Датчик давления

 

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность измерения давления за счет снижения температурной погрешности и уменьшить габариты датчика. Для этого в мембранной коробке, образованной монокристаллическими пластинами 6 и 7, равномерно размещены изоляторы 8. Мембранная коробка закреплена на стойках 4, пропущенных через сквозные отверстия в изоляторах 8. Об измеряемом давлении судят по величине электрического сигнала тензорезисторов, воспринимающих деформацию мембранной коробки. 2 ил. с S (Л С 00 сл

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51) 4 С 01 Ь 9/04

«1«

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ.) «) Г

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3993366/24-10 (22) 10.11.85 (46) 07.04.87. Бюл. 11 13 (72) Г.В.Клочихин, С.В.Гадяцкий и О.В.Ерокина (53) 531.787(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 679835, кл. G 01 L 9/04, 1978.

Авторское .свидетельство СССР

82 960559, кл. G 01 L 9/04, 198 1..БК 1 02154 А1 (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность измерения давления за счет снижения температурной погрешности и уменьшить габариты датчика. Для этого в мембранной коробке, образованной монокристаллическими пластинами 6 и 7, равномерно размещены изоляторы 8. Мембранная коробка закреплена на стойках 4, пропущенных через сквозные отверстия в изоляторах 8. Об измеряемом давлении судят по величине электрического сигнала тензорезисторов, воспринимающих деформацию мембранной коробки. 2 ил.

Уиа2 1

Составитель О.Слюсарев

Техред А.Кравчук Корректор Л.Пилипенко

Редактор О,.Юрковецкая

Заказ 1210/42 Тираж 777 ПОДПИСНОЕ

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5.Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4

1 13021

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при коьструировании полупроводниковых датчиков давления.

Целью изобретения является говышение точности измерения за счет снижения температурной погрешности и уменьшение габаритов датчика.

На фиг. 1 приведена конструктивная схема предлагаемого датчика с мембран-10 ной коробкой для измерения абсолют-, ного давления; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1.

В основании 1, герметично соединенном со штуцером 2, установлены с помощью стеклянных изоляторов 3 стойки 4 по числу контактных площадок 5.

Мембранная коробка образована монокристаллическими пластинами 6 и 7, соединенными в вакууме мягким припоем.20

В пластине 6 с помощью изотропного травления выполнено углубление, образующее вакуумированную полость мембранной коробки. На наружной поверхности мембраны методами планарной тех — -5 нологии изготовлены диффузионные тензорезисторы с напыленными ToKQIIpoBQ дящими дорожками и контактными площад-. ками. В мембранной коробке на периферийных участках пластин выполнены сквозные отверстия, через которые при помощи изоляторов 8 коробка закреплена на стойках. Проволочные токопроводы 9 обеспечивают электрическую связь контактных площадок преобразователя с электровыводами.

54 2

Датчик работает следующим образом..

Измеряемое давление P через штуцер подается во внутреннюю полость датчика и воздействует на мембрану.

Деформация мембраны преобразуется тензорезисторами в электрический сигнал, пропорциональный величине измеряемого давления. Токопровод от контактных площадок до штепсельного разъема датчика осуществляется с помощью стоек.

Таким образом, в датчике отсутствует погрешность, вызываемая дополнительными напряжениями мембраны, обусловленными разностью значений температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР) материалов мембранной коробки и основания датчика.

Формула изобретения

Датчик давления, содержащий кор.— пус с основанием, мембранную коробку, образованную двумя монокристаллическими пластинами с тензорезисторами, и токоподводы, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью повышения точности и уменьшения габаритов датчика, в нем мембранная коробка снабжена изоляторами со сквозными отверстиями, равномерно установленными в периферийной части мембранной коробки, а основание снабжено металлическими цилиндрическими стойками, к которым подсоединены токоподводы, при этом мембранная коробка закреплена на стойках, которые пропущены через отверс-.

ТИЯ ИЗОЛЯТОРОВ °