от зеркал 7-9. Далее на светоделителе 3 они совмещаются, интерферируют пары пучков, отраженных от оптически сопряженных зеркальных пар, образованных зеркалами 6 и

9, элементом 5 и зеркалом 8, элементом 4 и зеркалом 7. Интерференционные картины рассматриваются с помощью наблюдательной системы 10.

Перед началом работы необходимо произвести следующее: к оптической поверхности зеркала 6 в центральной его зоне приклеиваются элементы 4 и 5 в виде двух полукругов плоскопараллельной пластинки полимерного материала, изготавливаются они из одной пластинки путем ее разрезания на две части, а приклеиваются таким образом, чтобы получился круг с зазором примерно 1 мм между половинками. Диаметр разрезаемого полимерного круга равен примерно половине диаметра зеркала 6. Далее зеркала

9-7, оптически сопряженные соответственно с зеркалом 6 и элементами 5, 4 и имеющие независимые подвижки, юстируются таким образом, чтобы на выходе наблюдательной системы 10 получилось три интерференционные картины с нулевым цветом. После чего элементы 4 и 5 насыщают каким-либо газом. После завершения насыщения с помощью специального устройства (не показан) на элемент 5 производится фоторегистрация какой-либо информации путем фотоэкспонирования.

В процессе этих операций происходит изменение формы и размеров элементов 4 и 50 в результате чего происходит относительное смещение оптических поверхностей элемента 5 и зеркала 6, элемента 4 и зеркала 6, элементов 5 и 4.

Так как зеркало б сделано из материала, который не насыщается какимлибо газом, то его поверхность останется неизменной. После завершения насыщения элементов 4 и 5 газ начнет выходить из них.

По тому, как будет меняться интерференционная картина от поверхности элемента 4 относительно интерференционной картины от поверхности зеркала 6, можно определить, как изменяется толщина и форма поверхности элемента 4 в процессе насыщения.

По тому, как будет меняться интерференционная картина от поверхности элемента 5 относительно интерференционной картины от поверхности зеркала 6, можно определить как меняется толщина и форма поверхности элемента 5 в процессе насыщения его каким-либо газом и в про цессе экспонирования, а также через некоторое время после экспонирования .

По тому, как будет изменяться интерференционная картина от поверхности элемента 5 относительно интерференционной картины от поверхности элемента 4, можно определить как изменяется толщина и форма поверхности элементов 4 и 5 в процессе

1283521

Составитель Л.Лобзова

Редактор Н.Слободяник Техред В.Кадар, Корректор С.Черни

Заказ 7421/35 Тираж 677

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская иаб., д.

Подписное

4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 фотоэкспонирования . В данном случае влияние выхода газа из элемента 5 не помешает определить абсолютное влияние фотоэкспонирования на толщину и форму поверхности элемента 5.

Формула из обретения

Интерферометр для контроля изменения формы поверхности оптических элементов, содержащий последовательно установленные источник света, коллиматор и светоделитель, делящий световой поток на две ветки — рабочую и эталонную, плоское зеркало в эталонной ветви, плоское зеркало в рабочей ветви и наблюдательную систему, отличающийся тем, что, с целью возможности контроля изменения формы и одновременно толщины полимерных оптических элементов с отражающими поверхностями в процессе насыщения их газом, фотоэкспонирования, газоотделения после фотоэкспонирования, он снабжен двумя образцовыми зеркалами, установ10 ленными перед плоским зеркалом эталонной ветви в плоскости, параллельной его отражающей поверхности, плоское зеркало рабочей ветви выполнено с возможностью размещения на нем двух полимерных элементов, оптически сопряженных с образцовыми зеркалами через светоделитель.