Многозонная нагревательная электропечь

 

Класс 18с, 10„ № 138262

ccct

БСКС М,,i

ТУХНИ 1;; ..

ОПИСАНИЕ ИЗОБРКТЕНИЯ

К АЬТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС1 ВУ

Подписная группа И б8

Д. Б. Зворыкин, В. Н..Климовицкий, С. М. Хаймович и В. С. Элентух

МНОГОЗОННАЯ НАГРЕВАТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЪ

Заявлено 16 ноября 1960 r. за № 685878/22 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 10 за 1961 г.

Предлагаемая многозонная нагревательная печь непрерывного действия предназначена для термообработки изделий в кассетах.

Отличительная особенность печи состоит в том, что она представляет собой сочетание конвейерной и толкательной печей, соединенных перегрузочным тоннелем так, что кассеты с изделиями при переходе из одной камеры в другую поворачиваются на 90 Такое выполнение печи позволяет производить термическую обработку изделий го двум температурным режимам, резко отличающимся по времени выдержки, Описываемая печь (см. чертеж) состоит из конвейерной 1 и толкательной 2 печей, соединенных перегрузочной камерой 8. Загружаемые кассеты 4 с изделиями имеют форму прямоугольника и устанавливаются на бесконечную ленту 5, непрерывно движущуюся внутри канала конвейерной печи 1. В конце печи 1 кассеты сходят с конвейерной ленты

5 и по туннельному каналу б перемещаются в рабочее пространство толкательной печи 2, где занимают положение 7. Как только кассета займет положение 7, срабатывает блокирующее устройство 8 и толкатель 9 продвигает кассету вперед, освобождая место для очередной кассеты.

Описываемая печь непрерывного действия обеспечивает длительное пребывание изделий в толкательной печи при сравнительно небольшом времени выдержки в конвейерной печи. Отношение времени пребывания кассет в конвейерной и толкательной печах определяется отношением сторон (ширины и длины) кассеты и выбирается в зависимости от требований технологического процесса.

Печь предназначена для термической обработки деталей полупроводниковых приборов.Она может найти применение также и при проведении других технологических процессов, в которых требуется соблюдение ступенчатого температурного режима. № 138262

Предмет изобретения

Многозонная нагревательная электропечь непрерывного действия для термообработки изделий в кассетах, отличающаяся тем, что, с целью проведения нагрева в два этапа, печь состоит из двух нагревательных камер — одной с конвейером и другой, снабженной толкателем, соединенных между собой перегрузочным туннелем так, что кассеты с изделиями при переходе из одной камеры в другую поворачиваются на 90

Редактор Н. Л. Ленотьева

Техред А. Л. Сосина Корректор Г. Кудрявцева

Г!одп, к печ. 12. 1г!!-61 г

Зак. 6694

Формат бум. 70 108 /„

Тираж 1!50

ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6

Объем 0,18 изд. л.

Цена 4 коп.

Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14.