Высоковакуумная ловушка диффузионного насоса
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (д) 4 F 04 F 9 06
1 а":, 1
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А BTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Еыхас7
Роды
Вход
Роды
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3950576/25-06 (22) 09.09.85 (46) 23.01.87. Бюл. № 3 (7! ) Курский политехнический институт (72) А. А. Котельников, А. В. Башурин и А. В. Резников (53) 621.527 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 907316, кл. F 04 F 9/06, 1982. (54) ВЫСОКОВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА
ДИФФУЗИОННОГО НАСОСА (7) Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам, улавливающим масло на входных патрубках вакуумных диффузионных насосов. Цель изобретения — повышение защитных свойств ловушки. Испаритель титана, установленный ф
„„SU„„1285217 в охлаждаемом корпусе 2, выполнен в виде двух оптически непрозрачных решеток 4 и 5 пластин 6 титана, наклоненных к оси корпуса 2 в противоположных направлениях и под одинаковыми углами. Между решетками 4 и 5 размещен нагревательный элемент 3.
Молекулярные потоки титана, направленные под углом друг и другу, обеспечивают надежную преграду для обратного потока паров рабочей жидкости из насоса 1. На нагретых поверхностях происходит разложение углеводородов на легко откачиваемые газы, а образуемая титановая пленка на охлаждаемой поверхности корпуса 2 обладает откачивающей способностью, что увеличивает скорость откачки вакуумной системы и улучшает предельный вакуум. 1 ил.
1285217
Формула изобретения
Составитель Э. Могильницкая
Редактор Г. Гербер Техред И. Верес Корректор Л. Пилипенко
Заказ 7571/38 Тираж 573 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Высоковакуумная ловушка относится к вакуумной технике, а именно к устройствам улавливающим масло на входных патрубках вакуумных диффузионных насосов.
Целью изобретения является повышение защитных свойств ловушки.
На чертеже представлена схема высоковакуумной ловушки диффузионного насоса.
Ловушка диффузионного насоса 1 содержит охлаждаемый корпус 2, расположенный в нем испаритель титана и нагревательный 1О элемент 3, причем испаритель титана выполнен в виде двух оптически непрозрачных решеток 4 и 5 пластин 6 титана, наклонных к оси корпуса 2 в противоположных направлениях под одинаковыми углами, а нагревательный элемент 3 размещен между решетками 4 и 5.
Высоковакуумная ловушка работает следующим образом.
При включении нагревательного элемента 3 каждая из решеток 4 и 5 образует мо-,2О лекулярные потоки титана, направленные под углом друг к другу, что обеспечивает надежную преграду для обратного потока паров рабочей жидкости из диффузионного насоса 1.
Кроме того, происходит разложение углеводородов на нагретых поверхностях на легко откачиваемые газы, которые частично откачиваются диффузионным насосом 1 и частично диффузируют в поток испаряемого титана.
Образуемая титановая пленка на охлаждаемой поверхности корпуса ловушки обладает откачивающей способностью, что увеличивает скорость откачки вакуумной системы и улучшает предельный вакуум.
Высоковакуумная ловушка диффузионного насоса, содержащая охлаждаемый корпус, расположенный в нем испаритель титана и нагревательный элемент, отличаюи4аяся тем, что, с целью повышения защитных свойств, испаритель титана выполнен в виде двух оптически непрозрачных решеток пластин титана, наклоненных к оси корпуса в противоположных направлениях под одинаковыми углами, а нагревательный элемент размещен между решетками.
