Диффузионный насос

 

ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с днищем, раз.мещенный в корпусе по оси паропровод с верхним (Л to о 4 Ю ническим соплом и закрепленные на корпусе над паропроводом электроды, имеющие электрический потенциал относитльно паропровода , отличающийся тем, что, с целью уменьшения миграции рабочей среды в откачиваемый объем путем исключения обратного потока, электроды выполнены в виде двух соосных паропроводу сеточных конусов с ячейками, смещенными друг относительно друга, и основаниями, обращенными к днищу , причем углы при вершине внешнего конуса на 7-11, а внутреннего на 3-5° превышают угол раскрытия врехнего конического сопла паропровода.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 1270427 (5ц4 F 04 F9 06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3820678/25-06 (22) 29.10.84 (46) 15.11.86. Бюл. № 42 (71) Московский ордена Трудового Красного Знамени институт химического машиностроения (72) В. И. Бойцов, Б. В. Иванов, С. Ф. Тесленко, В. A. Хохлов и В. A. Юрченко (53) 621.527.8 (088.8) (56) Патент США № 3497134, кл. 417 — 48, опублик. 1973. (54) (57) ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с днищем, размещенный в корпусе по оси паропровод с верхним ко- Ц+(7-fg (7

К)

«3

CO оР

Ю

«1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ническим соплом и закрепленные на корпусе над паропроводом электроды, имеющие электрический потенциал относитльно паропровода, отличающийся тем, что, с целью уменьшения миграции рабочей среды в откачиваемый объем путем исключения обратного потока, электроды выполнены в виде двух соосных паропроводу сеточных конусов с ячейками, смещенными друг относительно друга, и основаниями, обращенными к днищу, причем углы при вершине внешнего конуса на 7 — -11, а внутреннего на 3 — 5 превышают угол раскрытия врехнего конического сопла паропровода.

1270427

Составитель В. Кряковкин

Редактор Е. Копча Техред И. Верес Корректор В. Бутяга

Заказ 6221/34 Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и оз крытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП <Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям диффузионных вакуумных насосов.

Цель изобретения — уменьшение миграции рабочей среды в откачиваемый объем путем исключения обратного потока.

На чертеже схематически изображен насос, продольный разрез.

Диффузионный насос содержит корпус

1 с днищем 2, размещенный в корпусе !. по оси паропровод 3 с верхним коническим соплом 4 и закрепленные на корпусе над паропроводом 3 электроды, имеющие электрический потенциал относительно паропровода 3, причем электроды выполнены в виде двух соосных сеточных конусов 5 и 6 с ячейками, смещенными друг относительно друга, и основаниями, обращенными к днищу 2, а углы при вершине внешнего конуса на 7 — 11, а внутреннего на 3 — 5 превышают угол раскрытия верхнего конического сопла 4 паропровода 3.

Диффузионный насос работает следующим образом.

Пары масла через паропровод 3 и верхнее коническое сопло 4 истекают в корпус 1 и захватывают молекулы газа из пространства над паропроводом 3. При истечении паровой струи из верхнего конического сопла 4 и соударении ее со стенками корпуса 1 образуется обратный поток паров масла, направленный вверх в сторону откачиваемого объема, что в ряде случаев крайне нежелательно. Проходя по изолированному от корпуса паропроводу 3 и верхнему коническому соплу 4, пары масла ионизируются. Частички масляного пара, получившие после выхода из сопла 4 направление вверх, притягиваются сеточными конусами 5 и 6 и мигрируют затем по сетке в сторону дни гца 2 корпуса 1. Те же частички, которые от соударения с сеточным конусом 5 изменили знак ионизации, отражаются вниз сеточным конусом 6.

Таким образом, обратный поток паров масла значительно уменьшается. Одновременно увеличивается откачивающее действие

gp струи, поскольку, пройдя через противоположно заряженные сетки, газ частично ионизируется и получает добавочный импульс по направлению к струе за счет электростатических сил.