Устройство для защиты вакуумной камеры от паров рабочей жидкости вакуумного насоса и запорный клапан

 

Изобретение относится к вакуумнойтехнике и позволяет снизить эксплуатационные затраты. Датчики 7 и 8 давления подключены к приводу 5 клапана 3 и приводу 6 насоса 2 и имеют соответственно уставки верхнего и нижнего давления вязкостной блокировки обратного потока паров рабочей жидкости. Уплотняющая пробка и седло клапана 3 выполнены из несмачиваемого материала. Угол раскрытия конуса седла равен 45-60°, а пробки - 90 -105°. Отношение их диаметров со стороны, противоположной входному патрубку, больше 1,0. В результате обеспечивается надежное уплотнение стыка. При его раскрытии образуется кольцевое сопло, создающее при течении газа дополнительное препятствие парам рабочей жидкости, 2 с и 2 з.п. ф-лы, 2 ил. СО СХ ) 00 фигЛ

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

Р

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Щд, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3957871/25-06 (22) 18.06.85 (46) 15.06.87. Бюл. № 22 (75) А. Н. Щепин (53) 621.527.1 (088.8) (56) Заявка Японии № 59 — 63394, кл. F 04 С 25/02, 1984.

Заявка Японии № 59 †791, кл. F 04 F 5/06, 1984. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ ОТ ПАРОВ РАБОЧЕЙ

ЖИДКОСТИ ВАКУУМНОГО НАСОСА И

ЗАПОРНЫЙ КЛАПАН (57) Изобретение относится к вакуумнойтехнике и позволяет снизить эксплуатационные затраты. Датчики 7 и 8 давления, Я0„„1317188 А1 (5й 4 Р 04 F 9 00; F 16 К 15 14 подключены к приводу 5 клапана 3 и приводу

6 насоса 2 и имеют соответственно уставки верхнего и нижнего давления вязкостной блокировки обратного потока паров рабочей жидкости. Уплотняющая пробка и седло клапана 3 выполнены из несмачиваемого материала. Угол раскрытия конуса седла равен 45 — 60, а пробки — 90 †1 .

Отношение их диаметров со стороны, противоположной входному патрубку, больше

1,0. В результате обеспечивается надежное уплотнение стыка. При его раскрытии образуется Ко.ïüöåâoå сопло, создающее при течении газа дополнительное препятствие парам рабочей жидкости. 2 с и 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

1317188

10 l5

25.

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в устройствах откачки в режиме вязкостного течения газа, не допускающих проникновения паров рабочей жидкости вакуумного насоса в откачиваемые камеры.

Целью изобретения является снижение эксплуатационных затрат.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема устройства для защиты вакуумной камеры от паров рабочей жидкости вакуумного насоса; на фиг. 2 — запорный клапан.

Устройство для защиты вакуумной камеры 1 от паров рабочей жидкости вакуумного насоса 2 содержит запорный клапан 3, установленный на вакуумпроводе 4, подсоединенном к входу насоса 2 и вакуу.мной камере 1, подключенный к приводу 5 клапана 3 и приводу 6 насоса 2 датчик 7 давления, при этом устройство снабжено вторым датчиком 8 давления, подключенным к приводу клапана 3 и приводу 6 насоса 2, причем датчики 7 и 8 имеют соответственно уставки верхнего и нижнего давления вязкостной блокировки обратного потока паров рабочей жидкости.

Запорный клапан 3 содержит корпус 9 с входным патрубком 10 и выходным патрубком 11, расположенные соосно входному патрубку 10 уплотняющую пробку 12 и седло 13 с коническими поверхностями соответственно 14 и 15, причем седло 13 и пробка

12 выполнены из несмачиваемого материала и имеют углы раскрытия конусов, равные соответственно аi=-45 — 60 и я =-90 — 105, и отношение диаметров di u dz со стороны, противоположной входному патрубку, большее 1,0. Входной патрубок имеет длину L больше его диаметра Di.

При этом отношение площадей соответственно выходного патрубка 11 и входного патрубка 10 равно 2 — 5.

Внутренняя поверхность входного патрубка выполнена из несмачиваемого материала.

Устройство работает следующим образом.

Датчик 7 верхнего давления газа выдает сигнал для запуска насоса на привод 6 вакуумного насоса 2 и для открытия клапана 3 привод 5 вакуумного клапана 3. Быстрота действия вакуумного насоса 2 при этом обеспечивает скорость потока откачиваемого газа, достаточную для вязкостной блокировки обратного потока паров рабочей жидкости насоса 2. При достижении в вакуумной камере 1 нижнего предельного давления, обеспечивающего скорость потока газа, достаточную для вязкостной блокировки паров рабочей жидкости, датчик 8 нижнего давления выдает сигнал на привод 5 для закрытия запорного клапана 3 и на привод 6 для отключения вакуумного насоса 2. Когда давление в вакуумной камере 1 повышается до верхнего давления вязкостной блокировки паров рабочей жидкости, датчик

7 верхнего давления выдает сигнал для запуска насоса 2. При открытии клапана 3 между пробкой 12 и седлом 13 образуется поток откачиваемого газа, создающий эффект вязкостной блокировки обратного потока паров рабочей жидкости. Выполненные из несмачиваемого материала, например фторопласта, пробка 12 и седло 13 служат антимиграционными барьерами для рабочей жидкости.

Чтобы молекулы пара, проникшие во входной патрубок 10 клапана 3, не оседали и не накапливались, внутренняя поверхность патрубка 10 выполнена из несмачиваемого материала. Длина входного патрубка 10 выбирается из условия требуемой степени защищенности вакуумной- камеры 1 от паров рабочей жидкости.

Угол раскрытия конуса седла vi=45 † и угол раскрытия конуса пробки а =90—

105 обеспечивают надежное уплотнение стыка. При его раскрытии образуется кольцевое сопло, создающее при течении газа дополнительное препятствие парам рабочей жидкости.

Выбор допустимого диапазона давления в вакуумпроводе 4 определяется либо расчетом допустимого диффузионного потока паров масла, либо экспериментально.

Таким образом, предлагаемое устройство характеризуется простотой в изготовлении и эксплуатации.

Формула изобретения

1. Устройство для защиты вакуумной камеры от паров рабочей жидкости вакуумного насоса, содержащее запорный клапан, установленный на вакуумпроводе, подсоединенный к входу насоса и вакуумной камере, и подключенный к приводам клапана и насоса датчик давления, отличающееся тем, что, с целью снижения эксплуатационных затрат, устройство снабжено вторым датчиком давления, подключенным к приводам клапана и насоса, причем датчики имеют соответственно уставки верхнего и нижнего давления вязкостной блокировки обратного потока паров рабочей жидкости.

2. Запорный клапан, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, расположенные соосно входному патрубку уплотняющук> пробку и седло с коническими поверхностями, отличающийся тем, что, с целью снижения эксплуатационных затрат, седло и пробка выполнены из несмачиваемого материала и имеют углы раскрытия конусов, равные соответственно 45-60 и 90 — 05, и отношение диаметров со стороны, противоположной входному патрубку, большее 1,0.

1317188

Составитель Е. Забугин

Редактор Ю. Середа Техред И. Верес Корректор Л. Патай

Заказ 2294/3! Тираж 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3. Клапан по п. 2, отличающийся тем, что входной патрубок имеет длину больше его диаметра.

4. Клапан по и. 2, отличающийся тем, что отношение площадей выходного и входного патрубков равно 2 — 5.