Способ изготовления преобразователя давления

Авторы патента:

Способ изготовления преобразователя давления, включающий в себя формирование тензоизмерительной схемы на одной из сторон пластины, разделение пластины на чувствительные элементы, установку их на металлический упругий элемент, отличающийся тем, что, с целью расширения температурного диапазона и повышения надежности, на другую сторону пластины наносят слой полупроводникового материала, а на металлический упругий элемент последовательно наносят слой ковара и стекла, после чего проводят электростатическое соединение упругого и чувствительного элементов при рабочем напряжении 3-5 кВ, температуре 490-510°C, времени выдержки 30-40 мин, причем слой полупроводникового материала соединяют со схемой токопроводящей перемычкой.

Изобретение относится к контрольн.о-измерительной технике и используется при измерении быстропеременных импульсных давлений

Способ изготовления тензопреобразователя давления // 1290110

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет упростить технологию изготовления.В полупроводниковой пластине, ориентированной в плоскости lOOl , определяют базовое кристаллографическое направление 110 , После нанесения на пластину металлического и фоторезнстивного слоев поворачивают продольную ось тензопреобразователя в любую сторону на угол 22,5 от базового направления

Тензометрический датчик давления // 1281940

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет улучшить линейность выходной характеристики датчика

Тензометрический измеритель давления // 1278640

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет уменьшить погрешности измерения

Устройство регистрации давления топлива в топливопроводе дизельного двигателя // 1278639

Изобретение относится к диагностике двигателей с впрыском топлиУ на и позволяет повьгсить точность устройства за счет увеличения отношения сигнал/шум

Тензометрический преобразователь давления // 1272132

Изобретение относится к измерительной технике и используется для измерения давлений жидких и газообразных сред

Измерительный преобразователь давления // 1272131

Изобретение относится к приборостроению и позволяет уменьшить погрешность измерения в условиях воздействия высоких температур и быстроменяющихся давлений

Тензометрический датчик давления // 1264016

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет уменьшить; погрешность измерения в диапазоне низких давлений за счет исключения влияния температурных деформаций

Тензометрический преобразователь // 1264015

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике-и позволяет повысить надежность преобразователя в условиях вибрации и ударных нагрузок

Реле давления // 1255757

Полупроводниковый преобразователь гидростатического давления для коррозионно-активных жидких сред // 2100789

Двухмембранный тензопреобразователь давления // 2101688

Чувствительный элемент // 2106610

Изобретение относится к конструированию и технологии производства чувствительных элементов для датчиков давления, расходомеров и акселореметров

Микроэлектронный датчик перепада давления егиазаряна мдпд-е и способ его изготовления // 2107272

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микроэлектронным измерительным преобразователям перепада давлений, и может быть использовано для измерения перепада давлений жидких и газообразных сред, например в расходомерах перепада давлений в качестве дифференциального монометра

Датчик давления // 2115101

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к тензометрическим датчикам давления

Интегральный преобразователь деформации и температуры // 2115897

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации и температур

Тензометрический преобразователь давления // 2120116

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для регистрации давления различных сред

Тензорезисторный дифференциальный преобразователь давления // 2127875

Изобретение относится к области измерительной техники и автоматики и может быть использовано в малогабаритных полупроводниковых электромеханических преобразователях разностного давления газообразных или жидких веществ в электрический сигнал

Преобразователь давления // 2134408

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления агрессивных жидких и газообразных сред

Полупроводниковый датчик давления // 2134869

Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления