Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (504 F04 D 1904

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ ц 7

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3837800/25-06 (22) 04.01 ..85 (46) 23.01.87. Бюл. № 3 (72) В. И. Гагарин и Б. В. Харламов (53) 621.527.8 (088.8) (56) Патент Франции № 2224009, кл. F 04 D19/04,,опублик . 1973. (54) (57) 1. ДВУХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЪ|Й ВАКУУМНЫИ

НАСОС, содержащий корпус с входным патрубком, размещенные на внутренней поверхности корпуса статорные диски первой ступени и статор второй ступени с каналами на внутренней поверхности. имеющими уменьшающуюся по ходу газа глубину, и ротор с валом, установленным по оси корпуса на опорах, роторными дисками, ответными статорным дискам, и цилиндрическим участком, ответным статору второй ступени, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, статор г

ÄÄSUÄÄ 1285198 второй ступени выполнен в виде набора колец с выемками на внутренней поверхности, смещенными относительно друг друга у соседних колец в окружном направлении с образованием лабиринтных зазоров, служащих каналами.

2. Насос по и. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы путем подачи смазки в опоры при выполнении их в виде подшипников качения, он снабжен масляной ванной, вал выполнен полым и снабжен каналами, сообщенными с полостью вала и подключенными к о»орам, причем полость вала заполнена гигроскопичным материалом и сообщена с масляной ванной.

3. Насос по и. 2, отлнчающийся тем, что с целью исключения попадания паров смазки в откачиваемый объем, он дополнительно содержит иатрубок наиуска защитного газа, расположенный на корпусе между ступенями.

1285198

А — A

Фы2

Составитель В. Кряковкин

Редактор Г. Гербер Техред И. Верес Корректор И.Муска

3а к аз 7570/37 Тираж 575 Подписное

ВНИИПИ Государственного. комитета СССР по делам изобретений и открытий

1! 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик путем уменьшения обратных перетечек в зоне второй ступени, повышение надежности путем подачи смазки в опоры при выполнении их в виде подшипников качения, а также исключение попадания паров смазки в откачиваемый объем.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1.

Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с 15 входным патрубком 2, размещенные на внутренней поверхности корпуса 1 статорные диски 3 первой ступени и статор второй ступени с каналами на внутренней поверхности, имеющими уменьшающуюся по ходу газа глубину, и ротор 4 с валом 5, установленным по оси корпуса 1 на опорах 6, роторными дисками 7, ответными статорным дискам 3, и цилиндрическим участком 8, ответным статору второй ступени, выполненному в виде набора колец 9 с выемками 10 25 на внутренней поверхности, смещенными относительно друг друга у соседних колец в окружном направлении с образованием лабиринтных зазоров, служащих каналами.

Насос снабжен масляной ванной 11, вал 5 выполнен полым и снабжен каналами 12 и 13, сообщенными с полостью 14 вала 5 и подключенным к опорам 6, причем полость 14 вала 5 заполнена гигроскопичным материалом и сообщена с масляной ванной 11. Насос также дополнительно содержит патрубок 15 напуска защитного газа, расположенный на корпусе 1 между ступенями.

Насос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 насоса через входной патрубок 2, откуда, взаимодействуя с лопатками роторных дисков 7, переносится ко второй ступени и по каналу, образованному выемками 10, далее к выходу из насоса. Выполнение статора второй ступени в виде колец 9 с выемками 10, смещенными в окружном направлении у соседних колец, дает возможность образовать лабиринтный зазор между валом 5 и статором второй ступени, который в значительной степени препятствует обратному потоку газа от выхода насоса к входу, что обеспечивает улучшение откачных характеристик. Наличие в полости 14 вала 5 гигроскопичного материала способствует рациональной подаче смазки в опоры 6, что обуславливает надежность насоса в целом вследствие хорошей смазки подшипниковых узлов. Проникновению паров смазки в откачиваемый объем препятствует подача защитного газа в зону между ступенями через патрубок 15. Защитный газ создает направленный поток в сторону откачки и не позволяет парам проникать в зону первой ступени и далее.